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氮化硅介质薄膜内应力的实验研究 被引量：17
1
作者 于映 陈跃 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期51-54,共4页
研究了等离子体增强化学气相沉积氮化硅介质薄膜的内应力。采用钠光平面干涉测量了氮化硅薄膜内应力 ,通过改变薄膜沉积时的工艺参数 ,考察了反应气体流量比、沉积温度、射频功率密度等因素对氮化硅薄膜内应力的影响。在此基础上 ,对氮... 研究了等离子体增强化学气相沉积氮化硅介质薄膜的内应力。采用钠光平面干涉测量了氮化硅薄膜内应力 ,通过改变薄膜沉积时的工艺参数 ,考察了反应气体流量比、沉积温度、射频功率密度等因素对氮化硅薄膜内应力的影响。在此基础上 ,对氮化硅介质薄膜本征应力的形成机制进行了分析讨论。 展开更多
关键词 内应力 氮化硅薄膜 化学气相沉积 形成机制 介质薄膜 等离子体
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一种不规范的斯特姆-刘维本征值问题 被引量：12
2
作者 程利青 《大学物理》 北大核心 2003年第2期11-14,共4页
由于端点系有集中质量的弹性杆的振动问题的边界条件不是斯特姆 -刘维本征值问题所要求的边界条件 ,分离变数所得到的函数系 {Xn(x) }不是正交函数系 ,故求解十分困难 .本文提出一种变换 ,将其边界条件化为第一类、第二类或第三类边界条... 由于端点系有集中质量的弹性杆的振动问题的边界条件不是斯特姆 -刘维本征值问题所要求的边界条件 ,分离变数所得到的函数系 {Xn(x) }不是正交函数系 ,故求解十分困难 .本文提出一种变换 ,将其边界条件化为第一类、第二类或第三类边界条件 ,此时 {Xn(x) }为正交完备函数系 ,问题大为简化 . 展开更多
关键词 斯特姆-刘维本征值问题 边界条件 本征函数 固有频率 不规范性 振动 弹性杆
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一维PSD的光电性能解析研究 被引量：8
3
作者 黄梅珍 唐九耀 +1 位作者 陈钰清 曹向群 《电光与控制》 北大核心 2000年第4期55-59,共5页
位置敏感探测器（ＰＳＤ）是一种基于横向光电效应的光敏器件，本文从描述横向光电效应的Ｌｕｃｏｖｓｋｙ方程出发，分析了几种不同情况下一维ＰＳＤ输出信号的解析解，讨论了一维ＰＳＤ的响应特性、线性条件及位置公式。
关键词 位置敏感探测器 PSD 响应特性 光电性能
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塑料制品等离子体表面处理机的原理及应用 被引量：8
4
作者 林立中 《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 1999年第6期17-19,共3页
采用直流辉光放电产生的冷等离子体对塑料表面进行处理，研究了接触角、粘接力在处理前后的变化，结果表明ＨＤＰＥ 薄膜的接触角由原８４°降低到３０°，ＰＰ 膜由原８８°降低到３８°，粘接力相应提高到３０ 倍，... 采用直流辉光放电产生的冷等离子体对塑料表面进行处理，研究了接触角、粘接力在处理前后的变化，结果表明ＨＤＰＥ 薄膜的接触角由原８４°降低到３０°，ＰＰ 膜由原８８°降低到３８°，粘接力相应提高到３０ 倍，较佳的处理条件为电流密度２ ～５ ｍ Ａ／ｃｍ ２ ，处理时间２ ～１２ ｍｉｎ ，本底气压３０ ～２００Ｐａ ，工作气体可选用空气或氧气。对所研制的表面处理机作了简单介绍。 展开更多
关键词 等离子体 表面处理 塑料制品 表面处理机
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基于蒙特卡罗模拟方法的光源用LED封装光学结构设计 被引量：8
5
作者 颜峻 于映 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期90-94,共5页
