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AlGaN基深紫外发光二极管空穴注入效率的提高途径 被引量:5
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作者 田康凯 楚春双 +2 位作者 毕文刚 张勇辉 张紫辉 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第6期1-15,共15页
目前,发光波长短于360nm的深紫外发光二极管(DUV LEDs)的外量子效率(EQE)普遍低于10%。一方面,基于高AlN组分AlGaN材料量子阱的出光中存在大量的横磁(TM)模式的偏振光,这极大程度上降低了DUV LEDs器件的光提取效率(LEE);另一方面,受限... 目前,发光波长短于360nm的深紫外发光二极管(DUV LEDs)的外量子效率(EQE)普遍低于10%。一方面,基于高AlN组分AlGaN材料量子阱的出光中存在大量的横磁(TM)模式的偏振光,这极大程度上降低了DUV LEDs器件的光提取效率(LEE);另一方面,受限于现阶段AlGaN材料的外延生长水平,DUV LEDs器件的晶体质量普遍比较差,增加了有源区内非辐射复合率,造成DUV LEDs器件内量子效率(IQE)的衰减。除此之外,载流子注入效率也严重影响着DUV LEDs器件的IQE,尤其是空穴注入效率。为此,研究人员开展了大量的研究来提高空穴注入效率,从而改善DUV LEDs器件的EQE。着重总结探讨了近年来提高DUV LEDs器件空穴注入效率的诸多措施,深刻揭示了其中的物理机理,对改善DUV LEDs的器件性能具有重要的意义。 展开更多
关键词 光学器件 ALGAN 深紫外发光二极管 外量子效率 空穴注入效率 光输出功率
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基于多层特征融合可调监督函数卷积神经网络的人脸性别识别 被引量:15
2
作者 石学超 周亚同 池越 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2019年第3期940-944,共5页
为了进一步提高性别识别的准确率,提出了一种基于多层特征融合与可调监督函数机制结合的卷积神经网络(L-MFCNN)模型,并将之用于人脸性别识别。与传统卷积神经网络(CNN)不同,L-MFCNN将多个浅层中间卷积层特征输出与最后卷积层特征输出相... 为了进一步提高性别识别的准确率,提出了一种基于多层特征融合与可调监督函数机制结合的卷积神经网络(L-MFCNN)模型,并将之用于人脸性别识别。与传统卷积神经网络(CNN)不同,L-MFCNN将多个浅层中间卷积层特征输出与最后卷积层特征输出相结合,融合多层卷积层的特征,不仅利用了深层卷积的整体语义信息,还考虑了浅层卷积的细节局部纹理信息,使得性别识别更加准确。此外L-MFCNN还引入具有可调目标监督函数机制的large-margin softmax loss作为输出层,利用其调节不同的间隔(margin)的机制来有效引导深层卷积网络学习,使得同种性别间的类内间距更小,不同性别间的类间距更大,获得更好的性别识别效果。在多个人脸数据集上的性别识别实验结果表明,L-MFCNN的识别准确率要高于其他传统的卷积网络模型。L-MFCNN模型也为将来的人脸性别识别研究提供了新的思路与方向。 展开更多
关键词 人脸性别识别 多层特征融合 卷积神经网络 深度学习
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基于SOA的平行双抽运结构偏振复用OFDM信号的全光波长变换 被引量:12
3
作者 卢嘉 胡园园 +2 位作者 刘剑飞 曾祥烨 高军萍 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期159-166,共8页
理论研究并模拟仿真了在半导体光放大器(SOA)中的基于平行双抽运结构的偏振复用十六进制正交幅度调制-正交频分复用(16QAM-OFDM)信号的全光波长变换(AOWC)。理论推导及仿真结果表明偏振复用16QAMOFDM信号可以经过全光波长变换实现偏振... 理论研究并模拟仿真了在半导体光放大器(SOA)中的基于平行双抽运结构的偏振复用十六进制正交幅度调制-正交频分复用(16QAM-OFDM)信号的全光波长变换(AOWC)。理论推导及仿真结果表明偏振复用16QAMOFDM信号可以经过全光波长变换实现偏振不敏感信号无串扰直接接收,并对影响系统转换效率的因素,如频率间隔、SOA注入电流、信号光功率及信号光入射角等进行了分析,同时分析结果验证了理论推导的正确性。 展开更多
