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计算机微视觉在微运动测量中的应用
被引量：
4
1
作者
卢清华
范彦斌
张宪民
《机电工程技术》
2007年第12期93-96,共4页
计算机微视觉方法在微运动测量中得到了广泛的应用。本文对计算机微视觉测量的基本原理、特点及采用计算机微视觉测量微运动的精度影响因素进行了分析。此外,以精密微动平台为测量对象,将计算机微视觉与运动估计算法相结合,测量了微动...
计算机微视觉方法在微运动测量中得到了广泛的应用。本文对计算机微视觉测量的基本原理、特点及采用计算机微视觉测量微运动的精度影响因素进行了分析。此外,以精密微动平台为测量对象,将计算机微视觉与运动估计算法相结合,测量了微动平台的微运动。测量结果表明,这种将计算机微视觉与运动估计算法相结合的方法能够实现高精度的微运动测量。
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关键词
计算机微视觉
微运动测量
微动平台
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职称材料
柔性自动化微装配的自主式显微视觉技术
被引量：
2
2
作者
张高阳
金鑫
张之敬
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期485-489,共5页
针对非硅微机电系统自动化、柔性、高精度、高效的装配特点,提出并实现了一种基于金属氧化物半导体(CMOS)、现场可编程门阵列(FPGA)及数字信号处理器(DSP)的显微视觉系统设计方法.该方法兼顾了模块化、柔性与可重配置、高检测精度及速...
针对非硅微机电系统自动化、柔性、高精度、高效的装配特点,提出并实现了一种基于金属氧化物半导体(CMOS)、现场可编程门阵列(FPGA)及数字信号处理器(DSP)的显微视觉系统设计方法.该方法兼顾了模块化、柔性与可重配置、高检测精度及速度等系统主要指标,实现了结构模块化、功能可重配置、具有非常高的检测精度及速度的显微视觉系统.通过实验分析了系统的物理分辨率以及对测量精度进行了标定,验证了系统的设计技术指标.结果表明:系统对非硅MEMS器件的最高测量精度可达0.6μm,检测时间小于0.65s,不仅满足了现有微小型零件柔性自动化装配的要求,同时也为微小型零件的高精度、高速度检测提供了重要的解决方法.
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关键词
微装配线
显微视觉系统
模块化
可重配置
测量精度标定
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职称材料
应用于微靶装配的显微视觉检测技术
被引量：
2
3
作者
吴文荣
吴倩
黄燕华
《中国光学与应用光学》
2008年第1期75-79,共5页
针对如何实现微小尺度(μm^mm)靶零件装配过程中的在线检测,研制了应用于微靶装配的显微视觉检测系统,并对系统的构成与显微成像、图像预处理、特征检测等关键图像处理技术进行了详细论述。提出了针对微靶零件的新型多重滤波除噪算法和...
针对如何实现微小尺度(μm^mm)靶零件装配过程中的在线检测,研制了应用于微靶装配的显微视觉检测系统,并对系统的构成与显微成像、图像预处理、特征检测等关键图像处理技术进行了详细论述。提出了针对微靶零件的新型多重滤波除噪算法和几何特征检测算法,并以铝台阶、柱腔等微靶零件为应用实例开展了实验研究。结果表明,该系统采用的算法能有效、快速、准确地对靶零件进行几何特征和实时位置检测,在检测视场为3 mm时,其检测精度≤3μm,角度检测精度≤0.1°,适用于ICF微靶等微型器件的微装配。
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关键词
微装配
显微视觉
图像预处理
特征检测
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职称材料
MEMS微结构静态测试技术的发展及应用
4
作者
张立平
卢清华
《佛山科学技术学院学报（自然科学版）》
CAS
2015年第3期5-9,共5页
对国内外众多学者提出的各种微几何量和微机械量的静态测试技术进行了总结,并讨论了其应用场合和测试范围,在此基础上分析得出非接触式光学测试方法受到众学者的青睐,微视觉测量是MEMS静态测试技术的一个主要发展方向。
关键词
MEMS
静态测试
微几何
微机械
微视觉测量
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职称材料
基于双频激光干涉仪的显微模板精密测量
被引量：
1
5
作者
薛媛
陈青山
+1 位作者
刘力双
吕勇
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期259-265,共7页
为了对光纤阵列测量的高精度显微模板进行精密检测,采用双频激光干涉仪结合显微视觉系统,通过骨架化、腐蚀法、质心法等算法对显微图像进行计算处理,实现模板特征刻线的提取与精确定位。对模板上8条刻度线之间的间距分别进行重复测量和...
