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keV和低于keV的电子在固体中散射理论、计算方法及有关应用
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作者 何延才 陈家光 《计算物理》 CSCD 北大核心 1989年第1期19-26,共8页
本文讨论了keV和低于keV的电子在固体中散射的一般理论及MonteCarlo模拟计算方法,介绍了在电子显微学、电子束曝光等重要研究领域的一些应用实例。
关键词 电子散射 固体
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