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二元光学元件制作误差分析与模拟 被引量：20
1
作者 徐平 张晓春 +4 位作者 郭履容 郭永康 周祥 杜春雷 周明宝 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期833-838,共6页
从标量衍射理论出发，首先从理论上计算出多台阶二元光学元件发生深度误差时衍射效率的解析式；然后以4台阶和8台阶闪耀光栅为例，对二元光学元件套刻制作中的主要误差及其这些误差之间的相互影响进行了系统的分析和计算机模拟研究，模... 从标量衍射理论出发，首先从理论上计算出多台阶二元光学元件发生深度误差时衍射效率的解析式；然后以4台阶和8台阶闪耀光栅为例，对二元光学元件套刻制作中的主要误差及其这些误差之间的相互影响进行了系统的分析和计算机模拟研究，模拟结果给实际制作提供了重要理论指导和实验参数。 展开更多
关键词 二元 光学元件 误差分析 闪耀光栅
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液晶实时掩膜技术制作连续微光学元件 被引量：20
2
作者 彭钦军 郭永康 +2 位作者 陈波 刘世杰 曾阳素 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期220-224,共5页
提出制作连续微光学元件的一种新技术———液晶实时掩膜技术 ,阐述了其基本原理和制作方法。基于部分相干光成像理论 ,采用计算机模拟了用实时掩膜制作微透镜和微轴锥镜阵列的过程。同时建立了实验装置进行实验 ,用全色银盐干板 (Kodak... 提出制作连续微光学元件的一种新技术———液晶实时掩膜技术 ,阐述了其基本原理和制作方法。基于部分相干光成像理论 ,采用计算机模拟了用实时掩膜制作微透镜和微轴锥镜阵列的过程。同时建立了实验装置进行实验 ,用全色银盐干板 (Kodak 131)通过酶刻蚀得到口径为 118.7μm ,深为 1.32 2 μm的 5 6× 48的轴锥镜的列阵。 展开更多
关键词 制作 应用光学 实时掩膜 液晶显示器件 连续微光学元件 光刻
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一种新的真彩色彩虹全息术 被引量：19
3
作者 范诚 江朝川 郭履容 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第11期1032-1036,共5页
本文提出了一种新的真彩色彩虹全息术称为三维物体的色编码重现技术,其特点是:利用单波长激光对三原色激光所记录的三维漫反射物体的菲涅耳全息图进行编码,从而可用单波长激光器在同一种记录介质上一次曝光记录三维物体的真彩色彩虹全... 本文提出了一种新的真彩色彩虹全息术称为三维物体的色编码重现技术,其特点是:利用单波长激光对三原色激光所记录的三维漫反射物体的菲涅耳全息图进行编码,从而可用单波长激光器在同一种记录介质上一次曝光记录三维物体的真彩色彩虹全息图。 展开更多
关键词 真彩色 彩虹 全息术 色编码 重现
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连续微光学元件在光刻胶上的面形控制 被引量：10
4
作者 曾红军 杜春雷 +5 位作者 王永茹 白临波 邓启凌 陈波 郭履容 袁景和 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期691-696,共6页
介绍了连续微光学元件在光刻胶上的面形控制方法。分析了光刻胶及显影液在制作二元和连续元件中所存在的差别 ;导出具有倒易关系的浮雕深度表达式和适用的范围 ,并以此指导面形的控制 ,对光刻胶进行适当的改造以适应连续微光学元件的制... 介绍了连续微光学元件在光刻胶上的面形控制方法。分析了光刻胶及显影液在制作二元和连续元件中所存在的差别 ;导出具有倒易关系的浮雕深度表达式和适用的范围 ,并以此指导面形的控制 ,对光刻胶进行适当的改造以适应连续微光学元件的制作。本文还给出了实验验证 ,制作出了多种质量优良的连续微光学元件 ,并对典型元件的面形进行了评价。 展开更多
关键词 连续微光学元件 光刻胶线性 面形控制 集成电路
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激光直接光刻制作微透镜列阵的方法研究 被引量：8
5
作者 杜春雷 林大键 +3 位作者 冯伯儒 孙国良 徐平 郭履容 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第8期1194-1196,共3页
介绍了利用激光直接光刻技术制作８相位台阶菲涅尔衍射微透镜列阵的工艺方法，并对元件的衍射效率及光刻过程中的制作误差进行了分析，透镜列阵在小形Ｓｈａｃｋ－Ｈａｒｔｍａｎｎ波前传感器中得到了应用。
