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高功率脉冲磁控溅射等离子体放电特性研究现状 被引量:12
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作者 艾猛 李刘合 +1 位作者 韩明月 苗虎 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期176-186,共11页
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)因其较高的靶材原子离化率和优异的薄膜成形性能,逐渐成为PVD领域的热点镀膜技术。靶材原子的高度离化宏观表现为较大的放电电流。介绍了等离子体放电靶电流的构成及其形成原理,分析了HiPIMS放电过程中磁场... 高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)因其较高的靶材原子离化率和优异的薄膜成形性能,逐渐成为PVD领域的热点镀膜技术。靶材原子的高度离化宏观表现为较大的放电电流。介绍了等离子体放电靶电流的构成及其形成原理,分析了HiPIMS放电过程中磁场、靶电压、工作气压对靶材原子离化率的影响,及其相应放电靶电流曲线。空间磁场可以束缚电子,增长靶前电子运动轨迹,同增大工作气压一样,都可以减小粒子运动平均自由程,增大粒子碰撞几率,提高原子离化率,增大放电靶电流。升高靶电压可以提高离子碰撞能量,靶电压越高,放电靶电流越大。分析了各种靶材在不同电压下的放电靶电流曲线。优异的薄膜成形性能得益于对离子运动的良好控制,阐述了等离子体空间电荷分布状况、靶材自溅射和"气体循环"过程、二次电子发射及其促进离化机制、等离子体碰撞引起的气体稀薄现象,以及预鞘层对二次电子和等离子体电子的焦耳加热效应等微观机理,论述了这些微观机理对粒子离化的作用效果。最后展望了研究HiPIMS等离子体放电特性可能的研究方向。 展开更多
关键词 高功率脉冲磁控溅射 放电特性 靶电流 自溅射 气体循环 二次电子 气体稀薄效应 焦耳加热效应
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并网逆变器预测电流控制算法性能分析 被引量:11
2
作者 吴小进 魏学业 +1 位作者 于蓉蓉 覃庆努 《电网技术》 EI CSCD 北大核心 2012年第6期220-225,共6页
在并网逆变器预测电流控制算法中,当模型电感与实际电感参数不匹配时可能导致控制算法不稳定,而无法有效跟踪并网逆变器的输出电流,为此提出了一种改进型预测电流控制算法。在对比分析几种现有预测电流控制算法优缺点的基础上,总结了预... 在并网逆变器预测电流控制算法中,当模型电感与实际电感参数不匹配时可能导致控制算法不稳定,而无法有效跟踪并网逆变器的输出电流,为此提出了一种改进型预测电流控制算法。在对比分析几种现有预测电流控制算法优缺点的基础上,总结了预测电流控制算法的构建原则,通过对目标电流误差以及目标输出电压的表达式进行重建,降低了预测电流控制算法的阶数。计算机仿真以及实验结果验证了改进型预测电流控制算法的可行性以及可靠性。 展开更多
关键词 光伏系统 并网逆变器 预测控制 参数匹配 标电流
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高纯铜溅射靶材的发展及现状 被引量:10
3
作者 禹泽海 孙鹏 +1 位作者 汪春平 杨艳 《山西冶金》 CAS 2007年第5期4-6,共3页
简要介绍了高纯铜溅射靶材目前的市场情况、现状、应用领域和未来高纯铜溅射靶材发展趋势;并对高纯铜溅射靶材的特性要求以及微观组织控制做了简单的阐述。
关键词 高纯铜 溅射靶材 现状 发展趋势
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高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)等离子体放电时空特性研究进展 被引量:10
4
作者 韩明月 李刘合 +2 位作者 李花 艾猛 罗阳 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期20-52,共33页
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)放电凭借着高离化率优势,已经成为物理气相沉积(PVD)领域的核心技术。鉴于HiPIMS放电具有复杂的物理场配置和兆瓦级的峰值功率,其产生的不均匀等离子体严重影响着薄膜的性能。从HiPIMS放电等离子体的时间和... 高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)放电凭借着高离化率优势,已经成为物理气相沉积(PVD)领域的核心技术。鉴于HiPIMS放电具有复杂的物理场配置和兆瓦级的峰值功率,其产生的不均匀等离子体严重影响着薄膜的性能。从HiPIMS放电等离子体的时间和空间特性角度出发,结合放电靶电流、等离子体阻抗、离子饱和电流的特性,以及各种粒子在不同时刻和空间位点对应的相互作用和运动轨迹,综述了近年来国际上关于HiPIMS脉冲放电过程中等离子体参数的时空演变特性以及脉冲等离子体动力学行为,主要包含了等离子体物理量的时间演变规律,复杂物理场的空间分布行为,粒子密度、能量的扩散传输机制,靶材粒子离化程度的表征方法等,并全面地叙述了气体原子稀释效应、气体循环、双极扩散、等离子体波、旋转的spoke等不稳定传输特性。此外,依据等离子体时空特性,总结出HiPIMS放电沉积速率低的内因,介绍了提高沉积速率的方法和机理。最后,指出了目前关于HiPIMS时空特性研究方面存在的问题和发展方向。 展开更多
关键词 高功率脉冲磁控溅射 等离子体参数 靶电流 时间特性 空间特性
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Influence of Ti target current on microstructure and properties of Ti-doped graphite-like carbon films 被引量:7
5
作者 王永欣 王立平 薛群基 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第6期1372-1380,共9页
