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七种金属基底上类金刚石膜的过渡层制备研究 被引量:8
1
作者 赵栋才 任妮 +2 位作者 马占吉 肖更竭 武生虎 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期346-350,共5页
为了解决类金刚石(DLC)膜在金属基底上附着力低的困难,本研究分别利用了两种厚度不同的Ti/TiCx/DLC过渡层和一种Ti/TiNy/TiNyCx/DLC过渡层在7种金属基底上(W18Cr4V、Cr12、GCr15、TC4、40Cr、9Cr18、1Cr18Ni9Ti)制备了DLC薄膜。利用Si(1... 为了解决类金刚石(DLC)膜在金属基底上附着力低的困难,本研究分别利用了两种厚度不同的Ti/TiCx/DLC过渡层和一种Ti/TiNy/TiNyCx/DLC过渡层在7种金属基底上(W18Cr4V、Cr12、GCr15、TC4、40Cr、9Cr18、1Cr18Ni9Ti)制备了DLC薄膜。利用Si(100)基底镀膜前后的形变,计算的薄膜应力高达3.9 GPa,这种应力在过渡层中部分释放而制备了较厚(0.9μm)DLC膜。薄膜的附着力通过拉拔试验发现,选择合适的过渡层,薄膜的附着力有很大的提高,拉拔中只有胶被拉开。纳米硬度计测试结果表明,薄膜的硬度都在5000 Hv左右,不随基底材料改变。往复式摩擦试验结果显示,稳定后的摩擦系数在0.1附近。通过Raman谱发现,所有基底上薄膜的谱图一致,这说明薄膜的结构不受基底影响。 展开更多
关键词 类金刚石膜 硬度 摩擦系数 附着力
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宽截止长波红外带通滤光片的研制 被引量:8
2
作者 叶自煜 王多书 +3 位作者 张佰森 陈焘 马锋 盖志刚 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期39-41,共3页
针对空间用宽截止长波红外带通滤光片具有通带内平均透射率高、抑制带截止深度深、波纹系数小,可适应复杂环境条件,具有高稳定性和高可靠性等特点,以10.03μm~12.50μm和10.6μm~11.2μm两类宽截止长波红外带通滤光片为研究对象,论述... 针对空间用宽截止长波红外带通滤光片具有通带内平均透射率高、抑制带截止深度深、波纹系数小,可适应复杂环境条件,具有高稳定性和高可靠性等特点,以10.03μm~12.50μm和10.6μm~11.2μm两类宽截止长波红外带通滤光片为研究对象,论述了宽截止长波红外带通滤光片的设计原则和方法,采用"会聚光红外光学系统"和等离子体辅助沉积工艺成功镀制了空间用宽截止长波红外带通滤光片。指出等离子体辅助沉积工艺更有利于改善长波红外滤光片膜层的显微结构和残余应力消除。 展开更多
关键词 滤光片 长波红外 光学系统 设计 镀制
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利用离子源掺铁制备多层类金刚石膜
3
作者 马占吉 赵栋才 +2 位作者 肖更竭 任妮 武生虎 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期410-414,共5页
对离子源进行合理设计,使离子源中的Ar离子溅射产生Fe离子,利用裹挟Fe离子的Ar离子在制备类金刚石薄膜的过程中进行间歇性注入掺杂,制备多层类金刚石薄膜。这种多层类金刚石薄膜和单层类金刚石薄膜相比,应力从4.5 GPa降至3.9 GPa,摩擦... 对离子源进行合理设计,使离子源中的Ar离子溅射产生Fe离子,利用裹挟Fe离子的Ar离子在制备类金刚石薄膜的过程中进行间歇性注入掺杂,制备多层类金刚石薄膜。这种多层类金刚石薄膜和单层类金刚石薄膜相比,应力从4.5 GPa降至3.9 GPa,摩擦系数从0.14降至0.1附近,同时保持硬度值不变。 展开更多
关键词 类金刚石膜 掺铁 多层膜 力学性能
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降低超硬类金刚石薄膜应力的方法 被引量:21
4
作者 赵栋才 任妮 《真空与低温》 2006年第1期1-8,共8页