关键词 激光 直接 光刻 微透镜列阵 衍射光学元件
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用于惯性约束聚变束匀滑的完全连续相位板设计方法 被引量：13
6
作者 陈波 王菡子 +2 位作者 韦辉 郭永康 郭履容 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期480-484,共5页
针对惯性约束聚变束匀滑对连续相位板的需要 ,用改进的盖师贝格撒克斯通 (G S)算法 ,进行了完全连续相位板 (FCPP)设计方法的研究。在盖师贝格撒克斯通算法流程中 ,引入局部替代函数 ,设计出完全连续的深浮雕相位结构 ,消除了 2π线。
关键词 盖师贝格-撒克斯通(G-S)算法 相位奇点 完全连续相位板 惯性约束聚变 束匀滑 PCPP G-S算法 设计
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菲涅耳型衍射光学元件的研究 被引量：10
7
作者 杜春雷 郭履容 郭永康 《光子学报》 EI CAS CSCD 1997年第9期824-831,共8页
本文在衍射理论基础上，深入分析了菲涅耳型衍射光学元件的特性，针对连续及二元浮雕结构，建立了位相深度因子（M），波长匹配系数（α）与衍射效率的关系式，对影响衍射效率的因素进行了讨论．研究了设计与工艺的匹配问题，建立了数... 本文在衍射理论基础上，深入分析了菲涅耳型衍射光学元件的特性，针对连续及二元浮雕结构，建立了位相深度因子（M），波长匹配系数（α）与衍射效率的关系式，对影响衍射效率的因素进行了讨论．研究了设计与工艺的匹配问题，建立了数值孔径，最小特征尺寸与衍射效率的关系，为不同波段衍射光学元件的应用，及设计和评价衍射光学元件提供了有效的理论方法．本文最后举例分析了用于白光波前传感器中的小数值孔径微透镜列阵的性能，并对衍射效率及传递函数两个综合指标进行了测量． 展开更多
关键词 菲涅耳型 衍射光学元件 衍射效率
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深蚀刻二元光学元件 被引量：10
8
作者 徐平 唐继跃 +5 位作者 郭履容 郭永康 杨家发 姜念云 李展 杜春雷 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第12期1796-1801,共6页
提出一种新颖的、蚀刻位相深度超过２π的深蚀刻二元光学技术，并从理论上分析深蚀刻二元光学元件与衍射效率的关系，然后用计算机进行模拟与分析。
关键词 深刻蚀 衍射光学 二元光学元件
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并行共焦三维检测方法的理论分析 被引量：7
9
作者 田维坚 陈波 +1 位作者 郭履容 庞霖 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第10期1381-1385,共5页
从一般共焦系统的原理出发， 重点围绕并行共焦方法的三维检测原理， 通过引用三维点扩散函数和矩阵形式， 研究了并行共焦检测方法的理论问题， 确立了点阵并行共焦检测方法的检测过程。其结果表明， 并行共焦检测过程总的光场分布， ... 从一般共焦系统的原理出发， 重点围绕并行共焦方法的三维检测原理， 通过引用三维点扩散函数和矩阵形式， 研究了并行共焦检测方法的理论问题， 确立了点阵并行共焦检测方法的检测过程。其结果表明， 并行共焦检测过程总的光场分布， 是各条共焦检测光路的求和， 展开更多
关键词 并行共焦 三维检测 点扩散函数 矩阵形式
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深蚀刻二元光学元件制作误差模拟 被引量：6
10
作者 徐平 唐继跃 +2 位作者 庞霖 郭履容 郭永康 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期536-542,共7页
用计算机研究并给出了深蚀刻二元光学元件制作误差对衍射效率影响的规律；将深刻蚀二元光学元件与一般二元光学元件制作误差规律的不同之处进行了分析说明；
关键词 制作误差 计算机模拟 深刻蚀 二元光学元件
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三维漫射体单波长真彩色彩虹全息术 被引量：4
11
作者 江朝川 范诚 郭履容 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第11期1024-1027,共4页
提出一种新的三维漫反射物体真彩色彩虹全息术,在普通一步法真彩色彩虹全息术的基础上,用单波长激光逆光路再现,可在同一种记录介质上一次曝光记录三维物体的真彩色全息图.因而特别适合于制作光致抗蚀剂模压全息母板.
