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分布式保偏光纤偏振耦合应力传感系统的实现 被引量：16
1
作者 陈信伟 张红霞 +2 位作者 贾大功 刘铁根 张以谟 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1467-1472,共6页
基于保偏光纤(PMF)偏振耦合原理设计了分布式保偏光纤应力传感系统。对一长为1050 m的保偏光纤进行了实验,确定了系统的测量灵敏度和空间分辨率。测试了耦合强度与应力大小的关系及温度对系统的影响。实验结果表明,该传感系统能检测大于... 基于保偏光纤(PMF)偏振耦合原理设计了分布式保偏光纤应力传感系统。对一长为1050 m的保偏光纤进行了实验,确定了系统的测量灵敏度和空间分辨率。测试了耦合强度与应力大小的关系及温度对系统的影响。实验结果表明,该传感系统能检测大于1000 m的保偏光纤,测量灵敏度和空间分辨率随光纤长度的增加而逐渐衰减,温度低于100℃时,其波动对测量影响很小。从理论上分析了保偏光纤双折射色散对系统的影响。通过旋转半波片调节检偏器检偏角提高了系统测量灵敏度,通过优化检偏角,系统测量灵敏度为85 dB,最大空间分辨率为98 mm。 展开更多
关键词 光纤光学 分布式光纤传感器 保偏光纤 偏振模耦合 白光干涉
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基于白光干涉彩色图像的微结构表面形貌测量 被引量：15
2
作者 郭彤 李峰 +3 位作者 倪连峰 陈津平 傅星 胡小唐 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期120-126,共7页
微结构的表面形貌会显著地影响微纳器件的使用性能及产品质量,是微纳测试领域的一个重要研究方面,利用白光干涉技术是测量物体表面形貌的一种常见方法。区别于常用的CCD黑白相机,使用CCD彩色相机采集白光干涉条纹的彩色图像,使获取的图... 微结构的表面形貌会显著地影响微纳器件的使用性能及产品质量,是微纳测试领域的一个重要研究方面,利用白光干涉技术是测量物体表面形貌的一种常见方法。区别于常用的CCD黑白相机,使用CCD彩色相机采集白光干涉条纹的彩色图像,使获取的图像包含了R、G、B三个通道的信息。利用小波变换法分别求解出在不同扫描位置处R、G、B通道的相位信息,通过建立的评价函数,并结合最小二乘法可精确确定零光程差的位置,利用相对高度和零光程差位置的线性关系,进而得到物体的表面形貌。通过仿真以及实际测量由VLSI标准公司制造的标准台阶结构,验证了所提出方法的有效性。 展开更多
关键词 测量 白光干涉 表面形貌 彩色图像 小波变换 微结构
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光纤干涉仪臂差的测量 被引量：10
3
作者 李毛和 张美敦 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第8期740-743,共4页
用白光干涉和Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ干涉仪技术测量光纤Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ干涉仪和Ｍａｃｈ－Ｚｅｈｎｄｅｒ干涉仪的臂差．这种方法能在线测量任意长度的光纤干涉仪臂差，包括零臂差，测量的精度由光源的相干长度确定。
关键词 光纤干涉仪 白光干涉 M-Z干涉仪 干涉仪臂差
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光纤白光干涉仪的研究 被引量：7
4
作者 周柯江 王涛 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1997年第4期242-244,共3页
研制成功一台使用宽谱光源的“白光”干涉仪样机，用于检测保偏光纤、LiNbO3波导的空间分布偏振耦合，并将该方法用于光纤去偏器的质量检测。
关键词 白光干涉 光纤去偏器 干涉仪
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偏振耦合测试仪中白光干涉包络的提取 被引量：11
5