在参考他人最近十几年研究的基础上,总结了降低超硬类金刚石薄膜内应力的几种方法,包括热退火、掺杂、加脉冲偏压、沉积多层膜等。退火在降低应力的同时可保持类金刚石薄膜很高的硬度,其他各种方法在降低应力时都以降低一定的硬度为代价。
关键词 类金刚石薄膜 DLC 内应力 超硬膜
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掺硅类金刚石膜的制备与力学性能研究 被引量:15
5
作者 赵栋才 任妮 +3 位作者 马占吉 邱家稳 肖更竭 武生虎 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期1935-1940,共6页
用脉冲电弧离子镀技术,通过调整掺硅石墨靶和纯石墨靶的数量,制备了一系列不同硅含量的类金刚石薄膜样品.研究发现:当硅含量达6.7at.%时,类金刚石薄膜的应力从4.5GPa降低到3.1GPa,薄膜的硬度还保持在3600Hv,和没有掺杂的类金刚石薄膜的... 用脉冲电弧离子镀技术,通过调整掺硅石墨靶和纯石墨靶的数量,制备了一系列不同硅含量的类金刚石薄膜样品.研究发现:当硅含量达6.7at.%时,类金刚石薄膜的应力从4.5GPa降低到3.1GPa,薄膜的硬度还保持在3600Hv,和没有掺杂的类金刚石薄膜的硬度相比,基本保持不变;当硅含量小于6.7at.%时薄膜的摩擦系数相对于未掺杂的类金刚石薄膜也保持不变,为0.15.当薄膜中硅含量继续增加时,薄膜中C—Si键的含量增多,导致薄膜硬度和应力都有较大幅度地减小、摩擦系数增大、磨损性能也变差了. 展开更多
关键词 类金刚石膜 掺硅 应力 硬度 制备 力学性能
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激光熔覆硬质颗粒增强高熵合金复合涂层研究进展 被引量:11
6
作者 马清 张艳梅 +5 位作者 卢冰文 王岳亮 闫星辰 马文有 姜慧 刘敏 《材料研究与应用》 CAS 2021年第5期583-592,共10页
高熵合金因其独特的合金设计理念及优异的综合性能,逐渐成为表面工程领域的热门涂层材料之一,而激光熔覆技术已成为高熵合金涂层制备的主要手段之一.目前,激光熔覆制备的面心立方(FCC)或体心立方(BCC)单相的高熵合金涂层,由于强度-塑性... 高熵合金因其独特的合金设计理念及优异的综合性能,逐渐成为表面工程领域的热门涂层材料之一,而激光熔覆技术已成为高熵合金涂层制备的主要手段之一.目前,激光熔覆制备的面心立方(FCC)或体心立方(BCC)单相的高熵合金涂层,由于强度-塑性不匹配而导致涂层综合性能不佳,限制了其工程应用.由于硬质颗粒增强FCC结构高熵合金涂层是解决强度-塑性匹配的重要途径,成为国内外学者研究热点之一.重点介绍了直接添加和原位合成硬质颗粒增强高熵合金熔覆涂层的研究现状,分析了硬质颗粒增强高熵合金复合涂层性能的主要影响因素,并对未来硬质颗粒增强高熵合金涂层研究方向进行了展望. 展开更多
关键词 高熵合金涂层 激光熔覆 硬质颗粒 耐磨耐蚀性能 原位合成
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电子束蒸发制备二氧化钛薄膜应力测量 被引量:10
7
作者 陈焘 罗崇泰 +1 位作者 王多书 金扬利 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期168-171,共4页
在圆形硅基底上采用电子束加热蒸发制备了二氧化钛薄膜。薄膜应力测试结果表明,二氧化钛薄膜的内应力分布是不均匀的;二氧化钛薄膜的内应力集中主要出现在薄膜的边缘区域,有正应力的集中也有负应力的集中。原子力显微镜(AFM)结果显示,... 在圆形硅基底上采用电子束加热蒸发制备了二氧化钛薄膜。薄膜应力测试结果表明,二氧化钛薄膜的内应力分布是不均匀的;二氧化钛薄膜的内应力集中主要出现在薄膜的边缘区域,有正应力的集中也有负应力的集中。原子力显微镜(AFM)结果显示,不同的沉积速率和沉积温度下制备的二氧化钛薄膜具有不同的晶体结构和应力分布;沉积速率和沉积温度对二氧化钛薄膜内应力的影响是明显的,可以通过选择合适的沉积参数使内应力降低或达到最小。 展开更多
关键词 二氧化钛薄膜 电子束蒸发 内应力 热应力