关键词 彩虹全息术 真彩色 全息照相术
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全色银盐干版记录真彩色反射全息图的新技术研究 被引量：2
12
作者 董会宁 朱建华 邱服民 《四川师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1999年第1期103-107,共5页
以俄罗斯ＰＦＧ０３Ｃ超高分辨率全色银盐干版作为记录，通过控制三原色激光的色平衡比，优化显影、漂白等后处理配方及工艺，制作出了色饱和度好、立体感强、衍射效率高的真彩色反射全息图．给出的三原色反射全息光栅的光谱图表明，... 以俄罗斯ＰＦＧ０３Ｃ超高分辨率全色银盐干版作为记录，通过控制三原色激光的色平衡比，优化显影、漂白等后处理配方及工艺，制作出了色饱和度好、立体感强、衍射效率高的真彩色反射全息图．给出的三原色反射全息光栅的光谱图表明，本文提出的制作及处理工艺可以有效地抑制记录层的乳胶收缩及由此带来的再现波长漂移、全息图像色饱和度降低等关键问题． 展开更多
关键词 彩色全息术 反射全息图 全息显示 全色银盐干版
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两步正像周视彩虹全息术 被引量：7
13
作者 张晓春 江朝川 +2 位作者 郭永康 何龙庆 郭履容 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第11期849-852,共4页
提出一种正-正两步法周视彩虹全息术,利用两次孔径共轭技术,勿需严格的共轭再现及复位对准过程,也不需要任何特殊成大口径的光学元件,便能获得可周视360°观察的平板彩虹全息图。
关键词 彩虹全息术 周视 正像 孔径共轭
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明胶全息图环境稳定性的研究 被引量：5
14
作者 唐继跃 王科太 +2 位作者 徐平 郭履容 田维坚 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第9期1216-1220,共5页
参照Ｎａｉｋ对明胶全息图环境稳定性的考察工作，对双敏感中心红敏明胶材料（ＤＣ－ＭＢＤ－ＣＧ）中所记录的全息图的环境稳定性进行了实验考察，结果表明，用ＤＣ－ＭＢＤＣＧ记录的全息图比普通重铬酸明胶（ＤＣＧ）全息图有高的多... 参照Ｎａｉｋ对明胶全息图环境稳定性的考察工作，对双敏感中心红敏明胶材料（ＤＣ－ＭＢＤ－ＣＧ）中所记录的全息图的环境稳定性进行了实验考察，结果表明，用ＤＣ－ＭＢＤＣＧ记录的全息图比普通重铬酸明胶（ＤＣＧ）全息图有高的多的环境稳定性。本文还对实验结果的机理进行了讨论，并给出了一种明胶全息图抗水涂层制备新工艺。 展开更多
关键词 重铬酸盐明胶 全息图 环境稳定性 DCMBDCG
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基于微结构制作的溶胶凝胶浸渍成膜特性 被引量：2
15
作者 庞霖 严瑛白 +2 位作者 金国藩 韦辉 郭履容 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期151-154,共4页
针对制作溶胶 凝胶 (sol gel)微光学元件的需要 ,对溶胶 凝胶浸渍提拉成膜过程中膜厚、均匀性等成膜特性进行了仔细考察。对于室温干燥情况 ,提拉成膜厚度与提拉速度的经验关系为 :低速时膜厚与提拉速度呈 1 2次幂关系 ;高速时则偏离... 针对制作溶胶 凝胶 (sol gel)微光学元件的需要 ,对溶胶 凝胶浸渍提拉成膜过程中膜厚、均匀性等成膜特性进行了仔细考察。对于室温干燥情况 ,提拉成膜厚度与提拉速度的经验关系为 :低速时膜厚与提拉速度呈 1 2次幂关系 ;高速时则偏离以上关系 ,且随速度的增大 ,膜厚增加缓慢。对成膜过程的分析表明 ,挥发过程对溶胶 展开更多
关键词 微光学元件 溶胶-凝胶 浸渍提拉 微结构 薄膜
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实时灰阶掩膜技术制作微透镜列阵 被引量：5
16
作者 彭钦军 郭永康 +3 位作者 曾阳素 刘世杰 陈波 肖啸 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期893-896,共4页
提出一种制作连续微结构的实时灰阶掩膜技术 ,它将液晶显示 (LCD)系统和投影光刻系统相结合 ,利用液晶显示系统实时显示一系列二值图形来获得连续的灰度记录 ,给出了原理分析。基于部分相干光成像理论 ,进行了微透镜制作的计算机模拟。... 提出一种制作连续微结构的实时灰阶掩膜技术 ,它将液晶显示 (LCD)系统和投影光刻系统相结合 ,利用液晶显示系统实时显示一系列二值图形来获得连续的灰度记录 ,给出了原理分析。基于部分相干光成像理论 ,进行了微透镜制作的计算机模拟。建立了实验装置 ,并采用全色卤化银明胶 (Kodak131)通过酶刻蚀得到半径为 5 9 33μm ,深为 1 6 38μm的 5 6× 4 展开更多
