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衬底温度对溅射硅基铜膜(Cu/Si)应力的影响研究 被引量：6
1
作者 吴桂芳 宋学平 +2 位作者 刘勇 林伟 孙兆奇 《安徽大学学报（自然科学版）》 CAS 2004年第3期27-32,共6页
薄膜应力的存在是薄膜制备过程中需要认真考虑的普遍问题。本文对溅射硅基铜膜应力受衬底温度的影响进行了讨论。实验中衬底温度分别设定为室温,50℃,100℃,150℃,200℃,250℃。实验表明:衬底温度在50～200℃之间时,铜膜平均应力变化较... 薄膜应力的存在是薄膜制备过程中需要认真考虑的普遍问题。本文对溅射硅基铜膜应力受衬底温度的影响进行了讨论。实验中衬底温度分别设定为室温,50℃,100℃,150℃,200℃,250℃。实验表明:衬底温度在50～200℃之间时,铜膜平均应力变化较小,为-3.920×108Pa,应力差变化也较小。 展开更多
关键词 衬底温度 溅射硅基铜膜 基片温度 微结构 光学相位移法 薄膜应力 超大规模集成电路
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中国西北地区气候变化与同期气象场异常的关系 被引量：20
2
作者 陶健红 吴洪宝 白虎志 《干旱区研究》 CSCD 北大核心 2005年第4期465-470,共6页
利用奇异值分解法(SVD)分析中国西北地区降水和气温异常与同期高空环流和下垫面温度异常的关系。研究表明:西北地区各季降水与同期北印度洋海区、西太平洋海面温度都有较好的遥相关性;西北地区降水与同期欧亚对流层的中下层的纬向和经... 利用奇异值分解法(SVD)分析中国西北地区降水和气温异常与同期高空环流和下垫面温度异常的关系。研究表明:西北地区各季降水与同期北印度洋海区、西太平洋海面温度都有较好的遥相关性;西北地区降水与同期欧亚对流层的中下层的纬向和经向环流强度的异常有明显的关系;西北地区气温异常与欧亚大陆同期中高纬向和经向环流的异常有关,冬季和秋季气温异常主要与纬向环流的异常有关,春季气温异常与经向环流异常有关。 展开更多
关键词 气候变化 气象场 高空环流 下表面温度 西北地区
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