为了对光纤阵列测量的高精度显微模板进行精密检测,采用双频激光干涉仪结合显微视觉系统,通过骨架化、腐蚀法、质心法等算法对显微图像进行计算处理,实现模板特征刻线的提取与精确定位。对模板上8条刻度线之间的间距分别进行重复测量和组合测量,实验结果表明重复测量的标准偏差不大于0.07μm,组合测量的标准偏差不大于0.04μm。介绍了测量系统构成与工作原理,并对测量过程进行了精度分析,分析结果表明测量过程的极限误差不大于0.10μm。
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关键词
显微视觉
双频激光干涉仪
光纤阵列
精密测量
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职称材料
单目显微视觉测头动态测量技术的研究
被引量：
2
6
作者
屈玉福
浦昭邦
+1 位作者
刘国栋
庄志涛
《光学技术》
CAS
CSCD
2004年第6期753-755,共3页
为了解决现有坐标测量机中的单目显微视觉测头视场小和景深小的缺点,提出了显微视觉测头的动态测量方法。建立了运动模糊图像的复原模型以及序列图像的全景组合模型,并提出了测量系统的自标定方法,标定重复性精度优于0.5nm。实验证明:...
为了解决现有坐标测量机中的单目显微视觉测头视场小和景深小的缺点,提出了显微视觉测头的动态测量方法。建立了运动模糊图像的复原模型以及序列图像的全景组合模型,并提出了测量系统的自标定方法,标定重复性精度优于0.5nm。实验证明:该系统在以6mm/s的速度扫描测量时,测量重复性精度可达到5μm。
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关键词
单目显微视觉测头
动态测量
坐标测量机
原文传递
微尺度目标的图像拼接与测量
被引量：
1
7
作者
王福斌
王宜文
王尚政
《华北理工大学学报（自然科学版）》
CAS
2020年第4期117-124,共8页
当今微尺度加工在各领域都得到了蓬勃发展,如何使用计算机视觉的研究方法对于微小尺度元件的图像进行分析与测量也成为热点问题。针对叉指电极提出微视觉图像的测量方法,建立能够完成数字图像实时传输的微视觉图像采集系统,并完成叉指...
当今微尺度加工在各领域都得到了蓬勃发展,如何使用计算机视觉的研究方法对于微小尺度元件的图像进行分析与测量也成为热点问题。针对叉指电极提出微视觉图像的测量方法,建立能够完成数字图像实时传输的微视觉图像采集系统,并完成叉指电极图像的采集。通过图像拼接解决微视觉图像视场较小的问题,分别通过SIFT和SURF图像特征点检测与匹配的算法对图像进行特征点的匹配,并进行图像融合以获得相对完整的微尺度图像。对图像进行形态学处理,通过边缘迭代腐蚀获得拓扑细化后的图像中心线,最终使用HALCON进行图像的像素距离的测量。
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关键词
微视觉图像采集
图像拼接
SIFT图像配准算法
图像测量
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职称材料
基于计算机显微视觉的微米/亚微米结构的测量
被引量：
4
8
作者
林彬
陈忠
《机床与液压》
北大核心
2008年第8期212-215,共4页
针对微纳制造中光刻掩模板检查对线宽、线间距等几何量测量的技术需求,开发了一个基于计算机显微视觉的微小结构几何量的测量系统。该系统采用光学分辨率为606nm的光学成像设备,采用LabVIEW的Vision工具编写的图像测量软件具有多方向轮...