为满足正在兴起的LED照明光源的设计优化要求 ,必须探索适合LED光学结构设计的有效方法。引进蒙特卡罗 (MonteCarlo)随机模拟方法对常规形式发光二极管 (LED)的光学封装结构进行模拟 ,得出了LED的光强分布 ,并进行实际测量 ,模拟结果与... 为满足正在兴起的LED照明光源的设计优化要求 ,必须探索适合LED光学结构设计的有效方法。引进蒙特卡罗 (MonteCarlo)随机模拟方法对常规形式发光二极管 (LED)的光学封装结构进行模拟 ,得出了LED的光强分布 ,并进行实际测量 ,模拟结果与实验所得结果吻合较好 ,证明蒙特卡罗方法是进行LED光源光学结构设计的一种有效工具 ,可以以此作为LED光源的设计优化手段。重点探讨了此方法模拟中的随机数构造、优化 ;LED模型 ;仿真的计算机实现 ,仿真结果的验证 ;结构优化的思路等问题。 展开更多
关键词 蒙特卡罗模拟 计算机模拟仿真 LED光源 封装光学结构设计 白色发光二极管 光强分布 封装表面 光子内俘获 光子收集统计
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磁控溅射ITO透明导电薄膜的研究 被引量：5
6
作者 陈跃 《福州大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1999年第4期18-20,共3页
采用直流磁控反应溅射法制备锡掺杂氧化铟 （ Ｉ Ｔ Ｏ） 薄膜， 研究了不同的基片温度、氧分压等工艺参数对 Ｉ Ｔ Ｏ 薄膜电学、光学性能的影响， 制备出方块电阻为２０ － ５０ Ω、可见光透射率高于８６ ％ 的 Ｉ Ｔ Ｏ
关键词 磁控溅射 ITO 导电薄膜 氧化铟薄膜 锡 掺杂
原文传递
提高四边形电极结构二维PSD线性度的研究 被引量：4
7
作者 黄梅珍 林斌 +3 位作者 唐九耀 郑明学 陈钰清 曹向群 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期268-270,共3页
在对单表面分流四边形电极结构二维 PSD的非线性及失真进行理论分析的基础上 [1 ] ,从理论上计算得到了这种结构 PSD的位置修正因子 ,并提出了一种对这种结构 PSD的位置非线性进行修正的方法。初步实验取得了非常满意的结果 :经过修正... 在对单表面分流四边形电极结构二维 PSD的非线性及失真进行理论分析的基础上 [1 ] ,从理论上计算得到了这种结构 PSD的位置修正因子 ,并提出了一种对这种结构 PSD的位置非线性进行修正的方法。初步实验取得了非常满意的结果 :经过修正后 ,在较大尺寸 (13mm× 13mm)器件上实现了 6 0 %光敏面范围内的位置非线性均方根误差 0 .15 % ,位置检测均方根误差从原来的±10 10μm减小到± 2 0μm。最大误差从± 15 0 0μm下降到± 5 0μm。由于进行了归一化处理 ,该方法适用于这种结构不同尺寸的 PSD,特别具有实用意义。 展开更多
关键词 四边形电极结构 PSD 位置测量误差 线性度 修正因子 位置敏感探测器
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远程环境集中监控系统 被引量：2
8
作者 刘志辉 郭红 陈锐 《福州大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 2000年第6期18-21,共4页
分析远程监控系统的结构及实现方法 ,阐述了监控系统应具备的基本功能及相关的关键技术 。
关键词 集中监控 环境监控 远程监控 监控系统
原文传递
直流辉光放电等离子体特性研究 被引量：4
9
作者 林立中 《福州大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1999年第4期13-17,共5页
研究了直流辉光放电中各区域的特性， 测量了正柱区的等离子体参数，
关键词 直流辉光放电 正柱区 等离子体
原文传递
手持式乙醇测试仪的研制 被引量：7
10
作者 林吉申 黄文风 武建珊 《传感器技术》 CSCD 2000年第2期41-43,共3页
介绍一种新型的乙醇测试仪的设计原理、实用电路及实验结果。该仪器具有体积小、灵敏度高、选择性好、稳定性高、响应时间短、手持、能方便地现场实时地检测气体中气态酒精浓度等特点。可用于交通安检及酒厂、食品工厂发酵的监测。
关键词 酒精气体 检测 乙醇测试仪
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曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究 被引量：3
11
作者 杨尊先 李昕欣 于映 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期138-144,共7页