关键词 物理光学 实时灰阶掩膜 液晶显示 微透镜列阵 光刻
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全息记录新材料:重铬酸盐-三醋酸纤维素酯 被引量：3
17
作者 汪国平 陈其瑞 +1 位作者 郭履容 孙慕渊 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第10期924-928,共5页
本文报道一种新的全息记录材料:重铬酸盐-三醋酸纤维素酯组成的感光介质.这种全息材料具有较强的实时效应,较高的衍射效率,良好的抗潮能力和环境稳定性等特点.文中分析了这种材料的感光成象机理,通过实验研究了其全息记录特性,给出了实... 本文报道一种新的全息记录材料:重铬酸盐-三醋酸纤维素酯组成的感光介质.这种全息材料具有较强的实时效应,较高的衍射效率,良好的抗潮能力和环境稳定性等特点.文中分析了这种材料的感光成象机理,通过实验研究了其全息记录特性,给出了实验结果. 展开更多
关键词 全息记录 介质 全息图 重络酸盐
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红敏重铬酸盐明胶增感的新方法 被引量：4
18
作者 唐继跃 王科太 +1 位作者 徐平 郭履容 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期53-57,共5页
对普通红敏明胶感光度低的原因进行了分析。在此基础上提出了多敏感中心的新增感方法。文中对这种方法的增感机理从光化学角度进行了分析，并用红外光谱和对比实验进行了验证。
关键词 红敏重铬酸盐 明胶增感 感光度 亚甲基兰
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含氟红敏光致聚合物全息材料的组成优化 被引量：4
19
作者 徐成刚 朱建华 王跃川 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期26-30,共5页
用低折射率的含氟共聚物为光致聚合物全息材料的成膜物,以增加全息记录材料折射率的空间可调制程度。用溶液聚合法合成了低折射率的水溶性甲基丙烯酸2,2,3,3-四氟丙酯-甲基丙烯酸共聚物(折射率为1.441),以该共聚物为成膜物质,丙烯酰胺... 用低折射率的含氟共聚物为光致聚合物全息材料的成膜物,以增加全息记录材料折射率的空间可调制程度。用溶液聚合法合成了低折射率的水溶性甲基丙烯酸2,2,3,3-四氟丙酯-甲基丙烯酸共聚物(折射率为1.441),以该共聚物为成膜物质,丙烯酰胺为单体、亚甲基蓝为光敏染料、三乙醇胺为引发剂配制了光致聚合物薄膜;经过对光致聚合物组成构成的优化,在空间分辨力为1580lp/mm时,光致聚合物薄膜的灵敏度约为19 mJ/cm2,衍射效率可达93%,两者均优于以聚乙烯醇(PVA)为成膜物质的光致聚合物材料。 展开更多
关键词 全息材料 光致聚合物 含氟共聚物
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基于大景深三维扫描仪的机器人“手-眼”标定 被引量：4
20
作者 李剑峰 汤青 +2 位作者 朱建华 徐敏 陈力 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1238-1244,共7页
针对机器人视觉对便携式三维扫描系统的大景深要求,利用Scheimpflug条件对像平面进行偏转,扩大了扫描系统的景深,并采用了一种将系统整个景深范围分段及进行分段校准的方法,提高了大景深三维扫描系统的测量精度;利用半径已知的球体作为... 针对机器人视觉对便携式三维扫描系统的大景深要求,利用Scheimpflug条件对像平面进行偏转,扩大了扫描系统的景深,并采用了一种将系统整个景深范围分段及进行分段校准的方法,提高了大景深三维扫描系统的测量精度;利用半径已知的球体作为参照工具,提出了一种新的机器人视觉“手-眼”关系标定方法,将姿态关系Rs与位置关系Ts解耦,使用线激光与球体的交线拟合圆恢复球心以及扫描球面拟合球心的方法,分别标定了扫描系统与机器人的旋转和平移关系,从而使机器人能够与扫描仪一起完成扫描任务,扫描精度可以达到0.2 mm。实验结果表明,该方法具有精度高及稳定性好的特点。 展开更多
关键词 机器人视觉 “手-眼”标定 大景深便携式三维扫描系统 分段校准 Scheimpflug条件
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