作者 张红霞 张以谟 +3 位作者 井文才 刘琨 贾大功 李朝辉 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期450-453,共4页
采用Hilbert变换和非线性最小二乘回归分析相结合的方法提取白光干涉包络。Hilbert变换恢复了包络的大体形状,而非线性最小二乘回归则有效地确定了干涉光强主极大位置及幅度,从而得到耦合点位置、耦合强度、干涉条纹对比度及系统消光比... 采用Hilbert变换和非线性最小二乘回归分析相结合的方法提取白光干涉包络。Hilbert变换恢复了包络的大体形状,而非线性最小二乘回归则有效地确定了干涉光强主极大位置及幅度,从而得到耦合点位置、耦合强度、干涉条纹对比度及系统消光比等参数。对保偏光纤(PMF)的拍长测试结果表明,这种包络提取算法明显提高了测量的重复性,测量的重复性在μm量级。 展开更多
关键词 保偏光纤(PMF) 白光干涉 包络提取 HILBERT变换 非线性最小二乘回归
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光纤环偏振耦合分布及绕环光纤拍长测试技术 被引量：11
6
作者 王学勤 张彤 +1 位作者 梁兰菊 郑艳彬 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第23期107-113,共7页
为了测试保偏光纤环的偏振耦合分布及绕环光纤拍长,采用白光干涉仪对光纤环进行测试。一方面,通过测试获得了光纤环的偏振耦合分布,有利于研究影响光纤环保偏能力的主要外部因素。另一方面,通过识别光纤环两端尾纤与白光干涉仪两个熔点... 为了测试保偏光纤环的偏振耦合分布及绕环光纤拍长,采用白光干涉仪对光纤环进行测试。一方面,通过测试获得了光纤环的偏振耦合分布,有利于研究影响光纤环保偏能力的主要外部因素。另一方面,通过识别光纤环两端尾纤与白光干涉仪两个熔点产生的偏振耦合干涉峰,获得了沿绕环光纤两正交偏振主轴传输的光信号的光程差,进而计算出了绕环光纤的拍长。实验表明,0.13°以上的角度对轴误差均可被有效识别。证明了采用白光干涉仪通过一次测量同时测得光纤环偏振耦合分布和绕环光纤拍长的可行性。该研究为保偏光纤环偏振特性的全面表征提供了一种简单有效的方法。 展开更多
关键词 光纤光学 保偏光纤环 白光干涉仪 偏振耦合分布 拍长
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基于白光干涉的空间频域算法研究 被引量：10
7
作者 谢元安 韩志刚 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期81-85,共5页
为了精确定位白光干涉条纹的零光程差位置,采用空间频域算法通过傅里叶变换提取白光干涉信号中心波长的相位信息并结合包络中心算法去除相位模糊从而实现零光程定位。实例测量了具有相位突变的计算全息元件的表面轮廓,其平均刻蚀深度为1... 为了精确定位白光干涉条纹的零光程差位置,采用空间频域算法通过傅里叶变换提取白光干涉信号中心波长的相位信息并结合包络中心算法去除相位模糊从而实现零光程定位。实例测量了具有相位突变的计算全息元件的表面轮廓,其平均刻蚀深度为1.63μm。测量表面形貌连续分布的微透镜阵列,0.32mm×0.32mm视场内表面PV为370.99nm,RMS为62.4nm。空间频域算法能够有效定位白光干涉零光程差位置,适合于测量微观表面轮廓分布。 展开更多
关键词 光学测量 白光干涉 干涉显微镜 空间频域算法
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白光干涉解调光纤MEMS压力传感器 被引量：8
8
作者 江小峰 林春 +3 位作者 谢海鹤 颜黄苹 张建城 黄元庆 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期187-191,共5页