Ti-doped graphite-like carbon (Ti-GLC) films were synthesized successfully by magnetron sputtering technique. The compositions, microstructures and properties of the Ti-doped GLC films dependent on the parameter of ... Ti-doped graphite-like carbon (Ti-GLC) films were synthesized successfully by magnetron sputtering technique. The compositions, microstructures and properties of the Ti-doped GLC films dependent on the parameter of Ti target current were systemically investigated by Raman spectra, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), atomic force microscopy (AFM), nanoindentation and ball-on-disk tribometer. With the increase of the Ti target current, the ratio of sp2 bond and the content of Ti as well as the film hardness and compressive internal stress increase, but the high content of the Ti would result in the loose film due to the formation of the squamose structure. Less incorporated Ti reduces the friction of the GLC film in dry-sliding condition, while pure GLC film exhibits the lowest friction coefficient in water-lubricated condition. Ti-GLC film deposited with low Ti target current shows high wear resistance in both dry-sliding and water-lubricated conditions. 展开更多
关键词 Ti-doped graphite-like carbon film MICROSTRUCTURE tribological performance target current
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多弧离子镀TiN薄膜颜色性能的研究 被引量:7
6
作者 张启沛 钟喜春 +4 位作者 杨怡帆 李春明 曾德长 邱万奇 匡同春 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期694-699,共6页
用多弧离子镀技术在3Cr13不锈钢表面沉积TiN薄膜,用扫描电子显微镜和可见光分光光度计研究了大颗粒、氮气流量与靶电流对膜层颜色性能的影响及其作用规律。结果表明,大颗粒由表面结晶层、中间层和液滴层组成,大颗粒数量较少时不会影响... 用多弧离子镀技术在3Cr13不锈钢表面沉积TiN薄膜,用扫描电子显微镜和可见光分光光度计研究了大颗粒、氮气流量与靶电流对膜层颜色性能的影响及其作用规律。结果表明,大颗粒由表面结晶层、中间层和液滴层组成,大颗粒数量较少时不会影响薄膜的颜色性能。增加氮气流量,样品的反射率呈下降趋势,颜色坐标红/绿值a*和黄/蓝值b*增大,明度L*减小,彩度指数C*ab增大,色调角H*ab减小,薄膜颜色由银灰色逐渐变化为深黄色;然而,随着靶电流的增大,色调角H*ab增大,彩度指数C*ab、红/绿值a*和黄/蓝值b*减小,薄膜颜色从深黄色逐渐变为银白色。靶电流的变化改变了膜层中钛和氮的原子比,可对氮气流量的变化起到补偿作用。 展开更多
关键词 多弧离子镀 TIN薄膜 氮气流量 靶电流 颜色
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电子感应加速器的加速电荷测量系统设计
7
作者 杨郅浩 《电子技术(上海)》 2024年第2期18-19,共2页
阐述针对缺乏小型电子感应加速器密封加速管状态下的加速电荷检测手段,提出依据加速电子与靶相互作用产生电流的机制来计算加速电荷量。设计了基于FPGA的靶电流测量系统,根据实验结果计算加速电荷量为3.02×10^(-8)C。
关键词 电子感应加速器 靶电流 加速电荷量
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Exploring fs-laser irradiation damage subthreshold behavior of dielectric mirrors via electrical measurements
8
作者 Petrisor Gabriel Bleotu Radu Udrea +6 位作者 Alice Dumitru Olivier Uteza Maria-Diana Mihai Dan Gh Matei Daniel Ursescu Stefan Irimiciuc Valentin Craciun 《High Power Laser Science and Engineering》 SCIE CAS CSCD 2024年第2期24-32,共9页