针对微纳制造中光刻掩模板检查对线宽、线间距等几何量测量的技术需求,开发了一个基于计算机显微视觉的微小结构几何量的测量系统。该系统采用光学分辨率为606nm的光学成像设备,采用LabVIEW的Vision工具编写的图像测量软件具有多方向轮廓点自动拾取模块、宏微测量策略、自动对焦功能等关键功能。实验与分析结果表明该系统可以实现对微米/亚微米结构的测量。
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关键词
计算机显微视觉
图像测量
几何量测量
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职称材料
边缘检测技术在光纤微加工系统中的应用研究
被引量：
3
9
作者
高天学
张福安
+2 位作者
李丽欣
赵兴娜
王志斌
《电子器件》
CAS
北大核心
2019年第3期684-688,共5页
针对光纤成像的特殊性,提出了一种利用边缘检测算法来提取ROI区域作为对焦窗口的方法,该方法成功地消除了光纤图像中心亮带对清晰度评价值的影响,可准确判断光纤目标清晰的位置,结合显微视觉测量技术,将其应用于光纤侧面抛磨和拉锥系统...
针对光纤成像的特殊性,提出了一种利用边缘检测算法来提取ROI区域作为对焦窗口的方法,该方法成功地消除了光纤图像中心亮带对清晰度评价值的影响,可准确判断光纤目标清晰的位置,结合显微视觉测量技术,将其应用于光纤侧面抛磨和拉锥系统中,经过亚像素边缘检测及尺寸计算后,对光纤参数的测量精度高于0.5μm,可提高光纤微加工系统的性能。
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关键词
边缘检测技术
光纤图像处理
显微视觉测量
光纤器件微加工
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职称材料
微管与微球装配中的姿态检测与姿态对准
被引量：
2
10
作者
李福东
徐德
+1 位作者
史亚莉
张正涛
《高技术通讯》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期401-406,共6页
研究了微装配中的微管与微球的姿态检测与对准,以精确获取其姿态,使微管高精度对准微球上的微孔,然后插入微孔,保证微管与微球的高质量装配。针对显微相机的景深小、视野小,传统的基于立体视觉的姿态测量方法不能实现微管与微孔的姿态测...
研究了微装配中的微管与微球的姿态检测与对准,以精确获取其姿态,使微管高精度对准微球上的微孔,然后插入微孔,保证微管与微球的高质量装配。针对显微相机的景深小、视野小,传统的基于立体视觉的姿态测量方法不能实现微管与微孔的姿态测量,提出了一种基于运动的微孔与微管的姿态测量方法。该方法采用双目显微视觉,通过显微相机的聚焦运动,在每个显微相机中分别单独测量出微孔、微管的投影线,然后根据两条投影线与显微相机光轴信息分别计算出微孔、微管在微管操作手坐标系中的姿态向量。以微管姿态向量为基准,通过微球姿态调整平台分别绕x,y旋转调整微球上微孔的姿态向量,实现了微管与微球的对准。实验结果表明了所提姿态测量与对准方法的有效性。
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关键词
显微视觉
微装配
姿态检测
姿态对准
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职称材料
题名
计算机微视觉在微运动测量中的应用
被引量：
4
1
作者
卢清华
范彦斌
张宪民
机构
佛山科技学院机电系
华南理工大学机械工程学院
出处
《机电工程技术》
2007年第12期93-96,共4页
基金
教育部产学研合作专项资金(编号:2006D90304001)
广东省自然科学基金(编号:05006494)
广东省科技攻关项目(编号:2006A10401004)
文摘
计算机微视觉方法在微运动测量中得到了广泛的应用。本文对计算机微视觉测量的基本原理、特点及采用计算机微视觉测量微运动的精度影响因素进行了分析。此外,以精密微动平台为测量对象,将计算机微视觉与运动估计算法相结合,测量了微动平台的微运动。测量结果表明,这种将计算机微视觉与运动估计算法相结合的方法能够实现高精度的微运动测量。
关键词
计算机微视觉
微运动测量
微动平台
Keywords
computer
micro
-
vision
micro
-motion
measurement
micro
-displacement
worktable
分类号