利用有限元模拟方法,对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先,建立适用于该器件曲面阻尼的分段近似叠加理论模型;随后,采用ANSYS有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动... 利用有限元模拟方法,对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先,建立适用于该器件曲面阻尼的分段近似叠加理论模型;随后,采用ANSYS有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动态冲击响应特性的影响。器件动态冲击响应实际上是受迫振动与传感器悬臂梁固有频率振动的叠加。当阻尼带隙较小时,输出结果表现为冲击载荷下的受迫振动响应;随着阻尼带隙变宽,悬臂梁固有频率振动渐突显,响应峰值电压也近线性增加,而峰值电压所对应时间则非线性减小。在其它条件相同情况下,阻尼介质粘滞系数越大,响应输出曲线越光滑,但其峰值电压也相应越低。在空气阻尼介质中,过载保护曲面的平移距离控制在0.5～0.65μm范围内,以获取较好的动态响应效果。 展开更多
关键词 高g加速度传感器 压膜阻尼 曲面过载保护 冲击响应
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建筑物智能系统异构资源集成模型的研究 被引量：1
12
作者 郭红 陈锐 +1 位作者 刘志辉 胡黎明 《小型微型计算机系统》 CSCD 北大核心 2001年第9期1126-1129,共4页
近年来 ,智能建筑得到飞速发展 .但是由于智能建筑中各种不同功能的智能子系统是由不同厂商提供且遵循不同标准 ,要将它们集成在统一的应用平台上 ,以实现各子系统之间快速的信息交流与协同工作是非常困难的 .本文简要分析目前几种主要... 近年来 ,智能建筑得到飞速发展 .但是由于智能建筑中各种不同功能的智能子系统是由不同厂商提供且遵循不同标准 ,要将它们集成在统一的应用平台上 ,以实现各子系统之间快速的信息交流与协同工作是非常困难的 .本文简要分析目前几种主要集成模式存在的问题 ,提出一种新的采用 CSCW技术的集成模型 ,它以 CORBA为基础 。 展开更多
关键词 智能建筑 系统集成 CSCW CORBA
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REMPI-TOFMS用于焚烧过程二恶英的连续监测 被引量：3
13
作者 马靖 丁蕾 《光谱实验室》 CAS CSCD 2008年第1期I0036-I0040,共5页
介绍了剧毒污染物二恶英的基本特性以及焚烧过程产生二恶英的特点,阐述了共振增强多光子电离-飞行时间质谱(REMPI-TOFMS)技术的优势以及应用于二恶英连续监测的潜力。对于焚烧过程产生的二恶英,以其替代物作为检测对象的REMPI-TOFMS检... 介绍了剧毒污染物二恶英的基本特性以及焚烧过程产生二恶英的特点,阐述了共振增强多光子电离-飞行时间质谱(REMPI-TOFMS)技术的优势以及应用于二恶英连续监测的潜力。对于焚烧过程产生的二恶英,以其替代物作为检测对象的REMPI-TOFMS检测技术在连续监测方面展现出很好的前景。 展开更多
关键词 二恶英 REMPI—TOFMS 连续监测 替代物
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MEMS高量程加速度传感器压膜阻尼效果分析 被引量：1
14
作者 杨尊先 李昕欣 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期19-22,26,共5页
为实现一种高量程加速度传感器的近临界阻尼设计以提高其输出性能,采用有限元方法分别研究了阻尼带隙宽度、阻尼介质特性及温度等对器件冲击性能的影响。结果表明:器件冲击响应是受迫振动与悬梁固有振动叠加;随着阻尼带隙变宽,悬梁固有... 为实现一种高量程加速度传感器的近临界阻尼设计以提高其输出性能,采用有限元方法分别研究了阻尼带隙宽度、阻尼介质特性及温度等对器件冲击性能的影响。结果表明:器件冲击响应是受迫振动与悬梁固有振动叠加;随着阻尼带隙变宽,悬梁固有振动渐突显,峰值电压增加;阻尼介质粘滞系数越大,其峰值电压越低;介质温度对器件输出特性影响不大。在常温空气介质中,过载保护曲面平移距离为0.5μm时,阻尼比为0.24,近临界阻尼,输出电压高达77.9mV。 展开更多