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多光谱带通线性渐变滤光片的研制 被引量:10
8
作者 陈焘 罗崇泰 +1 位作者 刘宏开 周东平 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期72-75,共4页
线性渐变滤光片是一种特殊的滤光片,它的中心波长是随着在滤光片上位置的不同而变化的。采用离子束辅助沉积技术研制的线性渐变滤光片在0.4~1.1μm波段有10通道,平均透射率从77.5%增加到97.4%,在基板的中间任一位置只透过0.4~1.1μm... 线性渐变滤光片是一种特殊的滤光片,它的中心波长是随着在滤光片上位置的不同而变化的。采用离子束辅助沉积技术研制的线性渐变滤光片在0.4~1.1μm波段有10通道,平均透射率从77.5%增加到97.4%,在基板的中间任一位置只透过0.4~1.1μm内的一种特定波长的光。同时讨论了膜厚均匀性对线性渐变滤光片光谱性能的影响,计算表明镀制线性渐变滤光片时,在一定的配置下基片具有最佳的尺寸大小。 展开更多
关键词 线性渐变滤光片 多光谱 膜厚均匀性
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空间用宽截止长波红外带通滤光片的设计与镀制 被引量:9
9
作者 张佰森 马勉军 熊玉卿 《红外》 CAS 2009年第2期15-19,共5页
针对空间用宽截止长波红外带通滤光片具有通带内平均透射率高、抑制带截止深度深、波纹系数小、可适应复杂环境条件、具有高稳定性和高可靠性等特点,论述了宽截止长波红外带通滤光片的设计原则和方法。采用"会聚光红外光学系统&qu... 针对空间用宽截止长波红外带通滤光片具有通带内平均透射率高、抑制带截止深度深、波纹系数小、可适应复杂环境条件、具有高稳定性和高可靠性等特点,论述了宽截止长波红外带通滤光片的设计原则和方法。采用"会聚光红外光学系统"和等离子体辅助沉积工艺成功镀制了空间用宽截止长波红外带通滤光片。指出等离子体辅助沉积工艺更有利于长波红外滤光片膜层的显微结构改善和残余应力的消除。 展开更多
关键词 滤光片 长波红外 光学系统 设计 镀制
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掺铜对DLC膜力学性能影响研究 被引量:7
10
作者 赵栋才 任妮 +3 位作者 马占吉 邱家稳 肖更竭 武生虎 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2008年第5期38-42,共5页
利用纯铜靶作脉冲阴极,并改变碳阴极的数量或在铜靶前设置栅网调节DLC膜中铜含量,制备了不同铜含量的几组样品。研究发现,随着铜含量的增加,薄膜的硬度和应力下降;但当铜原子百分比含量大于6.3%时,薄膜的硬度和应力基本保持不变。摩擦... 利用纯铜靶作脉冲阴极,并改变碳阴极的数量或在铜靶前设置栅网调节DLC膜中铜含量,制备了不同铜含量的几组样品。研究发现,随着铜含量的增加,薄膜的硬度和应力下降;但当铜原子百分比含量大于6.3%时,薄膜的硬度和应力基本保持不变。摩擦因数随着铜含量的增加,一直缓慢增加,并且磨损量也慢慢增加。 展开更多
关键词 类金刚石膜 掺铜 应力 硬度
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钙钛矿型锰氧化物在热控薄膜材料方面的应用 被引量:5
11
作者 王洁冰 许旻 邱家稳 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期154-158,共5页
钙钛矿型锰氧化物材料具有热致相变特性,其半球发射率随温度不同而有较大的变化,利用这种相变特性可以制备航天器用智能型热控器件,这种器件具有重量小、不耗电、可靠性高等优点,成为未来热控涂层的重要选择.本文对钙钛矿型锰氧化物材... 钙钛矿型锰氧化物材料具有热致相变特性,其半球发射率随温度不同而有较大的变化,利用这种相变特性可以制备航天器用智能型热控器件,这种器件具有重量小、不耗电、可靠性高等优点,成为未来热控涂层的重要选择.本文对钙钛矿型锰氧化物材料的特性及机理作一个简单介绍. 展开更多
关键词 热控 热致相变 航天器