为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量,进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本,提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器,实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术,采用光刻、阳极键合... 为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量,进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本,提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器,实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术,采用光刻、阳极键合以及化学腐蚀的方法制作了以硅和玻璃构成的法布里-珀罗腔体,使用二氧化碳激光器对法布里-珀罗腔体与光纤进行焊接.基于白光干涉解调技术,利用斐索干涉仪与法布里-珀罗腔体的互相关关系对传感器进行了解调,并做了压力实验.实验结果表明：传感器在120～300kPa范围内具有较高的腔长变化灵敏度和线性度,分别为9.012 7nm/kPa和99.9%;传感器分辨率为0.1nm,重复性为0.1%.研究成果对低成本、高一致性光纤F-P传感器的批量制作具有一定的参考价值. 展开更多
关键词 F-P干涉 白光干涉 斐索干涉仪 MEMS 激光焊接
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用于表面形貌测量的扫描白光干涉技术进展 被引量：4
9
作者 苏榕 刘嘉宇 +6 位作者 乔潇悦 简振雄 张政 温荣贤 陈成 任明俊 朱利民 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第3期60-80,共21页
扫描白光干涉术是目前最精确的表面形貌测量技术之一,被广泛应用于工业与科研领域。从发明至今的三十余年间,在精密光学、半导体、汽车及航天等先进制造领域的需求牵引下,该技术不断取得新的进展与突破。本文从技术应用、方法和算法创... 扫描白光干涉术是目前最精确的表面形貌测量技术之一,被广泛应用于工业与科研领域。从发明至今的三十余年间,在精密光学、半导体、汽车及航天等先进制造领域的需求牵引下,该技术不断取得新的进展与突破。本文从技术应用、方法和算法创新、系统设计、理论模型、校准与误差补偿等方面,总结了过去二十年扫描白光干涉技术的重要进展,对该领域进一步发展提出了展望。 展开更多
关键词 测量 白光干涉术 表面形貌 计量学 光学成像 干涉显微术 先进制造
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基于白光干涉的ICF靶丸表面缺陷测量方法 被引量：5
10
作者 尹智瑶 郭仁慧 +2 位作者 杨鑫 刘成兴 李建欣 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第10期71-79,共9页
针对激光惯性约束聚变实验中的靶丸等微球表面缺陷的真实高度测量问题,为解决现有测量方法存在的缺陷跃变处2π整数倍相位缺失问题,提出一种基于垂直扫描白光干涉技术的零位显微干涉测量方法。该方法采用白光球面零位干涉思想,通过垂直... 针对激光惯性约束聚变实验中的靶丸等微球表面缺陷的真实高度测量问题,为解决现有测量方法存在的缺陷跃变处2π整数倍相位缺失问题,提出一种基于垂直扫描白光干涉技术的零位显微干涉测量方法。该方法采用白光球面零位干涉思想,通过垂直扫描球面干涉获取全视场白光干涉图,然后运用七步移相算法及蝙蝠翼校正算法实现靶丸表面缺陷的形貌计算,最后将白光干涉测量法与激光干涉测量法进行对比实验。结果表明,白光干涉法能够有效解决激光干涉法在缺陷跃变处的2π整数倍相位缺失问题,实现靶丸表面缺陷的真实高度测量,从而扩展靶丸类微球表面缺陷的测量范围。 展开更多
关键词 测量 白光干涉 球面零位干涉 表面缺陷 蝙蝠翼校正算法
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大视场白光干涉测量系统及性能研究
11
作者 刘涛 王智彬 +9 位作者 胡佳琪 何耀楠 景炜昌 陈恩静 周文龙 于国明 杨宁 赵迪 张国锋 杨树明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期129-141,共13页