With ultrafast laser systems reaching presently 10 PW peak power or operating at high repetition rates,research towards ensuring the long-term,trouble-free performance of all laser-exposed optical components is critic... With ultrafast laser systems reaching presently 10 PW peak power or operating at high repetition rates,research towards ensuring the long-term,trouble-free performance of all laser-exposed optical components is critical.Our work is focused on providing insight into the optical material behavior at fluences below the standardized laser-induced damage threshold(LIDT)value by implementing a simultaneous dual analysis of surface emitted particles using a Langmuir probe(LP)and the target current(TC).HfO_(2) and ZrO_(2) thin films deposited on fused silica substrates by pulsed laser deposition at various O_(2) pressures for defect and stoichiometry control were irradiated by Gaussian,ultrashort laser pulses(800 nm,10 Hz,70 fs)in a wide range of fluences.Both TC and LP collected signals were in good agreement with the existing theoretical description of laser–matter interaction at an ultrashort time scale.Our approach for an in situ LIDT monitoring system provides measurable signals for below-threshold irradiation conditions that indicate the endurance limit of the optical surfaces in the single-shot energy scanning mode.The LIDT value extracted from the LP-TC system is in line with the multipulse statistical analysis done with ISO 21254-2:2011(E).The implementation of the LP and TC as on-shot diagnostic tools for optical components will have a significant impact on the reliability of next-generation ultrafast and high-power laser systems. 展开更多
关键词 HfO_(2) in situ detection Langmuir probe laser-induced damage threshold target current ZrO_(2)
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基于电涡流的新型靶式流量计 被引量:5
9
作者 彭晓利 毛谦敏 +1 位作者 梁国伟 黄震威 《中国计量学院学报》 2009年第2期113-117,共5页
分析了利用电涡流效应测量靶受力后的位移进行流量检测的原理,并设计了相应的靶结构,构建了具有温度压力补偿的测量系统,最后根据流量标定实验数据,建立了流量传感器的数学模型.试验结果表明,该靶式流量计线性好,灵敏度高,且测量精度优... 分析了利用电涡流效应测量靶受力后的位移进行流量检测的原理,并设计了相应的靶结构,构建了具有温度压力补偿的测量系统,最后根据流量标定实验数据,建立了流量传感器的数学模型.试验结果表明,该靶式流量计线性好,灵敏度高,且测量精度优于1%. 展开更多
关键词 靶式流量计 电涡流 温度补偿
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靶电流对TiAlN/TiN复合膜组织及硬度的影响 被引量:5
10
作者 卢龙 任明皓 +1 位作者 蒋涛 严铿 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2010年第22期120-122,共3页
采用多弧离子镀技术在40Cr基体上制备TiAlN/TiN复合膜层,通过金相显微镜、扫描电镜和显微硬度仪研究靶电流对膜层表面形貌、沉积率及硬度的影响。结果表明:靶材电流对膜层组织和硬度有显著影响,电流越高膜层表面越不平整,显微硬度随靶... 采用多弧离子镀技术在40Cr基体上制备TiAlN/TiN复合膜层,通过金相显微镜、扫描电镜和显微硬度仪研究靶电流对膜层表面形貌、沉积率及硬度的影响。结果表明:靶材电流对膜层组织和硬度有显著影响,电流越高膜层表面越不平整,显微硬度随靶材电流的升高先上升后降低。靶电流越高,膜层中Ti、Al原子的含量就越高。 展开更多
关键词 多弧离子镀 TIALN TIN 靶电流
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不同靶材料的高功率脉冲磁控溅射放电行为 被引量:4
11
作者 吴忠振 田修波 +2 位作者 潘锋 付劲裕 朱剑豪 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1279-1284,共6页