关键词 电子技术 MEMS 高量程加速度传感器 阻尼效果 近似叠加理论
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Linux系统设备驱动程序设计一例 被引量：1
15
作者 赖松林 《福州大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 2001年第3期35-39,共5页
结合自行开发设计的加密卡的工作原理 。
关键词 驱动程序 加密卡 LINUX系统 字符设备 块设备 网络设备 程序设计
原文传递
大学物理双语教学体会 被引量：3
16
作者 陈美锋 《江西科学》 2005年第5期632-633,共2页
阐述了物理双语教学的几点体会:选用合适的教材是实施双语教学的基础;实施双语教学必须转变教学观念;双语教学中教学手段的运用;双语教学对教师提出了更高的要求。
关键词 大学物理 双语教学 教学方法
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用统计物理讨论活细胞内微粒的运动 被引量：3
17
作者 康承华 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第3期219-221,共3页
早期把活细胞内的微粒运动归为布朗运动.60年代初实验发现,活细胞内的微粒还发生时间上间歇、方向无规的跳跃运动.跳跃运动是由活细胞内ATP分子的化学能转为微粒的机械能而引起的运动,而布朗运动是由分子的热运动而引起的运动.跳跃运动... 早期把活细胞内的微粒运动归为布朗运动.60年代初实验发现,活细胞内的微粒还发生时间上间歇、方向无规的跳跃运动.跳跃运动是由活细胞内ATP分子的化学能转为微粒的机械能而引起的运动,而布朗运动是由分子的热运动而引起的运动.跳跃运动是一种生命活动的形式. 展开更多
关键词 统计物理 活细胞 微粒运动 细胞
原文传递
SnS薄膜的制备技术及其性能的研究进展
18
作者 黄赐昌 程树英 +1 位作者 钟南保 陈岩清 《江西科学》 2005年第4期496-498,共3页
SnS是一种IV-VI族半导体材料,非常适合于作为太阳能电池的吸收层材料。目前已经研究开发了许多制备SnS薄膜的技术,并对其性能进行了研究,详细阐述了SnS薄膜的制备技术及其性能的研究进展。
关键词 SnS薄膜 制备方法 性能
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阻尼介质温度对MEMS高量程加速度传感器动态输出特性的影响 被引量：2
19
作者 杨尊先 李昕欣 +1 位作者 于映 陈国南 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第5期1-4,共4页
以一种压阻式曲面过载保护高g加速度传感器为对象,为研究阻尼介质温度对器件动态冲击性能的影响,为进一步研制高性能传感器提供理论依据,利用有限元方法,分别研究在不同压阻掺杂浓度及阻尼介质温度下,器件经受105g峰值的半正弦加速度脉... 以一种压阻式曲面过载保护高g加速度传感器为对象,为研究阻尼介质温度对器件动态冲击性能的影响,为进一步研制高性能传感器提供理论依据,利用有限元方法,分别研究在不同压阻掺杂浓度及阻尼介质温度下,器件经受105g峰值的半正弦加速度脉冲时动态响应特性。结果表明:器件动态冲击响应实际上是受迫振动与器件悬臂梁固有频率振动相叠加的结果;随着阻尼介质温度逐渐升高,动态输出特性中受加速度冲击受迫振动渐显,响应峰值电压线性降低,且压阻掺杂浓度越低,峰值电压下降越快,温敏效应越不明显。因此,为了提高高量程加速度传感器工作稳定性,适当提高其压阻掺杂浓度是有必要的。 展开更多
关键词 高g加速度传感器 温敏效应 掺杂浓度 动态敏感特性
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MATLAB软件在超晶格纵向输运模拟计算中的应用 被引量：2
20
作者 李国刚 何礼熊 《福建电脑》 2002年第12期42-43,共2页
利用MATLAB强大的科学运算与高质量的图形可视化的功能模拟计算超晶格纵向输运问题,结果与实验数据吻合。给出了源程序,并进行了ode命令的性能比较。
关键词 MATLAB软件 超晶格纵向输运 模拟计算 程序设计 界面设计
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