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镍的激光选区熔化成形工艺、结构与性能研究 被引量:5
12
作者 赵昀 赵国瑞 +2 位作者 马文有 郑黎 刘敏 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第17期178-189,共12页
以纯镍粉末为原料,通过激光选区熔化探究制备镍实体的优化工艺参数,研究了在一定铺粉层厚和扫描间距下,线能量密度对镍实体的致密度、显微组织、力学性能以及电化学性能的影响。结果显示:在线能量密度为244.8 J/m参数下,激光选区熔化(S... 以纯镍粉末为原料,通过激光选区熔化探究制备镍实体的优化工艺参数,研究了在一定铺粉层厚和扫描间距下,线能量密度对镍实体的致密度、显微组织、力学性能以及电化学性能的影响。结果显示:在线能量密度为244.8 J/m参数下,激光选区熔化(SLM)成形镍实体的综合性能最佳。该条件下成形件表面平整,表面粗糙度为10.5μm,致密度为99.7%,维氏硬度为165.4 HV0.2,抗拉强度为420 MPa,屈服强度为321 MPa,伸长率为23.2%,断口为韧性断口。在质量分数ω(NaOH)=20%溶液中析氢反应自腐蚀电位为-1.5×10^-6 mA·cm^-2,其极化钝化区域为-1.038~0.442 V。 展开更多
关键词 激光光学 选区激光熔化 工艺 缺陷 显微组织
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WC含量对激光熔覆FeCoNiCr高熵合金涂层组织结构及性能的影响规律研究
13
作者 龙海洋 董真 +5 位作者 卢冰文 闫星辰 马汝成 马清 赵国瑞 邱常明 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第24期107-116,共10页
激光熔覆高熵合金涂层已成为表面工程领域的研究热点之一,本文系统研究了不同含量WC(WC质量分数为10%~60%)对激光熔覆Fe Co Ni Cr高熵合金涂层组织结构以及耐磨性、耐蚀性的影响规律。添加10%~60%WC颗粒制备的高熵合金复合涂层的成形质... 激光熔覆高熵合金涂层已成为表面工程领域的研究热点之一,本文系统研究了不同含量WC(WC质量分数为10%~60%)对激光熔覆Fe Co Ni Cr高熵合金涂层组织结构以及耐磨性、耐蚀性的影响规律。添加10%~60%WC颗粒制备的高熵合金复合涂层的成形质量均较好,未出现裂纹等缺陷。随着添加WC颗粒的质量分数由10%增加到60%,涂层由FCC单相结构向FCC、WC、W_(2)C和Co_(4)W_(2)C等多相转变,显微组织由顶部等轴晶、底部柱状晶向树枝晶转变,块状和鱼骨状含碳相析出且其含量逐渐增加;添加60%WC颗粒后含碳析出相的面积占比可达64.18%。涂层横截面的平均显微硬度和耐磨性随着WC添加量的增加而显著提升,添加60%WC的高熵合金涂层的显微硬度最高(为501 HV0.2)且耐磨性最佳(摩擦因数为0.472),相对于未添加WC颗粒的高熵合金涂层的显微硬度(175 HV0.2)提升了约186%且耐磨性提高了233%。另外,随着WC颗粒的加入,具有较高耐蚀的面心立方相减少,同时WC在电化学过程中与黏结相形成了原电池。因此,高熵合金复合涂层的耐蚀性随着WC含量的增加而逐渐降低。 展开更多
关键词 激光技术 高熵合金 激光熔覆 WC颗粒 耐磨性 耐蚀性
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扫描间距对激光选区熔化NiTi形状记忆合金相变行为及力学性能的影响 被引量:4
14
作者 余春风 胡永俊 +4 位作者 卢冰文 马文有 王岳亮 董东东 刘敏 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2021年第19期265-274,共10页