TP391.7 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
柔性自动化微装配的自主式显微视觉技术
被引量：
2
2
作者
张高阳
金鑫
张之敬
机构
北京理工大学机械与车辆学院
出处
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期485-489,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51127004)
国家部委预研项目(A0920110013)
文摘
针对非硅微机电系统自动化、柔性、高精度、高效的装配特点,提出并实现了一种基于金属氧化物半导体(CMOS)、现场可编程门阵列(FPGA)及数字信号处理器(DSP)的显微视觉系统设计方法.该方法兼顾了模块化、柔性与可重配置、高检测精度及速度等系统主要指标,实现了结构模块化、功能可重配置、具有非常高的检测精度及速度的显微视觉系统.通过实验分析了系统的物理分辨率以及对测量精度进行了标定,验证了系统的设计技术指标.结果表明:系统对非硅MEMS器件的最高测量精度可达0.6μm,检测时间小于0.65s,不仅满足了现有微小型零件柔性自动化装配的要求,同时也为微小型零件的高精度、高速度检测提供了重要的解决方法.
关键词
微装配线
显微视觉系统
模块化
可重配置
测量精度标定
Keywords
micro
-assembly
line
micro
-
vision
system
modularization
reconfigurable
measurement
accuracy
demarcate
分类号
TP29 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
应用于微靶装配的显微视觉检测技术
被引量：
2
3
作者
吴文荣
吴倩
黄燕华
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《中国光学与应用光学》
2008年第1期75-79,共5页
基金
国家863高技术研究发展计划探索基金资助项目(No.2007AA804401)
文摘
针对如何实现微小尺度(μm^mm)靶零件装配过程中的在线检测,研制了应用于微靶装配的显微视觉检测系统,并对系统的构成与显微成像、图像预处理、特征检测等关键图像处理技术进行了详细论述。提出了针对微靶零件的新型多重滤波除噪算法和几何特征检测算法,并以铝台阶、柱腔等微靶零件为应用实例开展了实验研究。结果表明,该系统采用的算法能有效、快速、准确地对靶零件进行几何特征和实时位置检测,在检测视场为3 mm时,其检测精度≤3μm,角度检测精度≤0.1°,适用于ICF微靶等微型器件的微装配。
关键词
微装配
显微视觉
图像预处理
特征检测
Keywords
micro
-assembly
micro
-
vision
image
preprocessing
character
measurement
分类号
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
下载PDF
职称材料
题名
MEMS微结构静态测试技术的发展及应用
4
作者
张立平
卢清华
机构
佛山科学技术学院机电工程系
出处
《佛山科学技术学院学报（自然科学版）》
CAS
2015年第3期5-9,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51105077)
广东省精密装备与制造技术重点实验室开放基金资助项目
文摘
对国内外众多学者提出的各种微几何量和微机械量的静态测试技术进行了总结,并讨论了其应用场合和测试范围,在此基础上分析得出非接触式光学测试方法受到众学者的青睐,微视觉测量是MEMS静态测试技术的一个主要发展方向。
关键词
MEMS
静态测试
微几何
微机械
微视觉测量
Keywords
micro
electro
mechanical
systems(MEMS)
static
testing
technology
micro
geometry
micro
mechanical
parameters
the
micro
-
vision
measurement
分类号
TH741.8 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
基于双频激光干涉仪的显微模板精密测量
被引量：
1
5
作者
薛媛
陈青山
刘力双
吕勇
机构
北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期259-265,共7页
