“株式会社ULVAC”迈进21世纪新时代

ULVAC Japan, Ltd" strides forward the new age of the 21 st century

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摘要介绍了日本株式会社 UL VAC公司的概况、核心技术和在中国的开发情况以及未来的发展方向。对了解日本株式会 UL VAC公司及相关技术有参考价值。 The general situation of ULVAC Japan, Ltd and its key technique are given. The development and further advances in China are described. It gives a reference to understand ULVAC Japan, Ltd and its relative technique.

作者岩下节生

机构地区株式会社ULVAC上海统括中心

出处《真空》 CAS 北大核心 2001年第5期46-49,共4页 Vacuum

关键词镀膜半导体液晶日本株式会社ULVAC公司真空行业中国发展方向真空技术技术发展 coating semi-conductor liquid crystal

分类号 F431.364 [经济管理—产业经济] TB7 [一般工业技术—真空技术]

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真空

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