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题名化学在半导体硅材料制造业的作用与展望
被引量：1
- 1
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作者
吴雄杰
饶伟星
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机构
浙江大学海纳半导体分公司
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出处
《化工生产与技术》
CAS
2002年第6期18-20,共3页
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文摘
针对半导体集成电路行业的迅猛发展,概述了作为半导体工业基础的半导体硅材料在近20年来的发展状况,着重阐明了当代化学技术及其产品对硅材料制造业发展的重要作用,以及随着硅材料业向更高层次的迈进,给化学化工行业带来的挑战与机遇。
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关键词
半导体集成电路
半导体硅材料
化学技术
研磨液
抛光浆
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Keywords
semiconductor integrated circuit, semiconductor silicon material, chemical technology, lapping liquid, polishing liquid
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分类号
TN304
[电子电信—物理电子学]
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题名直拉法单晶制造中的直径检测技术
被引量：15
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作者
田达晰
蒋科坚
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机构
浙江大学浙大海纳半导体分公司
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期25-27,31,共4页
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文摘
自动直径控制(ADC)是直拉法单晶制造中的重要环节。本文详细介绍了直拉单晶的直径检测技术,分析其性能差异,对目前单晶炉设备的设计制造有参考作用。
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关键词
单晶制造
直径检测
直拉法
自动直径控制
Ircon
ADC
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Keywords
Czochralski
automatic diameter control
Ircon
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分类号
TN307
[电子电信—物理电子学]
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题名我国电子化学品产业的发展现状及前景
被引量：5
- 3
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作者
吴雄杰
裘霞敏
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机构
浙江大学海纳半导体科技分公司
浙江省化工研究院蓝天环保高科技公司
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出处
《浙江化工》
CAS
2003年第6期25-27,共3页
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文摘
针对微电子信息产业的发展对我国电子化学品行业带来的发展机遇,概述了行业发展的现状及超净高纯试剂与光刻胶两大类品种的生产现状、研究方向和市场潜力。
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关键词
中国
电子化学品
产业发展
现状
市场前景
微电子技术
集成电路
超净高纯试剂
光刻胶
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分类号
F426.7
[经济管理—产业经济]
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