关键词 光通信 全光波长变换 半导体光放大器 正交频分复用 四波混频 平行双抽运
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基于改进YOLO模型的遥感小目标检测 被引量:6
4
作者 王凯 王伟 蒋志伟 《电光与控制》 CSCD 北大核心 2023年第6期60-64,共5页
针对遥感图像中小目标检测精度低以及漏检现象严重的问题,提出一种基于YOLOv4改进的遥感小目标检测算法。该算法首先改进特征提取网络,删除深层次特征层,减少语义丢失现象;其次将轻量级注意力机制与RFB-S结构融合,拓展感受野,并加强网... 针对遥感图像中小目标检测精度低以及漏检现象严重的问题,提出一种基于YOLOv4改进的遥感小目标检测算法。该算法首先改进特征提取网络,删除深层次特征层,减少语义丢失现象;其次将轻量级注意力机制与RFB-S结构融合,拓展感受野,并加强网络对重要信息的关注程度,从而提升检测精度;最后使用Focal Loss函数解决正负样本不均衡问题,抑制背景目标,进一步增强检测效果。在RSOD数据集上的实验结果表明,改进后算法检测平均精度为96.5%,召回率达到87.2%,检测效果明显提升,有效改善了小目标漏检现象,对遥感图像小目标检测具有重要意义。 展开更多
关键词 遥感图像 YOLOv4 特征提取 注意力机制
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用于检测糖尿病标志物的电子鼻优化设计 被引量:8
5
作者 奉轲 花中秋 +4 位作者 伍萍辉 李彦 曾艳 王天赐 邱志磊 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期13-18,共6页
人体呼气中的丙酮含量可作为糖尿病的标志物。为实现无创糖尿病诊断,设计以金属氧化物半导体气敏传感器阵列为核心的人工嗅觉系统,对完成痕量丙酮的快速检测具有重要意义。通过多个气体流量控制器MFC(Mass Flow Controller)分别配制出... 人体呼气中的丙酮含量可作为糖尿病的标志物。为实现无创糖尿病诊断,设计以金属氧化物半导体气敏传感器阵列为核心的人工嗅觉系统,对完成痕量丙酮的快速检测具有重要意义。通过多个气体流量控制器MFC(Mass Flow Controller)分别配制出模拟糖尿病患者呼气样本(30×10-6丙酮)与另两种干扰气体样本(30×10-6乙醇样本、15×10-6丙酮与15×10-6乙醇混合样本)进行实验,基于BP神经网络算法对3种气体定性识别,并通过主成分分析PCA(Principal Component Analysis)算法对原始的高维特征子集进行降维优化。实验表明:PCA与BP算法相结合,可降低BP神经网络的复杂性、减少预测的误差,同时能够解决单个气体传感器交叉敏感问题,进而提高对气体的选择性。对痕量丙酮样本与另两种干扰气体样本进行分析识别,识别的结果显示:对3种样本的识别准确率为91%。该研究为准确识别糖尿病标志物实现无创诊断技术提供了理论指导。 展开更多
关键词 丙酮气体 传感器阵列 BP神经网络 PCA分析
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分布式协同多机器人多任务目标遍历路径规划 被引量:8
6
作者 李靖 杨帆 《天津工业大学学报》 CAS 北大核心 2020年第6期68-75,共8页
针对群智能优化算法易陷入局部最优且单一算法不易解决障碍物空间中多机器人多任务目标遍历的问题,提出一种分布式协同多机器人多任务目标遍历路径规划策略。首先,通过K-Means聚类算法对多任务目标进行分类,随后运用改进的灰狼优化算法... 针对群智能优化算法易陷入局部最优且单一算法不易解决障碍物空间中多机器人多任务目标遍历的问题,提出一种分布式协同多机器人多任务目标遍历路径规划策略。首先,通过K-Means聚类算法对多任务目标进行分类,随后运用改进的灰狼优化算法求解每类任务目标的最优遍历顺序,其中改进的灰狼优化算法引入余弦收敛因子以平衡全局搜索与局部开发的能力,引入布谷鸟搜索算法优化种群更新位置,最后在类内根据遍历顺序运用A*算法避障路径规划。每类的任务目标遍历路径规划的集合即为整个系统的多任务目标遍历路径。仿真实验表明:在规划多任务点遍历路径时,改进的灰狼优化算法比传统灰狼优化算法求解的路径长度缩短了5.08%,且适应度曲线收敛更快、算法稳定性更高;在规划避障路径时,A*算法比模糊逻辑法与RRT法求解的路径长度分别缩短了22.4%、9.8%,同时验证了分布式协同多机器人多任务目标遍历路径规划算法的可行性。 展开更多