选择具有不同溅射产额的靶材料(Cu,Cr,Mo,Ti,V和C),研究了其高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)放电靶电流波形随靶电压的演化行为.发现所有材料都满足5个阶段顺序放电特征,但是不同溅射产额的材料的相同放电阶段所需要的靶电压呈现先增加后下... 选择具有不同溅射产额的靶材料(Cu,Cr,Mo,Ti,V和C),研究了其高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)放电靶电流波形随靶电压的演化行为.发现所有材料都满足5个阶段顺序放电特征,但是不同溅射产额的材料的相同放电阶段所需要的靶电压呈现先增加后下降的趋势,根据放电难易的不同分别表现出一定阶段的缺失.对其靶电流平均值、峰值和平台值的统计显示,溅射产额高的靶材料自溅射容易,平台稳定,对靶电流的贡献主要为平台值(金属放电),比较适用于HPPMS方法沉积薄膜;而溅射产额低的靶材料气体放电明显,靶电流主要由峰值(气体放电)贡献,不利于薄膜沉积. 展开更多
关键词 高功率脉冲磁控溅射 溅射产额 靶电流 靶电压
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基于当前统计模型的三维空间机动目标跟踪算法 被引量:4
12
作者 姜伟 田子希 张宝宇 《舰船科学技术》 2011年第12期24-27,41,共5页
对可以观测距变率和角变率的雷达观测系统提出了在三维空间中引入距变率(径向速度)和角变率(角速度)的当前统计卡尔曼滤波算法。针对三维空间中的机动目标,将新提出的算法和传统算法进行仿真,结果表明,当引入距变率和角变率时,其收敛速... 对可以观测距变率和角变率的雷达观测系统提出了在三维空间中引入距变率(径向速度)和角变率(角速度)的当前统计卡尔曼滤波算法。针对三维空间中的机动目标,将新提出的算法和传统算法进行仿真,结果表明,当引入距变率和角变率时,其收敛速度加快,收敛精度提高,改善了跟踪性能,具有工程实践指导意义。 展开更多
关键词 目标跟踪 当前统计 距变率(径向速度) 角变率(角速度)
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靶电流对高功率脉冲磁控溅射WS_(2)-Ti固体润滑涂层微观组织及力学性能的影响研究
13
作者 孙含影 殷俊 +6 位作者 张平 应普友 吴建波 黄敏 林长红 杨涛 Vladimir Levchenko 《工具技术》 北大核心 2023年第10期44-48,共5页
过渡金属硫化物涂层的耐磨性能与其微观结构、力学性能有关,而其结构与溅射能量有关。高能脉冲磁控溅射(HiPIMS)具有离化率高和沉积能量高的特性,其沉积能量受控于靶电流。采用HiPIMS技术,通过改变Ti靶电流制备了WS_(2)-Ti涂层,并利用... 过渡金属硫化物涂层的耐磨性能与其微观结构、力学性能有关,而其结构与溅射能量有关。高能脉冲磁控溅射(HiPIMS)具有离化率高和沉积能量高的特性,其沉积能量受控于靶电流。采用HiPIMS技术,通过改变Ti靶电流制备了WS_(2)-Ti涂层,并利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和纳米压痕仪表征涂层的微观组织结构和力学性能。分析结果表明,采用HiPIMS制备WS_(2)-Ti涂层可以有效细化晶粒并抑制其柱状生长,所制备的涂层结构致密且以非晶态为主;随着靶电流的增加,可进一步细化WS_(2)-Ti涂层晶粒,提高其致密度;涂层硬度随靶电流的增大呈先上升再下降的趋势,而其约化弹性模量先下降再上升;相应塑性因子H/E_(r)和H_(3)/E_(r)^(2)先变大后变小,在靶电流为50A时达到最高。 展开更多
关键词 高功率脉冲磁控溅射 WS_(2)-Ti涂层 靶电流 微观结构 力学性能
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Multiple model tracking algorithms based on neural network and multiple process noise soft switching 被引量:2
14
作者 NieXiaohua 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 2009年第6期1227-1232,共6页
A multiple model tracking algorithm based on neural network and multiple-process noise soft-switching for maneuvering targets is presented.In this algorithm, the"current"statistical model and neural network are runn... A multiple model tracking algorithm based on neural network and multiple-process noise soft-switching for maneuvering targets is presented.In this algorithm, the"current"statistical model and neural network are running in parallel.The neural network algorithm is used to modify the adaptive noise filtering algorithm based on the mean value and variance of the"current"statistical model for maneuvering targets, and then the multiple model tracking algorithm of the multiple processing switch is used to improve the precision of tracking maneuvering targets.The modified algorithm is proved to be effective by simulation. 展开更多
关键词 maneuvering target current statistical model neural network multiple model algorithm.
