氮分压对多弧离子镀TiN涂层相结构及性能影响的研究 被引量：7

1

作者 李晓青 《真空》 CAS 北大核心 1990年第3期1-5,共5页

本文利用多弧离子镀设备沉积了 ＴｉＮ薄膜，对不同工艺条件下沉积ＴｉＮ的薄膜用 Ｘ射线衍射方法进行了研究，给出了薄膜相结构随氮分压变化的实验结果，测定了薄膜 的显微硬度．用ＳＥＭ方法观察了 ＴｉＮ涂层的组织形貌。指出：氮分... 本文利用多弧离子镀设备沉积了 ＴｉＮ薄膜，对不同工艺条件下沉积ＴｉＮ的薄膜用 Ｘ射线衍射方法进行了研究，给出了薄膜相结构随氮分压变化的实验结果，测定了薄膜 的显微硬度．用ＳＥＭ方法观察了 ＴｉＮ涂层的组织形貌。指出：氮分压为多弧离子镀 的一个重要工艺参数，我们适当地控制氮分压，可以制作出性能良好的ＴｉＮ薄膜。 展开更多

关键词 氮分压 多弧离子镀 涂层 相结构

下载PDF 职称材料

空心阴极离子淀积TiN薄膜特性研究 被引量：2

2

作者 高玉芝 夏宗璜 +3 位作者 武国英 张利春 黄济群 张德贤 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第7期503-508,共6页

本文用空心阴极离子淀积系统,在氮和氩的混合气体中淀积了TiN薄膜.X射线衍射方法、俄歇电子谱(AES)和电学测量等方法用来研究分析了TiN薄膜的结构、组分和薄膜电阻率.该TiN薄膜有很低的电阻率,其电阻率约为25μΩcm.Al/TiN/Si金属化系统... 本文用空心阴极离子淀积系统,在氮和氩的混合气体中淀积了TiN薄膜.X射线衍射方法、俄歇电子谱(AES)和电学测量等方法用来研究分析了TiN薄膜的结构、组分和薄膜电阻率.该TiN薄膜有很低的电阻率,其电阻率约为25μΩcm.Al/TiN/Si金属化系统经550℃、30分钟热退火后,卢瑟富背散射(RBS)分析结果表明,没有发现互扩散现象,说明TiN在硅集成电路中是一种良好的扩散势垒材料. 展开更多

关键词 氮化钛 空心 阴极 离子淀积

下载PDF 职称材料

卡尺缓进给成型磨削工艺的研究

3

作者 李静爱 钱志军 +1 位作者 郭书林 徐质晨 《机床》 CSCD 1989年第7期29-31,共3页

关键词 卡尺 成型磨削 缓进给磨削

下载PDF 职称材料

应用渐开线样板杠杆扩大千分表量程

4

作者 赵寿成 《计量技术》 1989年第12期43-45,共3页

本文研究出应用渐开线样板杠杆以扩大千分表的量程,能使杠杆齿轮结构的千分表的示值范围达到0～5mm,并保证具有足够的准确度。

关键词 渐开线 样板 杠杆 千分表 量程

下载PDF 职称材料

开发成套涂层技术 实现涂层刀具出口创汇

5

作者 张德贤 李晓青 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 1991年第3期36-39,共4页

我厂的高速钢刀具涂层技术开发始于1983年，走的是一条自力更生，使科研成果迅速转化为生产力的道路。并实现了依靠国产化涂层技术，生产出口涂层刀具创汇的目标。如今已具备了包括涂层前处理工艺、设备、工业型涂层工艺、质量检测和涂... 我厂的高速钢刀具涂层技术开发始于1983年，走的是一条自力更生，使科研成果迅速转化为生产力的道路。并实现了依靠国产化涂层技术，生产出口涂层刀具创汇的目标。如今已具备了包括涂层前处理工艺、设备、工业型涂层工艺、质量检测和涂层刀具寿命试验，以及涂后返修退膜工艺的成套技术，建立起我厂的涂层中心．拥有国产工业型DLKD-800型空心阴极和DHD-600F型多弧离子镀膜机共三台．形成了年产3D万件涂层立铣刀，15万件直柄麻花钻头的能力．1987年6月第一台设备通过技术鉴定，并当年投产，涂层立铣刀近三万件，全部出口。 展开更多