关键词 分布式协同 多机器人 路径规划 多任务目标 K-MEANS聚类 布谷鸟搜索算法 灰狼优化算法 A*算法
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预决策金字塔层数的欧拉视频微弱运动放大算法 被引量:6
7
作者 王霞 付晓静 +1 位作者 王楠 王蒙军 《科学技术与工程》 北大核心 2016年第1期114-118,共5页
欧拉视频放大算法(EVM)将受人眼局限而观察不到的微弱运动放大;但放大视频质量随使用的金字塔层数及微弱运动幅值的不同而有明显差异。为提高视频放大效果,放大之前对输入视频提取运动前景,找到黑色像素数最大图像帧,求出该帧非0像素数... 欧拉视频放大算法(EVM)将受人眼局限而观察不到的微弱运动放大;但放大视频质量随使用的金字塔层数及微弱运动幅值的不同而有明显差异。为提高视频放大效果,放大之前对输入视频提取运动前景,找到黑色像素数最大图像帧,求出该帧非0像素数占图像帧总像素数的比例;根据阈值判断金字塔层数,再进行EVM处理。研究表明,根据视频运动前景中非零像素与总像素比例,预判断欧拉视频放大金字塔层数,有效改善了单一金字塔层数EVM算法的放大效果。 展开更多
关键词 欧拉视频放大 微弱运动 图像金字塔 前景提取
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化学气相沉积制备大面积高质量石墨烯的研究进展 被引量:6
8
作者 石晓东 王伟 +1 位作者 尹强 李春静 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期136-142,共7页
石墨烯是由单层碳原子紧密堆积形成的一种碳质新材料,具有优良的电学、光学、热学及力学等性质。在众多的石墨烯制备方法中,化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)最有可能实现大面积、高质量石墨烯的可控制备。综述了CVD方法制... 石墨烯是由单层碳原子紧密堆积形成的一种碳质新材料,具有优良的电学、光学、热学及力学等性质。在众多的石墨烯制备方法中,化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)最有可能实现大面积、高质量石墨烯的可控制备。综述了CVD方法制备大面积、高质量石墨烯的影响因素,包括衬底、碳源及生长条件(气体流量、生长温度、等离子体功率、生长压强、沉积时间、冷却速率等)。最后展望了CVD方法制备石墨烯的发展方向。 展开更多
关键词 石墨烯 化学气相沉积 衬底 碳源 生长条件
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受激布里渊散射脉冲压缩技术研究进展 被引量:5
9
作者 廉玉东 王禹贺 +7 位作者 章雨琴 韩世伟 虞洋 齐萱 栾楠楠 白振旭 王雨雷 吕志伟 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期1-19,共19页
受激布里渊散射(SBS)作为三阶光学效应广泛应用于激光组束、分布式光纤传感、布里渊激光器等领域。近年来,SBS脉冲压缩亦得到特殊关注。基于布里渊放大过程中的能量转移特性,SBS脉冲压缩技术能够将ns量级脉冲压缩至亚ns量级,峰值功率可... 受激布里渊散射(SBS)作为三阶光学效应广泛应用于激光组束、分布式光纤传感、布里渊激光器等领域。近年来,SBS脉冲压缩亦得到特殊关注。基于布里渊放大过程中的能量转移特性,SBS脉冲压缩技术能够将ns量级脉冲压缩至亚ns量级,峰值功率可提升1~2个数量级。系统介绍了SBS脉冲压缩基本理论,综合论述了SBS压缩器结构、增益介质、泵浦脉冲等因素对脉冲压缩特性的影响,并对SBS脉冲压缩发展趋势进行了展望,为今后SBS特性的研究提供了有益参考,也为高重频、高能量激光的获取提供了可行方案。 展开更多
关键词 受激布里渊散射 脉冲压缩 增益介质 声子寿命 泵浦脉冲
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介质FC-770受激布里渊散射脉冲压缩Stokes线宽特性研究(特邀) 被引量:1
