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题名超高真空技术在表面处理系统中的应用(英文)
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作者
林主税
孙少妮
王志秀
张以忱
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机构
株式会社ulvac
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出处
《真空》
CAS
北大核心
2004年第4期1-14,共14页
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文摘
超高真空的获得与测量技术于 195 0年左右在加拿大和美国问世。今天 ,伴随着半导体设备、平板显示器、磁和光磁存储器设备等制造业的发展 ,每隔一个月就要求推出新型有效的生产体系。在这些表面设备的生产系统中 ,许多都要求局部超高真空或要求整个工艺处理过程置于超高真空环境中。设计一个优质、高效的超高真空系统及操作工艺是达到理想效果的关键。在这里 ,我们只有科学理解气体分子和特殊表面物化结构间的相互作用 ,才能很好地解决各种工程问题。具备了关于等离子体和超高真空室壁及内部装置的表面间的相互作用的经验 ,就可以很好的解决等离子体的控制问题。近年来 ,显示器件使用的某些有机材料的开发应用 ,给超高真空技术提出了新的挑战。
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关键词
真空工程
沉积技术
介质膜层
表面工程
超高真空技术
表面处理系统
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Keywords
Vacuum engineering
Desposition technique
Media coating
Surface engineering
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分类号
TB79
[一般工业技术—真空技术]
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题名“株式会社ULVAC”迈进21世纪新时代
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作者
岩下节生
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机构
株式会社ulvac上海统括中心
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出处
《真空》
CAS
北大核心
2001年第5期46-49,共4页
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文摘
介绍了日本株式会社 UL VAC公司的概况、核心技术和在中国的开发情况以及未来的发展方向。对了解日本株式会 UL VAC公司及相关技术有参考价值。
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关键词
镀膜
半导体
液晶
日本
株式会社ULVAC公司
真空行业
中国
发展方向
真空技术
技术发展
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Keywords
coating
semi-conductor
liquid crystal
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分类号
F431.364
[经济管理—产业经济]
TB7
[一般工业技术—真空技术]
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