关键词 涂层刀具 立铣刀 涂层技术 高速钢刀具 麻花钻 多弧离子镀 涂层工艺 出口创汇 工业 产出

下载PDF 职称材料

可调式双夹线米字线组合目镜

6

作者 颜承功 《机械工人（冷加工）》 1991年第6期19-22,共4页

工具显微镜类仪器一般是通过中央显微镜瞄准工件影像进行测量的。中央显微镜的瞄准系统必须设置分划板,才能实现对被测工件的瞄准测量。常见的分划板有:米字线,十字线,双夹线或其它形式的分划板等等。日常的测试工作中,首先根据不同的... 工具显微镜类仪器一般是通过中央显微镜瞄准工件影像进行测量的。中央显微镜的瞄准系统必须设置分划板,才能实现对被测工件的瞄准测量。常见的分划板有:米字线,十字线,双夹线或其它形式的分划板等等。日常的测试工作中,首先根据不同的测量项目选择合理的分划板,即更换相应的瞄准目镜头,然后再对被测工件影像进行瞄准测量。 展开更多

关键词 米字线 组合自镜 测量显微镜

下载PDF 职称材料

电子数显量具用电池的选择使用和安装

7

作者 刘珂 《工具技术》 北大核心 1989年第2期38-41,32,共5页

本文根据大量资料,并通过生产实践,总结了使用数显卡尺时,电池对数显卡尺能否正常工作起着重要作用的经验,并论述了电池、功耗、使用寿命三者之间的关系。对于从事研究、设计、制造数显量具的部门,及使用单位和计量修理人员都有参考价值。

关键词 量具 电子数显量具 电池 数显卡尺

下载PDF 职称材料

如何改善卡尺的相互作用

8

作者 李文轶 《工具技术》 北大核心 1989年第5期39-40,共2页

卡尺是广泛使用的量具之一。从卡尺的结构来说,它是违背阿贝原理的,因此,改善其相互作用,与克服测量中的点头现象存在着矛盾。一。

关键词 卡尺 设计 量具

下载PDF 职称材料

CIMT’99量具展品评述

9

作者 陈崇金 《工具技术》 北大核心 2000年第3期6-8,共3页

关键词 量具 展览会 机床

下载PDF 职称材料

微机在锥齿轮单啮仪测量中的应用

10

作者 张秀慧 苗林 霍光世 《宇航计测技术》 CSCD 北大核心 1990年第4期26-29,共4页

本文详细地叙述了在锥齿轮单面啮合测量仪中采用的“逐点比较法测量原理”及微型计算机在测量中如何实现对误差数据的动态实时采集和存储。

关键词 齿轮 测量 微机应用 单啮仪 锥体

下载PDF 职称材料

印刷技术在量刃具制造上的应用

11

作者 陆永玲 《工具技术》 北大核心 1992年第6期29-30,共2页

众所周知,量刃具作为一种商品出售,需要打印标志。以往,大都采用滚字的办法,但经蒸气处理后,标记与基底全是黑色,难以辨认;而且随着热处理技术的发展,一些高速钢产品(如钻头)已采用先进的真空处理技术,经真空处理后的工具柄部和刃部硬... 众所周知,量刃具作为一种商品出售,需要打印标志。以往,大都采用滚字的办法,但经蒸气处理后,标记与基底全是黑色,难以辨认;而且随着热处理技术的发展,一些高速钢产品(如钻头)已采用先进的真空处理技术,经真空处理后的工具柄部和刃部硬度一样,不能再采用常规的滚字的办法来打印标志。鉴于印刷工艺具有明显的优越性,通过试验,我们已成功地将印刷技术应用于钻头生产上, 展开更多

关键词 印刷技术 量具 刃具 应用

下载PDF 职称材料

空心阴极与多弧离子镀TiN涂层高速钢摩擦磨损特性的比较研究

12

作者 李晓青 刘桂荣 张平余 《表面工程》 CSCD 1995年第3期23-27,共5页

本文用空心阴极和多弧离子镀方法在高速钢基体材料上制备了TiN涂层，研究评价了其摩擦磨损性能，并与刀具切削性能进行对比。结果表明：TiN涂层的摩擦磨损性能优于基体材料。从摩擦磨损机制上探讨了经TiN涂层的高速钢刀具比非涂层的刀... 本文用空心阴极和多弧离子镀方法在高速钢基体材料上制备了TiN涂层，研究评价了其摩擦磨损性能，并与刀具切削性能进行对比。结果表明：TiN涂层的摩擦磨损性能优于基体材料。从摩擦磨损机制上探讨了经TiN涂层的高速钢刀具比非涂层的刀具使用寿命明显延长，加工质量明显提高的原因。 展开更多

关键词 高速钢 TIN涂层 摩擦 磨损 多弧离子镀 空心阴极 刀具

下载PDF 职称材料