基于国产化的2倍迈克尔逊型干涉物镜组,优选配置0.5倍适配镜,对白光LED照明光源进行带通滤波参数的仿真估算和实验性能比较,构建了整套大视场白光干涉精密测量装置系统并进行了实验测试,通过白光干涉轴向响应实验曲线确定了中心波长。... 基于国产化的2倍迈克尔逊型干涉物镜组,优选配置0.5倍适配镜,对白光LED照明光源进行带通滤波参数的仿真估算和实验性能比较,构建了整套大视场白光干涉精密测量装置系统并进行了实验测试,通过白光干涉轴向响应实验曲线确定了中心波长。实验结果表明:通过光谱滤波获得了较为理想的白光干涉轴向响应曲线;系统的水平最大视场达到了14 mm;高度为2.04μm和20.43μm的标准台阶样品的测量结果分别为2.05μm和20.47μm,10次测量重复精度(标准差)分别为12 nm和16 nm。对粗糙度样板、微机电系统传感结构和半导体晶圆膜层进行了实测,表明所研制的系统装置在三维光学无损精密检测领域的应用具有可行性。 展开更多
关键词 白光干涉 三维测量 大视场 滤波 半导体检测
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基于LabVIEW的白光干涉测量系统算法开发及软件设计
12
作者 朱靖 丁斌 +3 位作者 毛敏 张翔 陈旭雯 祖洪飞 《机床与液压》 北大核心 2024年第5期156-160,共5页
为全面实现白光干涉测量系统的搭建及应用,在硬件结构的基础上对软件系统进行了设计和开发。以LabVIEW图形化编程语言为开发工具,分别通过.NET控件、ActiveX控件与运动控制器和数据采集仪建立通信,实现对5个运动轴的协调控制及数据的实... 为全面实现白光干涉测量系统的搭建及应用,在硬件结构的基础上对软件系统进行了设计和开发。以LabVIEW图形化编程语言为开发工具,分别通过.NET控件、ActiveX控件与运动控制器和数据采集仪建立通信,实现对5个运动轴的协调控制及数据的实时采集及分析处理。最后通过对标准环规的测试,验证了此软件不仅能精确高效地完成白光干涉测量系统的测试任务,其所输出的点云数据还可以进一步处理获得直径、圆柱度等形位公差信息。 展开更多
关键词 白光干涉测量 LABVIEW 软件设计
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发挥蝙蝠翼高频脉冲特性的微结构线宽超分辨测量方法
13
作者 徐志毅 范筱昕 +5 位作者 张佳乐 周圣航 郭珍艳 朱丹 高志山 袁群 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第13期137-144,共8页
白光显微干涉是阶跃型微结构三维形貌无损测量的经典方法,但其低通滤波特性使阶跃边缘本应突变的三维形貌被平滑,导致边缘定位困难,影响线宽参数的计算提取。当微结构深度在光源相干长度内时,蝙蝠翼效应使阶跃边缘处的复原形貌产生尖锐... 白光显微干涉是阶跃型微结构三维形貌无损测量的经典方法,但其低通滤波特性使阶跃边缘本应突变的三维形貌被平滑,导致边缘定位困难,影响线宽参数的计算提取。当微结构深度在光源相干长度内时,蝙蝠翼效应使阶跃边缘处的复原形貌产生尖锐脉冲。蝙蝠翼脉冲是三维形貌中的伪信号,但其高频特性更利于阶跃边缘的识别。微结构线宽为两阶跃边缘各自对应蝙蝠翼脉冲高度峰值位置的间距。然而,三维形貌空间采样频率受成像艾里斑和探测器像素大小限制,在线宽测量方向上通常仅有数个像素点受蝙蝠翼效应影响,通过蝙蝠翼脉冲高度峰值定位,线宽测量精度仅有像素级别。本文建立了针对蝙蝠翼效应及其离散采样特性的白光干涉信号数值仿真模型,发掘了线宽正交方向上样品阶跃边缘形貌的空域缓变特性,等效提高了蝙蝠翼脉冲在该方向的采样频率。据此提出了一种基于蝙蝠翼高度峰值位置高精度定位的微结构线宽超分辨白光干涉测量方法,并依据实测条件分析了样品位姿对测量精度的影响。以RSN标定板为样品,采用成像艾里斑半径约为0.590μm的测量系统,利用本文方法实测标定线宽2~6μm的光栅区域线宽结果与标定值偏差小于0.021μm,实验结果证明,该方法可以实现远高于系统横向分辨率的线宽超分辨测量。 展开更多
关键词 线宽测量 超分辨 白光干涉 蝙蝠翼效应 信号采样
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基于非均匀快速傅里叶变换的抗振动白光干涉测量方法
14