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作者 廉玉东 胡祺 +4 位作者 解璐洋 靳鹏 杜奋娇 王雨雷 吕志伟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第8期219-224,共6页
布里渊散射是指入射到介质的泵浦光束与介质内的弹性声波声子发生相互作用而产生的三阶非线性光散射现象。在受激布里渊散射(SBS)脉冲压缩过程中,时域脉宽压缩研究较为广泛,但压缩过程中频域线宽变化与介质粘度、折射率等特性密切相关,... 布里渊散射是指入射到介质的泵浦光束与介质内的弹性声波声子发生相互作用而产生的三阶非线性光散射现象。在受激布里渊散射(SBS)脉冲压缩过程中,时域脉宽压缩研究较为广泛,但压缩过程中频域线宽变化与介质粘度、折射率等特性密切相关,因此文中研究聚焦单池结构下SBS脉冲压缩过程中介质FC-770产生的Stokes线宽变化影响因素,发现随着泵浦能量的增加,Stokes线宽先迅速增加后逐渐压窄至400 MHz左右,而随着产生池前透镜焦距的逐渐减小,Stokes线宽迅速压窄,且随能量变化线宽变化范围减小,最后探究了入射激光线宽对Stokes线宽变化的影响因素,得出介质FC-770产生的Stokes线宽值与入射激光线宽呈正比例关系,入射激光线宽值由280 MHz变化到450 MHz左右时,输出的Stokes线宽值由500 MHz变化到680 MHz左右。 展开更多
关键词 受激布里渊散射 脉冲压缩 线宽 介质FC-770
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新型阻挡层材料钌的研究进展 被引量:5
11
作者 王子艳 周建伟 +2 位作者 张佳洁 王庆伟 王辰伟 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第12期863-869,共7页
随着集成电路特征尺寸不断缩小到14 nm及以下,钌凭借其低的电阻率、对铜高的依附性而被考虑替代传统阻挡层材料Ta/TaN。但是,钌作为阻挡层材料依然存在很多问题,如低去除速率、容易引起铜的界面腐蚀、铜钌去除的不均匀性。针对以上问题... 随着集成电路特征尺寸不断缩小到14 nm及以下,钌凭借其低的电阻率、对铜高的依附性而被考虑替代传统阻挡层材料Ta/TaN。但是,钌作为阻挡层材料依然存在很多问题,如低去除速率、容易引起铜的界面腐蚀、铜钌去除的不均匀性。针对以上问题,主要从三个方面介绍了近几年的研究进展。首先,介绍了氧化剂及络合剂对钌去除速率的影响;然后,总结了针对铜钌界面腐蚀问题的研究进展;最后,阐述了国内外解决铜钌去除速率选择性问题的研究进展。此外,提出未来新型阻挡层钌的抛光液的研究应综合解决上述问题,而非单一解决,才能真正应用于生产领域。 展开更多
关键词 钌(Ru) 化学机械抛光(CMP) 去除速率 电偶腐蚀 去除速率选择性
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基于ZC序列的CO-OFDM系统定时同步改进算法 被引量:5
12
作者 刘剑飞 魏春歌 +1 位作者 曾祥烨 卢嘉 《光通信技术》 北大核心 2017年第9期56-59,共4页
首先简单介绍了CO-OFDM系统的组成结构及符号定时同步方法。针对采用Schmidl&Cox算法及相关改进算法进行符号定时同步时存在的峰值平台与副峰干扰问题,提出一种基于Zadoff-Chu(ZC)序列的改进算法。最后通过仿真实验验证了该算法的... 首先简单介绍了CO-OFDM系统的组成结构及符号定时同步方法。针对采用Schmidl&Cox算法及相关改进算法进行符号定时同步时存在的峰值平台与副峰干扰问题,提出一种基于Zadoff-Chu(ZC)序列的改进算法。最后通过仿真实验验证了该算法的有效性,提高了定时同步的精度,同时解决了基于PN序列符号定时同步算法存在的高PAPR的问题。 展开更多
关键词 CO—OFDM ZADOFF-CHU序列 符号定时同步
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咪唑对钴互连化学机械抛光的影响
13
作者 郭峰 王胜利 +1 位作者 王辰伟 张月 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2023年第7期888-892,898,共6页