基金
北京市优秀人才培养资助(2013D005007000007)
北京市属高等学校青年拔尖人才培育计划项目(CIT&TCD201404124)
文摘
为了对光纤阵列测量的高精度显微模板进行精密检测,采用双频激光干涉仪结合显微视觉系统,通过骨架化、腐蚀法、质心法等算法对显微图像进行计算处理,实现模板特征刻线的提取与精确定位。对模板上8条刻度线之间的间距分别进行重复测量和组合测量,实验结果表明重复测量的标准偏差不大于0.07μm,组合测量的标准偏差不大于0.04μm。介绍了测量系统构成与工作原理,并对测量过程进行了精度分析,分析结果表明测量过程的极限误差不大于0.10μm。
关键词
显微视觉
双频激光干涉仪
光纤阵列
精密测量
Keywords
micro
-
vision
dual-frequency
laser
interferometer
fiber
array
precision
measurement
分类号
TH744.5 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
单目显微视觉测头动态测量技术的研究
被引量：
2
6
作者
屈玉福
浦昭邦
刘国栋
庄志涛
机构
哈尔滨工业大学自动化测试与控制系
出处
《光学技术》
CAS
CSCD
2004年第6期753-755,共3页
文摘
为了解决现有坐标测量机中的单目显微视觉测头视场小和景深小的缺点,提出了显微视觉测头的动态测量方法。建立了运动模糊图像的复原模型以及序列图像的全景组合模型,并提出了测量系统的自标定方法,标定重复性精度优于0.5nm。实验证明:该系统在以6mm/s的速度扫描测量时,测量重复性精度可达到5μm。
关键词
单目显微视觉测头
动态测量
坐标测量机
Keywords
monocular
micro
-
vision
probe
dynamic
measurement
coordinate
measuring
machines
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
微尺度目标的图像拼接与测量
被引量：
1
7
作者
王福斌
王宜文
王尚政
机构
华北理工大学电气工程学院
华北理工大学以升创新教育基地
出处
《华北理工大学学报（自然科学版）》
CAS
2020年第4期117-124,共8页
文摘
当今微尺度加工在各领域都得到了蓬勃发展,如何使用计算机视觉的研究方法对于微小尺度元件的图像进行分析与测量也成为热点问题。针对叉指电极提出微视觉图像的测量方法,建立能够完成数字图像实时传输的微视觉图像采集系统,并完成叉指电极图像的采集。通过图像拼接解决微视觉图像视场较小的问题,分别通过SIFT和SURF图像特征点检测与匹配的算法对图像进行特征点的匹配,并进行图像融合以获得相对完整的微尺度图像。对图像进行形态学处理,通过边缘迭代腐蚀获得拓扑细化后的图像中心线,最终使用HALCON进行图像的像素距离的测量。
关键词
微视觉图像采集
图像拼接
SIFT图像配准算法
图像测量
Keywords
micro
-
vision
image
acquisition
image
mosaic
SIFT
image
registration
algorithm
image
measurement
分类号
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
下载PDF
职称材料
题名
基于计算机显微视觉的微米/亚微米结构的测量
被引量：
4
8
作者
林彬
陈忠
机构
华南理工大学机械工程学院
出处
《机床与液压》
北大核心
2008年第8期212-215,共4页
基金
广东省自然科学基金博士启动项目(B01B6050540)
文摘
针对微纳制造中光刻掩模板检查对线宽、线间距等几何量测量的技术需求,开发了一个基于计算机显微视觉的微小结构几何量的测量系统。该系统采用光学分辨率为606nm的光学成像设备,采用LabVIEW的Vision工具编写的图像测量软件具有多方向轮廓点自动拾取模块、宏微测量策略、自动对焦功能等关键功能。实验与分析结果表明该系统可以实现对微米/亚微米结构的测量。
关键词
计算机显微视觉
图像测量
几何量测量
Keywords
Computer
micro
vision
Image-based
measurement
Geometric
measurement
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
边缘检测技术在光纤微加工系统中的应用研究
被引量：