作者 薛亮 郭仁慧 +3 位作者 刘杨 钱宇 蒋金威 李建欣 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期196-206,共11页
由于白光干涉测量技术易受环境振动而产生干扰,提出了一种基于非均匀快速傅里叶变换(NUFFT)的抗振动白光干涉测量方法。该方法将白光干涉测量光路分为两个成像通道,首先通过准单色光干涉图求解移相间隔,通过移相间隔以及NUFFT算法对白... 由于白光干涉测量技术易受环境振动而产生干扰,提出了一种基于非均匀快速傅里叶变换(NUFFT)的抗振动白光干涉测量方法。该方法将白光干涉测量光路分为两个成像通道,首先通过准单色光干涉图求解移相间隔,通过移相间隔以及NUFFT算法对白光干涉图进行校正,最后利用校正的白光干涉图和七步移相算法复原出待测物体的三维形貌,实验结果表明,所提方法具有良好的抗振动性能。 展开更多
关键词 测量 形貌测量 白光干涉 抗振动 非均匀快速傅里叶变换
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一种接触式大量程表面形貌测量仪 被引量：5
15
作者 郧建平 杨旭东 +1 位作者 谢铁邦 张玲玲 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期909-913,共5页
为了解工件加工表面的性能和监控表面形貌的形成工艺过程,需要对表面形貌进行精密的测量。用带有白光光源的Linnik干涉显微镜、一个杠杆机构、共基面x-y工作台和垂直扫描工作台共同组成一种接触式大量程表面形貌测量系统,该系统具有测... 为了解工件加工表面的性能和监控表面形貌的形成工艺过程,需要对表面形貌进行精密的测量。用带有白光光源的Linnik干涉显微镜、一个杠杆机构、共基面x-y工作台和垂直扫描工作台共同组成一种接触式大量程表面形貌测量系统,该系统具有测量精度高、测量接触力小的特点,可对常用工件表面进行接触式大量程的测量。测量系统的垂直测量范围为5mm,分辨率小于1nm;x向和y向的水平测量范围为±25mm,分辨率为1.25μm。 展开更多
关键词 表面形貌 触针法 干涉显微镜 白光干涉技术
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基于损伤程度量化评估的光学薄膜元件激光损伤阈值测量方法
16
作者 辛磊 杨忠明 +1 位作者 孟君 刘兆军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第3期193-202,共10页
光学薄膜元件是高功率激光器中的关键器件,其抗激光损伤的能力对整个激光系统的运行至关重要。精确测量薄膜元件激光诱导损伤阈值对提升激光器使用寿命与出光效率有着重要意义。提出一种新型激光损伤程度量化评估法,该方法对薄膜元件在... 光学薄膜元件是高功率激光器中的关键器件,其抗激光损伤的能力对整个激光系统的运行至关重要。精确测量薄膜元件激光诱导损伤阈值对提升激光器使用寿命与出光效率有着重要意义。提出一种新型激光损伤程度量化评估法,该方法对薄膜元件在不同能量密度下的激光损伤程度量化分析,通过损伤趋势拟合,评估激光损伤阈值。对激光损伤区域的量化采用图像超分辨白光显微干涉测量法,可实现纳米量级测量精度。通过仿真验证该测量方法可实现纳米量级损伤结构的三维重构,重构损伤区域误差小于0.01%。在实验部分,以激光谐振腔镜及窗口片为测试样品,无需大量重复性激光损伤实验,基于单片样品在一组不同能量密度激光束照射下产生的单次损伤结果实现测量,结果数据与S-on-1方法吻合,偏差小于0.5 J/cm^(2),两个样品多次测量结果的标准差分别为0.361 J/cm^(2)和0.064 J/cm^(2)。 展开更多
关键词 光学薄膜元件 激光诱导损伤 损伤阈值测量 白光干涉技术 三维形貌测量
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快速稳定的白光干涉测量法 被引量：6
17
作者 董一帆 万新军 +1 位作者 孟涵 解树平 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2017年第5期214-220,共7页