集成电路制造钴互连化学机械抛光粗抛过程要求较低的静态腐蚀速率,故需在抛光液中添加抑制剂以满足抛光要求。研究了抑制剂咪唑(IMH)对钴互连化学机械抛光的影响与作用机理。在弱碱环境下通过抛光与静态腐蚀实验研究咪唑对钴去除速率的... 集成电路制造钴互连化学机械抛光粗抛过程要求较低的静态腐蚀速率,故需在抛光液中添加抑制剂以满足抛光要求。研究了抑制剂咪唑(IMH)对钴互连化学机械抛光的影响与作用机理。在弱碱环境下通过抛光与静态腐蚀实验研究咪唑对钴去除速率的影响,采用电化学、XPS实验研究咪唑对钴的缓蚀机理,采用AFM表征了咪唑对钴化学机械抛光后的表面粗糙度。结果表明,咪唑的添加有效地抑制了钴的去除速率与静态腐蚀速率,当咪唑质量分数为0.2%时,钴的去除速率由542.5 nm/min降至348.9 nm/min,静态腐蚀速率由60.2 nm/min降至1.5 nm/min,电化学腐蚀电流由62.4μA/cm^(2)降至3.5μA/cm^(2)。XPS结果表明,咪唑在钴表面生成钝化膜,保护了钴表面,抑制了钴的腐蚀。抛光后钴表面粗糙度由2.07 nm降至0.89 nm,表面质量得到提升。 展开更多
关键词 化学机械抛光 咪唑 去除速率 静态腐蚀速率 表面粗糙度
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酸性层间介质CMP抛光液胶体稳定性的研究
14
作者 陈志博 王辰伟 +2 位作者 王雪洁 王海英 盛媛慧 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2023年第12期1476-1482,共7页
针对酸性硅溶胶(SiO_(2))抛光液稳定性较差的问题,研究在磨料质量分数为16%,抛光液pH值为3的条件下,添加不同浓度阴离子表面活性剂烷基多苷磺基琥珀酸单酯盐(APG)、非离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚-9(AEO-9)、高聚物聚丙烯酸(PAA)、... 针对酸性硅溶胶(SiO_(2))抛光液稳定性较差的问题,研究在磨料质量分数为16%,抛光液pH值为3的条件下,添加不同浓度阴离子表面活性剂烷基多苷磺基琥珀酸单酯盐(APG)、非离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚-9(AEO-9)、高聚物聚丙烯酸(PAA)、聚乙二醇(PEG)对酸性抛光液的分散性能与SiO_(2)去除速率的影响。通过研究不同分散剂对抛光液的Zeta电位、粘度、紫外光谱、去除速率的影响,确定了不同分散剂的最佳浓度。研究表明,当在抛光液中分别滴加质量分数0.15%AEO-9、0.1%PEG、0.2%PAA、0.15%APG时,其抛光液的分散性能与抛光性能达到最佳;其中AEO-9的分散效果与抛光性能最好,在溶液中滴加质量分数0.15%AEO-9时,其溶液Zeta电位为-31.04 mV,粘度为5.58 mPa·s,去除速率为311.2 nm/min,并可使表面粗糙度降至0.235 nm。揭示了AEO-9在酸性硅溶胶体系下的作用机理。 展开更多
关键词 层间介质 化学机械抛光 分散剂 去除速率
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PdO表面催化改性WO3纳米颗粒对丙酮的气敏性能 被引量:4
15
作者 李彦 花中秋 +4 位作者 武一 曾艳 奉轲 王天赐 邱志磊 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期1467-1473,共7页
采用酸化法制备了WO_3纳米颗粒,利用丝网印刷技术制作了厚膜型气敏传感器件,并用动态配气法分析了低浓度丙酮气体的气敏响应特性。结果表明:酸化法制备的WO_3纳米颗粒为比表面积约10m^2/g的纳米片状结构,对低浓度的丙酮气体响应较弱。... 采用酸化法制备了WO_3纳米颗粒,利用丝网印刷技术制作了厚膜型气敏传感器件,并用动态配气法分析了低浓度丙酮气体的气敏响应特性。结果表明:酸化法制备的WO_3纳米颗粒为比表面积约10m^2/g的纳米片状结构,对低浓度的丙酮气体响应较弱。为提升其对丙酮的气敏响应能力,采用浸渍法在WO_3纳米颗粒表面负载了PdO。结果表明:PdO负载后的WO_3对丙酮气敏响应值提高了约5倍,对1.5×10^(-6)的丙酮气体的响应可达3.65,即少量的PdO负载(1.0%)会显著提高WO_3对丙酮的气敏特性。对丙酮气敏响应机理研究表明,表面吸附氧及由PdO表面催化修饰的晶格氧共同影响PdO-WO_3气敏传感器的性能。 展开更多
