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低温吸附泵用椰壳活性炭的性能测试 被引量：6
1
作者 谢远来 汪明明 +4 位作者 陶玲 胡纯栋 蒋才超 赵晶晶 陈长琦 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期13-16,共4页
活性炭的比表面积、孔径及分布是影响液氦低温吸附泵抽氢、氦性能的关键因素。为了确定制作液氦低温吸附泵的吸附剂,选取了C1、C2、C3、C4四种椰壳活性炭,用比表面积及孔径分析仪测定了其等温吸附性能,并对实验数据进行了针对性分析,获... 活性炭的比表面积、孔径及分布是影响液氦低温吸附泵抽氢、氦性能的关键因素。为了确定制作液氦低温吸附泵的吸附剂,选取了C1、C2、C3、C4四种椰壳活性炭,用比表面积及孔径分析仪测定了其等温吸附性能,并对实验数据进行了针对性分析,获得了各活性炭的比表面积、微孔比表面积份额、不同孔径所对应的孔容等性能数据。结果表明,四种活性炭中C2最适于做为抽氢、氦的液氦低温吸附泵的吸附剂。 展开更多
关键词 吸附 活性炭 比表面积 孔径分布
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掺硼金刚石膜的制备及其应用 被引量：4
2
作者 褚向前 朱武 左敦稳 《真空》 CAS 北大核心 2011年第2期15-18,共4页
金刚石虽然具有极为优异的性能,如具有很大的能隙,高的电子迁移率、空穴迁移率和高热导率,以及负的电子亲和势,但要将它用于半导体材料时还不能直接使用,必须要先进行金刚石的P型和n型掺杂。因此,研究金刚石的P型和n型掺杂具有很重要的... 金刚石虽然具有极为优异的性能,如具有很大的能隙,高的电子迁移率、空穴迁移率和高热导率,以及负的电子亲和势,但要将它用于半导体材料时还不能直接使用,必须要先进行金刚石的P型和n型掺杂。因此,研究金刚石的P型和n型掺杂具有很重要的现实意义。在金刚石薄膜中掺杂时,一般是掺入硼原子以实现P型掺杂,掺入氮原子或磷原子以实现n型掺杂。然而,由于N和P在金刚石中的施主能级太深,现在n型掺杂金刚石薄膜制备尚不成功,这是金刚石实用化的障碍。本文介绍了金刚石膜掺硼目的、方法和制备,总结了掺硼金刚石膜在微电子、电化学、光电子、工具等领域应用状况以及存在问题。 展开更多
关键词 掺硼金刚石膜 制备 应用
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液氮温度下JX-6型椰壳炭的性能测试 被引量：2
3
作者 陈长琦 汪明明 +4 位作者 张建国 胡纯栋 谢远来 刘智民 NBI组 《真空》 CAS 北大核心 2009年第4期53-56,共4页
活性炭是NBI低温吸附泵吸附面的关键组成部分,其性能是决定NBI低温泵抽气性能的关键因素之一。本文选取JX-6型椰壳活性炭,用全自动比表面积及孔径分析仪(ASAP2020)在液氮温度下对其性能进行了测试,并对实验数据进行了分析。实验结果表明... 活性炭是NBI低温吸附泵吸附面的关键组成部分,其性能是决定NBI低温泵抽气性能的关键因素之一。本文选取JX-6型椰壳活性炭,用全自动比表面积及孔径分析仪(ASAP2020)在液氮温度下对其性能进行了测试,并对实验数据进行了分析。实验结果表明,该活性炭具有良好的孔隙结构和较强的吸附性能,其最大吸附量达到252cm3/gSTP。为进一步研究NBI低温泵的低温吸附抽气提供了理论依据。 展开更多
关键词 吸附 活性炭 液氮温区 比表面积 孔径分布
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真空烧结炉温度模糊控制系统仿真 被引量：1
4
作者 褚向前 朱武 黄胜峰 《真空》 CAS 北大核心 2011年第3期20-22,共3页
针对粉末冶金真空烧结炉时变性、大滞后、非线性的特点,采用PID控制效果不理想,选用了模糊控制算法。建立了PID控制和模糊控制仿真模型,进行了对比,结果表明,采用模糊控制后,系统响应速度很快,达到稳态时间仅为3.2 s,不存在超调量,稳态... 针对粉末冶金真空烧结炉时变性、大滞后、非线性的特点,采用PID控制效果不理想,选用了模糊控制算法。建立了PID控制和模糊控制仿真模型,进行了对比,结果表明,采用模糊控制后,系统响应速度很快,达到稳态时间仅为3.2 s,不存在超调量,稳态误差为1.2℃,稳态精度很高;系统仿真输出与给定输入波形较接近,系统调节时间短,很快进入稳定状态,且振荡很微小。模糊控制优于传统PID控制,能够满足粉末冶金真空烧结炉温度的控制要求。 展开更多
关键词 真空烧结炉 模糊控制 系统仿真
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掺B金刚石膜的电火花抛光实验研究 被引量：1
5
作者 褚向前 左敦稳 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期287-291,共5页
通过化学气沉积过程中掺B,制备的金刚石膜电阻率下降10-19,导致金刚石膜整体导电,可采用电火花抛光。用扫描电镜和Raman分析了金刚石膜电加工表面的形貌和成分。金刚石膜的电火花抛光是多种效应综合作用的结果,即金刚石膜熔化、汽化、... 通过化学气沉积过程中掺B,制备的金刚石膜电阻率下降10-19,导致金刚石膜整体导电,可采用电火花抛光。用扫描电镜和Raman分析了金刚石膜电加工表面的形貌和成分。金刚石膜的电火花抛光是多种效应综合作用的结果,即金刚石膜熔化、汽化、碳的氧化和蒸发、爆炸抛出、界面的化学反应以及金刚石的石墨化。通过实验研究了电加工参数对表面粗糙度和加工速度的影响,通过回归分析得到电火花抛光表面粗糙度和加工速度的经验公式,其相关系数的平方分别为0.91和0.99,表明拟合精度高。试验结果表明,放电电流和脉冲宽度对加工面的表面粗糙度和加工速度影响很大。放电电流为5 A、脉冲宽度为380μs时,抛光后表面粗糙度Ra<1μm。 展开更多
关键词 金刚石膜 掺硼 电火花抛光 回归分析
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