为了减少白光干涉法的采样数据和计算成本,提高测量速度,提出了一种快速稳定的白光干涉测量方法。根据白光干涉显微镜模型,对光学干涉法的数学模型进行了推导分析,确定了干涉光强函数与包络函数之间的关系。在此基础上,提出利用加大采... 为了减少白光干涉法的采样数据和计算成本,提高测量速度,提出了一种快速稳定的白光干涉测量方法。根据白光干涉显微镜模型,对光学干涉法的数学模型进行了推导分析,确定了干涉光强函数与包络函数之间的关系。在此基础上,提出利用加大采样间隔的离散采样点的希尔伯特变换函数提取干涉信号包络算法,并基于采样原理分析确定了符合算法的采样间隔条件。通过仿真实验对该算法的有效性进行了验证。实际样品的白光干涉光强信号存在直流(DC)偏置噪声,影响快速白光干涉测量法的稳定性,因此采用中值滤波法消除背景噪声,分析滤波后干涉光强包络的质量。通过白光干涉显微镜装置进行了实际样品白光干涉图像采集,并对不同倍率采样间隔重构的三维表面形貌图进行比较。结果表明,该快速算法重构三维形貌的速度相比传统方法提高了20倍,同时增强了稳定性。 展开更多
关键词 测量 白光干涉法 三维表面形貌 希尔伯特变换 采样间隔 噪声滤波
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基于空间频域算法的三维微观形貌的测量 被引量：5
18
作者 徐永祥 张乾方 +1 位作者 刘松松 刘义 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期16-21,共6页
白光干涉术测量表面形貌,解决了单色光干涉测量中的相位不确定困扰。基于扫描白光干涉术的空间频域算法,具有受噪声影响小、计算精度高的优点。运用这一算法通过Mirau扫描干涉显微镜对台阶状样品表面进行了两次白光扫描测试,得出了台阶... 白光干涉术测量表面形貌,解决了单色光干涉测量中的相位不确定困扰。基于扫描白光干涉术的空间频域算法,具有受噪声影响小、计算精度高的优点。运用这一算法通过Mirau扫描干涉显微镜对台阶状样品表面进行了两次白光扫描测试,得出了台阶表面形貌结果,且两次测量的台阶高度相差不超过1 nm。同时,利用Zygo Newview 7200白光形貌仪对同一样品表面进行了测试对比,结果表明:两者得到的样品表面形貌一致,台阶高度相差0.9 nm。此外,实验数据处理的结果还表明:运用空间频域算法进行分析时二阶以上的色散完全可以忽略。 展开更多
关键词 白光干涉 空间频域算法 三维形貌 干涉显微镜
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从白光干涉曲线获取光学薄膜反射相位和物理厚度的新算法 被引量：5
19
作者 罗震岳 薛晖 +3 位作者 张淑娜 沈伟东 顾培夫 章岳光 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1835-1840,共6页
设计了一套迈克耳孙白光干涉仪系统用于测量光学薄膜的反射相位,并由此反推单层薄膜的物理厚度。为补偿传统算法获取相位所存在的误差,提出一种新算法,以线性拟合结果作为初始猜想,采用多变量优化拟合总光程差曲线得到光学薄膜的相位。... 设计了一套迈克耳孙白光干涉仪系统用于测量光学薄膜的反射相位,并由此反推单层薄膜的物理厚度。为补偿传统算法获取相位所存在的误差,提出一种新算法,以线性拟合结果作为初始猜想,采用多变量优化拟合总光程差曲线得到光学薄膜的相位。通过数值模拟的方式论证了理论上的可行性和高计算精度。采用多变量优化的手段进行处理实际测试的一组单层TiO2薄膜,所得物理厚度值与传统的光度法测试反演结果非常吻合。该测试系统和处理算法为快速精确测量光学薄膜厚度提供了一种新的解决方案。 展开更多
关键词 光学薄膜 白光干涉术 反射相位 频域分析 优化理论
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白光干涉技术测量晶体的弹光效应 被引量：4
20
作者 邢进华 钱斌 +1 位作者 冯金福 周军 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期32-33,共2页
介绍运用折射率椭球 ,分析晶体的弹光效应 ,对测量群折射率的迈克尔逊白光干涉技术进行了改进 ,采用光栅线位移传感器提高反射扫描镜的位移精度 ,测量了石英晶体在不同的外力下 ,折射率的变化情况 。
关键词 白光干涉 晶体 弹光效应 折射率 光栅尺
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