关键词 三氧化钨 催化改性 氧化钯 丙酮 气敏性能
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不同表面活性剂对浅沟槽隔离CMP中SiO_(2)与Si_(3)N_(4)速率选择性的影响
16
作者 张月 周建伟 +1 位作者 王辰伟 郭峰 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2023年第5期578-583,共6页
针对浅沟槽隔离(STI)化学机械抛光(CMP)过程中SiO_(2)与Si_(3)N_(4)去除速率选择比难以实现的问题,研究了阳离子表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)、阴离子表面活性剂直链烷基苯磺酸(LABSA)以及非离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚(AE... 针对浅沟槽隔离(STI)化学机械抛光(CMP)过程中SiO_(2)与Si_(3)N_(4)去除速率选择比难以实现的问题,研究了阳离子表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)、阴离子表面活性剂直链烷基苯磺酸(LABSA)以及非离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO7)对SiO_(2)与Si_(3)N_(4)去除速率以及速率选择比的影响。结果表明,CTAB对于SiO_(2)去除速率的抑制作用过强,导致速率选择比很低;与CTAB相比,LABSA对SiO_(2)去除速率的抑制作用减弱,但同时对Si_(3)N_(4)去除速率的抑制作用也变小,导致速率选择比无法满足工业生产的30∶1的要求;AEO7对SiO_(2)去除速率的影响较小,且对Si_(3)N_(4)去除速率的抑制作用强于LABSA。当引入质量分数为0.05%的AEO7时,SiO_(2)的去除速率由318.6 nm/min降低至224.1 nm/min,Si_(3)N_(4)的去除速率由28.6 nm/min降低至7 nm/min,速率选择比达到了32∶1,对于提高抛光效率以及有效地保护有源区具有重要意义。 展开更多
关键词 浅沟槽隔离 化学机械抛光 表面活性剂 速率选择比
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双通道立体图像质量评价方法的研究
17
作者 王杨 贾曦然 隆海燕 《科学技术与工程》 北大核心 2023年第4期1589-1597,共9页
针对立体图像质量评价问题,基于人眼观测图像的感知特性,提出一种双通道立体图像质量评价算法。首先,获取双目视图的拉普拉斯金字塔序列构建融合图,采用并行域分解多权重化策略提取双目局部质量感知特征;然后,结合视觉平衡特性引入语义... 针对立体图像质量评价问题,基于人眼观测图像的感知特性,提出一种双通道立体图像质量评价算法。首先,获取双目视图的拉普拉斯金字塔序列构建融合图,采用并行域分解多权重化策略提取双目局部质量感知特征;然后,结合视觉平衡特性引入语义特征通道提取双目高层次语义特征;最后,在支持向量回归的基础上得到双通道主客观图像质量评价值的关系映射。双通道网络集成了包含视差信息的多局部细节特征与全局语义特征,在LIVE 3D phaseⅠ与LIVE 3D phaseⅡ立体图像库进行性能测试。结果表明:所提算法所得预测值与主观评价值间具有良好的一致性。 展开更多
关键词 卷积神经网络(CNN) 立体图像质量评价 视觉平衡特性 语义特征
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超精密加工中铜表面CMP后残余金属氧化物的去除 被引量:3
18
作者 顾张冰 牛新环 +3 位作者 刘玉岭 高宝红 王辰伟 邓海文 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期146-154,共9页
