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透射式GaAs光电阴极研究 被引量:2
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作者 张书明 孙长印 +5 位作者 赛小峰 朱李安 邹伟 何益民 高鸿楷 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第11期1032-1036,共5页
本文叙述了透射式GaAs光电阴极的原理和制作过程,详细地研究了透射式GaAs光阴极的激活工艺,获得了500μA/1m的积分灵敏度。
关键词 透射式 光阴极 激活 热清洁 砷化镓 夜视仪
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玻璃与GaAs外延片热压粘结工艺研究 被引量:1
2
作者 赛小峰 张书明 +1 位作者 高鸿楷 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第2期157-159,共3页
本文报道制备GaAs透射式光阴极过程中窗玻璃与大面积GaAs外延片热压粘结工艺的原理和过程,并重点分析抗反射膜的淀积、粘结温度控制和压力大小对粘结结果的影响。
关键词 热压粘结 玻璃 GaAs外延片
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GaAs光电阴极的MOCVD法生长及其激活工艺研究
3
作者 张书明 孙长印 +5 位作者 朱李安 赛小峰 程昭 何益民 高鸿楷 侯洵 《光电子技术》 CAS 1996年第1期47-50,共4页
本文报道了用MOCVD法生长出了有效的GaAs光电阴极材料,并且在国产的GaAs光电阴极激活系统上进行了激活实验,其反射式积分灵敏度高于1000μA/lm。
关键词 MOCVD 光电阴极 激活 砷化镓
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抗反射膜SiN的热退火特性
4
作者 张书明 赛小峰 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 1995年第5期468-471,共4页
本文研究了PECVD抗反射膜SiN的热退火特性。测量结果表明,经过制备GaAs透射光阴极的热压粘结工艺的热退火处理SiN薄膜的折射率增加了约0.1,薄膜厚度减少了约15%。IR透射谱分析表明,这是由于退火后膜中H的释... 本文研究了PECVD抗反射膜SiN的热退火特性。测量结果表明,经过制备GaAs透射光阴极的热压粘结工艺的热退火处理SiN薄膜的折射率增加了约0.1,薄膜厚度减少了约15%。IR透射谱分析表明,这是由于退火后膜中H的释放而引起化学键比例变化所致。此项工作为透射式GaAs光阴极抗反射膜的设计和制备提供了依据。 展开更多
关键词 透射光阴极 热退火 抗反射膜 氮化硅
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高分辨率多晶多反射X射线衍射仪在半导体材料分析中的应用
5
作者 朱李安 高鸿楷 +3 位作者 何益民 贺丽 赛小锋 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 1997年第11期1003-1006,共4页
用高分辨率多晶多反射X射线衍射仪进行衍射空间的二维扫描是目前非损伤性表征半导体材料质量的手段之一.不同质量的材料在二维衍射空间中的衍射图形状不同.本文以GaAS/AlGaAs为例,展示了如何利用X射线的二维衍射空间图的形状来定性... 用高分辨率多晶多反射X射线衍射仪进行衍射空间的二维扫描是目前非损伤性表征半导体材料质量的手段之一.不同质量的材料在二维衍射空间中的衍射图形状不同.本文以GaAS/AlGaAs为例,展示了如何利用X射线的二维衍射空间图的形状来定性地分析半导体单晶样品的宏观弯曲、微观倾斜、组分梯度、应变、弛豫以及平行于界面的连续性等问题.所得结果同样适用于其它半导体材料. 展开更多
关键词 X射线 衍射仪 倒易空间 多晶多反射 半导体晶体
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负电子亲合势GaAs光电阴极稳定性的研究
6
作者 米侃 张景文 +3 位作者 赛小峰 何益民 高鸿楷 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 1998年第2期106-109,共4页
本文采用在超高真空系统中引入少量Ar气及在激活到最高灵敏度时维持一定Cs蒸气压的方法,改进了激活系统的环境气氛,使阴极在台内的寿命得到极大地延长,为封管提供了足够的时间文中还探讨了影响阴极稳定性的重要因素。
关键词 光电阴极 稳定性 负电子亲合势 砷化镓
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GaAs光电阴极制备工艺的俄歇分析
7
作者 孙长印 张书明 +3 位作者 朱李安 赛小峰 高鸿楷 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第10期902-905,共4页
我们在一台制作第三代象增强器的超高真空系统中安装了俄歇(Auger)能谱仪,以其对GaAs光电阴极的制备过程进行在线监测分析,其中包括选择性腐蚀过程的俄歇观测,阴极激活前清洁措施的效果评价和Cs-O激活过程中As/G... 我们在一台制作第三代象增强器的超高真空系统中安装了俄歇(Auger)能谱仪,以其对GaAs光电阴极的制备过程进行在线监测分析,其中包括选择性腐蚀过程的俄歇观测,阴极激活前清洁措施的效果评价和Cs-O激活过程中As/Ga俄歇信号比对光电灵敏度的影响,Cs源纯度的分析及对光电发射的影响。根据分析结果,激活出了1000μA/lm的反射式光电阴极和500μA/lm的透射式光电阴极。 展开更多
关键词 光电阴极 热清洁 激活 俄歇分析
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NEA GaAs光电阴极激活工艺研究
8
作者 张书明 孙长印 +5 位作者 朱李安 赛小峰 程昭 何益民 高鸿楷 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第8期745-748,共4页
本文报道了 GaAs 反射式光电阴极的激活工艺过程和结果.通过实验确定了 GaAs表面的热清洁温度,利用钼丝热辐射加热方法达到了比较理想的清洁效果,采用铯分子源和高纯氧作氧源获得了高于1000μA/1m 的激活积分灵敏度.
关键词 光电阴极 热清洁 激活 砷化镓 铯分子源
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