3
9
作者
高天学
张福安
李丽欣
赵兴娜
王志斌
机构
山东华宇工学院
中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心
出处
《电子器件》
CAS
北大核心
2019年第3期684-688,共5页
基金
国际科技合作专项项目(2013FDR10150)
文摘
针对光纤成像的特殊性,提出了一种利用边缘检测算法来提取ROI区域作为对焦窗口的方法,该方法成功地消除了光纤图像中心亮带对清晰度评价值的影响,可准确判断光纤目标清晰的位置,结合显微视觉测量技术,将其应用于光纤侧面抛磨和拉锥系统中,经过亚像素边缘检测及尺寸计算后,对光纤参数的测量精度高于0.5μm,可提高光纤微加工系统的性能。
关键词
边缘检测技术
光纤图像处理
显微视觉测量
光纤器件微加工
Keywords
edge
detection
technology
optical
fiber
image
processing
micro
vision
measurement
optical
fiber
device
micro
fabrication
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
微管与微球装配中的姿态检测与姿态对准
被引量：
2
10
作者
李福东
徐德
史亚莉
张正涛
机构
中国科学院自动化研究所
出处
《高技术通讯》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期401-406,共6页
基金
国家自然科学基金(61227804
61105036)资助项目
文摘
研究了微装配中的微管与微球的姿态检测与对准,以精确获取其姿态,使微管高精度对准微球上的微孔,然后插入微孔,保证微管与微球的高质量装配。针对显微相机的景深小、视野小,传统的基于立体视觉的姿态测量方法不能实现微管与微孔的姿态测量,提出了一种基于运动的微孔与微管的姿态测量方法。该方法采用双目显微视觉,通过显微相机的聚焦运动,在每个显微相机中分别单独测量出微孔、微管的投影线,然后根据两条投影线与显微相机光轴信息分别计算出微孔、微管在微管操作手坐标系中的姿态向量。以微管姿态向量为基准,通过微球姿态调整平台分别绕x,y旋转调整微球上微孔的姿态向量,实现了微管与微球的对准。实验结果表明了所提姿态测量与对准方法的有效性。
关键词
显微视觉
微装配
姿态检测
姿态对准
Keywords
micro
vision
micro
assembly
pose
measurement
pose
aligning
分类号
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
计算机微视觉在微运动测量中的应用
卢清华
范彦斌
张宪民
《机电工程技术》
2007
4
下载PDF
职称材料
2
柔性自动化微装配的自主式显微视觉技术
张高阳
金鑫
张之敬
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
下载PDF
职称材料
3
应用于微靶装配的显微视觉检测技术
吴文荣
吴倩
黄燕华
《中国光学与应用光学》
2008
2
下载PDF
职称材料
4
MEMS微结构静态测试技术的发展及应用
张立平
卢清华
《佛山科学技术学院学报（自然科学版）》
CAS
2015
0
下载PDF
职称材料
5
基于双频激光干涉仪的显微模板精密测量
薛媛
陈青山
刘力双
吕勇
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
下载PDF
职称材料
6
单目显微视觉测头动态测量技术的研究
屈玉福
浦昭邦
刘国栋
庄志涛
《光学技术》
CAS
CSCD
2004
2
原文传递
7
微尺度目标的图像拼接与测量
王福斌
王宜文
王尚政
《华北理工大学学报（自然科学版）》
CAS
2020
1
下载PDF
职称材料
8
基于计算机显微视觉的微米/亚微米结构的测量
林彬
陈忠
《机床与液压》
北大核心
2008
4
下载PDF
职称材料
9
边缘检测技术在光纤微加工系统中的应用研究
高天学
张福安
李丽欣
赵兴娜
王志斌
《电子器件》
CAS
北大核心
2019
3
下载PDF
职称材料
10
微管与微球装配中的姿态检测与姿态对准
李福东
徐德
史亚莉
张正涛
《高技术通讯》
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
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