激光选区熔化(SLM)增材制造技术为NiTi形状记忆合金复杂结构件的制造开辟了新途径,已成为智能材料领域的研究热点之一。本课题组采用光学显微镜、电子显微镜、X射线衍射仪、差式扫描量热仪、万能材料试验机等,重点研究了扫描间距h对SLM... 激光选区熔化(SLM)增材制造技术为NiTi形状记忆合金复杂结构件的制造开辟了新途径,已成为智能材料领域的研究热点之一。本课题组采用光学显微镜、电子显微镜、X射线衍射仪、差式扫描量热仪、万能材料试验机等,重点研究了扫描间距h对SLM成形NiTi合金相对密度、组织结构、相变行为及力学性能的影响。结果表明:线能量密度在100~250 J/m范围内时,可以获得连续且稳定的单熔道试样;随着扫描间距h从115μm减小到64μm,SLM成形的NiTi合金块体中的NiTi(B2)相含量有所减少,相对密度增大,表面粗糙度减小,相变温度M_(s)呈逐渐升高的趋势。扫描间距h=77μm时成形的NiTi块体试样的综合性能最佳:相对密度为98.5%,抗压强度和抗拉强度分别为3351 MPa和839 MPa,第1次压缩循环后的可回复应变为5.99%,应变回复率高达97%,第10、第20次压缩循环后的可回复应变分别为5.77%和5.75%。 展开更多
关键词 激光技术 激光选区熔化 形状记忆合金 相变行为 力学性能 超弹性
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二氧化钒薄膜微结构和光学相变特性 被引量:2
15
作者 许旻 邱家稳 +2 位作者 崔敬忠 王洁冰 何延春 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A01期211-213,共3页
二氧化钒薄膜是最有前途应用到非制冷红外微测热辐射计的材料,它的特性与制备方法、化学计量比、结构和取向等有直接关系,仔细控制工艺参数是制备应用的VO2薄膜关键。研究中采用脉冲磁控反应溅射方法,通过精确地控制功率、氧分压、... 二氧化钒薄膜是最有前途应用到非制冷红外微测热辐射计的材料,它的特性与制备方法、化学计量比、结构和取向等有直接关系,仔细控制工艺参数是制备应用的VO2薄膜关键。研究中采用脉冲磁控反应溅射方法,通过精确地控制功率、氧分压、基底温度等关键工艺参数,在石英玻璃和硅片上制备VO2薄膜。利用X射线衍射和x射线光电子谱,分析了薄膜的成分、相结构、结晶和价态情况,用原子力显微镜表征了薄膜的微观结构,在光谱仪对VO2薄膜的高低温光学特性原位测量。结果表明,得到的VO2薄膜纯度高、相结构单一、结晶度、多晶生长。在波数2000cm^-1高低温透射变化达到51%。 展开更多
关键词 薄膜 VO2 脉冲溅射 微结构 光学特性
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非平衡线圈电流对掺钨含氢类金刚石碳膜力学和摩擦学性能的影响 被引量:1
16
作者 杨拉毛草 周晖 +2 位作者 郑军 桑瑞鹏 万志华 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期86-89,共4页
利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅片及9Cr18不锈钢基体表面制备不同非平衡线圈电流下的掺钨含氢类金刚石碳膜。采用Raman光谱以及红外光谱分析薄膜结构,采用纳米硬度测试仪和纳米划痕仪研究薄膜的纳米硬度和膜基附着力,在球-盘摩擦磨损... 利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅片及9Cr18不锈钢基体表面制备不同非平衡线圈电流下的掺钨含氢类金刚石碳膜。采用Raman光谱以及红外光谱分析薄膜结构,采用纳米硬度测试仪和纳米划痕仪研究薄膜的纳米硬度和膜基附着力,在球-盘摩擦磨损试验机上测试薄膜的摩擦学性能。结果表明:制备的薄膜样品具有典型的类金刚石碳膜结构,薄膜中含氢量较高;非平衡线圈电流对等离子体的限制条件影响着薄膜的力学和摩擦学性能,薄膜硬度和弹性模量随着非平衡线圈电流增加而增大,薄膜的摩擦因数在非平衡线圈电流增加到最大值8 A时达到最小值0.118,在此参数下的耐磨寿命也最长。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 金刚石碳膜 力学性能 摩擦学性能
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一种聚酰亚胺超低热导红外热敏悬浮微桥 被引量:1
17
作者 余荣 陈学康 +3 位作者 杨建平 曹生珠 吴敢 王瑞 《微纳电子技术》 CAS 2007年第10期952-956,共5页
