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超声波清洗液对PVD涂层寿命影响的实验分析
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作者 郭子铭 林荣川 《内燃机与配件》 2021年第20期68-69,共2页
作为涂层前处理最重要的一道工序,超声清洗能将涂层产品表面油污、灰尘及氧化杂质清除,保证待镀产品表面清洁,提高膜基结合力。因此,本文研究超声波清洗机以及清洗液更换频次对PVD镀膜的AlCrSiN涂层铣刀的寿命的影响,通过两组对照实验,... 作为涂层前处理最重要的一道工序,超声清洗能将涂层产品表面油污、灰尘及氧化杂质清除,保证待镀产品表面清洁,提高膜基结合力。因此,本文研究超声波清洗机以及清洗液更换频次对PVD镀膜的AlCrSiN涂层铣刀的寿命的影响,通过两组对照实验,得出以下结论。第一,进口2CRD200全自动清洗设备比国产九槽清洗机清洗效果好,产品走刀寿命能提高24.09%。第二,使用2周以上的超声波清洗液清洗的刀具测试走刀寿命为2.91m,更换新超声波清洗液清洗的刀具测试走刀寿命为2.73m,频繁更换清洗液(两周一次)对提高产品待镀件清洁度,延长刀具走刀寿命影响不大。 展开更多
关键词 超声波清洗液 PVD镀膜 刀具寿命
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一种新型金属线材带材在线超声波清洗机设计 被引量:3
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作者 张良栋 廖映华 王春 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2012年第5期88-91,共4页
设计了一种结构紧凑、清洗速度快、清洗质量好的新型金属线材带材在线超声波清洗机。该清洗机从3个方面来提高超声波的清洗效率和清洗质量,即采用绕线装置使被清洗件反复在清洗槽中清洗来增加清洗时间;设置清洗液循环系统及温度控制系... 设计了一种结构紧凑、清洗速度快、清洗质量好的新型金属线材带材在线超声波清洗机。该清洗机从3个方面来提高超声波的清洗效率和清洗质量,即采用绕线装置使被清洗件反复在清洗槽中清洗来增加清洗时间;设置清洗液循环系统及温度控制系统保证清洗液的洁净度和温度;根据污染物的颗粒大小确定超声波频率及功率。清洗机的清洗槽采用垂直布置方式,使之结构紧凑,占地面积小。 展开更多
关键词 金属线材带材 超声波清洗机 绕线装置 清洗液循环系统 温度控制系统
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超声波清洗液控制系统研究 被引量:1
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作者 田洪涛 杨旭 +2 位作者 田知玲 张金环 陈苏伟 《电子工业专用设备》 2022年第4期53-56,共4页
介绍了一种超声波清洗液系统的控制原理与方法。该控制系统一般用于晶圆清洗设备,通过软件方法实现对各种功能的控制,保障了晶圆在超声波清洗过程中的清洁效果,同时也提升了设备的安全和稳定性。
关键词 晶圆清洗设备 超声波清洗 清洗液控制系统
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