多层铜布线经过化学机械平坦化(CMP)后,铜线条表面会残留CuO颗粒,它会对器件的稳定性有很大的影响,因此在CMP后清洗时必须把CuO从铜表面去除。这就要求有一种可以有效去除铜表面CuO的清洗剂。本研究中提出的新型复合清洗剂主要解决两个... 多层铜布线经过化学机械平坦化(CMP)后,铜线条表面会残留CuO颗粒,它会对器件的稳定性有很大的影响,因此在CMP后清洗时必须把CuO从铜表面去除。这就要求有一种可以有效去除铜表面CuO的清洗剂。本研究中提出的新型复合清洗剂主要解决两个问题:一个是CuO的去除,另一个是防止清洗液对铜表面造成腐蚀。清洗剂的主要成分有两种,一种是FA/OⅡ型碱性螯合剂,它主要用来去除CuO,另一种是FA/OI型表面活性剂,它主要用来解决铜表面的腐蚀问题。通过在铜光片的表面生成氧化铜膜层,利用清洗剂对氧化层的清洗能力来反映其对于CuO的去除能力。表面活性剂的抗腐蚀能力主要通过电化学实验来反映。最后通过对清洗后12英寸图形片上的缺陷分析,验证清洗液对抛光后铜表面残余CuO实际清洗效果。结果表明,本文提出的复合清洗剂在不腐蚀铜表面的前提下能有效去除CuO,并且对晶圆表面缺陷的整体去除效果良好。 展开更多
关键词 去除氧化铜 碱性清洗液 电化学 腐蚀抑制剂
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Ru负载WO3纳米颗粒对NH3的气敏特性 被引量:3
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作者 曾艳 花中秋 +4 位作者 田学民 李彦 王天赐 奉轲 邱志磊 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期70-77,共8页
采用酸化法制备了片状WO3纳米颗粒,通过动态配气测试系统测试了WO3对低浓度氨气(质量分数为2×10^-6~20×10^-6)的气敏性能。结果表明:制备的WO3对氨气的气敏性能较弱。为提高WO3纳米颗粒对氨气的气敏响应能力,采用浸渍法在... 采用酸化法制备了片状WO3纳米颗粒,通过动态配气测试系统测试了WO3对低浓度氨气(质量分数为2×10^-6~20×10^-6)的气敏性能。结果表明:制备的WO3对氨气的气敏性能较弱。为提高WO3纳米颗粒对氨气的气敏响应能力,采用浸渍法在WO3纳米颗粒表面负载了Ru元素。研究显示:Ru修饰改性的WO3对氨气的气敏响应显著提高,Ru-WO3对NH3的气敏响应随Ru的负载量及传感器工作温度的升高表现为先增大后减小,其中1%Ru-WO3在350℃时对NH3的气敏响应最好,且能响应低至1×10^-6的NH3,同时,Ru-WO3在氢气还原后对NH3的气敏响应也得到了显著提高。还探究了氨气的气敏响应机理,初步认为表面吸附氧是WO3及Ru-WO3对NH3气敏响应的起源。 展开更多
关键词 三氧化钨 氨气 气敏性能
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石墨烯场效应晶体管的输运特性 被引量:3
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作者 石晓东 王伟 +2 位作者 金慧娇 尹强 任利鹏 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第14期1520-1526,共7页
石墨烯场效应晶体管的研究对于摩尔定律的延续具有非常重要的意义.近年来,大面积、高质量石墨烯薄膜制备技术的快速发展,进一步推动了基于石墨烯材料的新型电子器件的研究,引起了集成电路领域研究人员的广泛关注.本文所制备的石墨烯场... 石墨烯场效应晶体管的研究对于摩尔定律的延续具有非常重要的意义.近年来,大面积、高质量石墨烯薄膜制备技术的快速发展,进一步推动了基于石墨烯材料的新型电子器件的研究,引起了集成电路领域研究人员的广泛关注.本文所制备的石墨烯场效应晶体管以ITO为栅电极,Ta_2O_5为栅绝缘层,石墨烯为有源层,Ti/Au双层金属为源漏电极.电学特性测试与分析结果表明,石墨烯与源漏电极形成了良好的欧姆接触.室温下,石墨烯场效应晶体管展示了其特有的双极性特征,空穴迁移率约为2272 cm2/(V s),电流开关比约为6.2.转移特性曲线中出现了明显的滞回现象,且随着栅压扫描范围的增大而越发显著.同时研究了温度对石墨烯场效应晶体管性能的影响,随着温度的升高,狄拉克点电压逐渐向零点方向偏移,滞回现象愈加明显.当温度为75℃时,空穴迁移率与电流开关达到最佳. 展开更多
关键词 石墨烯场效应晶体管 迁移率 电流开关比 滞回现象 温度
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