热导极为微小的热敏悬空微桥结构的制作是集成非致冷热成像探测阵列热敏感单元研究的核心。由于没有现成的将聚酰亚胺制成微桥的工艺,采用准分子激光微刻蚀技术,使用聚酰亚胺材料,并采用铂作为敏感材料来制作微桥。对所制作的铂/聚酰亚... 热导极为微小的热敏悬空微桥结构的制作是集成非致冷热成像探测阵列热敏感单元研究的核心。由于没有现成的将聚酰亚胺制成微桥的工艺,采用准分子激光微刻蚀技术,使用聚酰亚胺材料,并采用铂作为敏感材料来制作微桥。对所制作的铂/聚酰亚胺微桥原理性样件的初步测试表明,铂/聚酰亚胺微桥的热导约3.98×10-7W/K,与理论计算值接近。铂薄膜与聚酰亚胺微桥附着良好,工艺可行。在0~10V的驱动电压下可观察到铂/聚酰亚胺微桥样件明显的自热效应,其电加热响应时间小于100ms。 展开更多
关键词 非致冷红外探测 热敏悬浮微桥 激光微刻蚀 微机电系统
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离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响 被引量:8
18
作者 陈焘 罗崇泰 +3 位作者 王多书 刘宏开 王济洲 马锋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期55-58,共4页
在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜。通过XRD和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响规律。结果表明,未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力,平均应力值为110.6 MPa,当采用离子束辅助... 在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜。通过XRD和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响规律。结果表明,未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力,平均应力值为110.6 MPa,当采用离子束辅助工艺时硫化锌薄膜的压应力增加了62.3MPa。真空退火使硫化锌薄膜的平均应力大约降低了二分之一。硫化锌薄膜的微观结构变化是影响薄膜应力的主要因素。 展开更多
关键词 硫化锌薄膜 离子束辅助沉积 真空退火 应力
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ZnO薄膜的结构、性能及其应用 被引量:7
19
作者 赵印中 李林 +3 位作者 许旻 何延春 吴春华 王洁冰 《真空与低温》 2009年第1期48-51,共4页
从ZnO薄膜的晶体结构、光学性能、电学性能、光电特性、气敏特性等方面综述了ZnO的研究重点和应用前景。
关键词 ZNO薄膜 晶体结构 光电特性 气敏特性
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电致变色热控器件透明导电层的制备与研究 被引量:5
20
作者 王洁冰 何延春 +3 位作者 许旻 邱家稳 吴春华 赵印中 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期83-87,共5页
本文针对电致变色热控器件的透明导电层开展了ITO薄膜的制备工艺研究,对薄膜制备过程中的几个主要影响因素(溅射压强、氩/氧比例、退火温度等)进行了分析,并测试了薄膜性能,制备的ITO薄膜电阻在100Ω~120Ω左右,在太阳光谱范围的吸收... 本文针对电致变色热控器件的透明导电层开展了ITO薄膜的制备工艺研究,对薄膜制备过程中的几个主要影响因素(溅射压强、氩/氧比例、退火温度等)进行了分析,并测试了薄膜性能,制备的ITO薄膜电阻在100Ω~120Ω左右,在太阳光谱范围的吸收率小于5%,可以满足电致变色器件对透明导电层的要求。 展开更多
关键词 电致变色器件 ITO薄膜 制备工艺
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