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新型双极性高功率脉冲磁控溅射电源及放电特性研究 被引量:2
15
作者 吴厚朴 田钦文 +1 位作者 田修波 巩春志 《真空》 CAS 2019年第6期1-6,共6页
独立设计研制了新型两段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源,本电源具备3种工作模式:(1)传统高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)放电模式,(2)双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射(BP-HiPIMS)放电模式和(3)两段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射(DBP-Hi... 独立设计研制了新型两段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源,本电源具备3种工作模式:(1)传统高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)放电模式,(2)双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射(BP-HiPIMS)放电模式和(3)两段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射(DBP-HiPIMS)放电模式。特别是新提出的第三种工作模式,两段式双极性脉冲较传统的单段双极性脉冲具有较大的优势。本文研究了在传统BP-HiPIMS和新DBP-HiPIMS条件下,正向脉冲对Cr靶在Ar气气氛下的放电特性的影响。研究发现:随着正向脉冲电压的增加,BP-HiPIMS和DBP-HiPIMS基体净离子平均电流均明显提高,且相比传统BP-HiPIMS模式,新型DBP-HiPIMS放电模式在不同正向脉冲电压时均具有更高的基体净离子平均电流。正向脉冲电压为100V时,在基体偏压为0V和60V条件下,DBP-HiPIMS模式的基体净离子平均电流较传统BP-HiPIMS模式分别提高47.0%和30.3%。表明新型DBP-HiPIMS放电模式能够进一步提高正向脉冲对离子的推动加速作用,这将有利于膜层质量的提高。 展开更多
关键词 双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射 正向脉冲 靶电压 靶电流 基体电流
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多弧离子镀对涂层厚度的影响 被引量:3
16
作者 王蕾 陈楠 《石化技术》 CAS 2017年第6期71-72,共2页
本文采用多弧离子镀技术在奥氏体不锈钢表面沉积Ti-Al-N三元化合物涂层,并研究了多弧离子镀工艺参数对涂层厚度的影响。结果表明:负偏压对涂层厚度影响最大,时间次之,靶电流影响较小,氮气通量的影响程度最小。
关键词 多弧离子镀 涂层 靶电流
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多弧离子镀靶电流对膜层形貌与性能的影响 被引量:3
17
作者 张会霞 战宏伟 +1 位作者 冯光光 卢龙 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2012年第22期151-152,156,共3页
采用渗氮与多弧离子镀复合技术,在不同靶电流条件下制备Ti0.33Al0.67N膜层,分析靶电流对膜层形貌、膜层厚度、结合力及显微硬度等性能的影响。得出靶电流设计范围内存在一个最佳值,以获得膜层最优性能。
关键词 多弧离子镀 Ti0.33Al0.67N 靶电流
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双级HPPMS靶电流对TiN镀层微观结构及耐蚀性的影响 被引量:3
18
作者 郝娟 蒋百灵 +2 位作者 杨超 杜玉洲 王戎 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期2991-2996,共6页
为了解决传统高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)平均沉积速率低的问题,研究提出一种新型的双级HPPMS技术,即在一个脉冲周期内具有两个连续的、独立可调的脉冲阶段。通过对双级HPPMS电场的合理调配,可制备得到结构致密的TiN镀层,研究了双级HPPM... 为了解决传统高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)平均沉积速率低的问题,研究提出一种新型的双级HPPMS技术,即在一个脉冲周期内具有两个连续的、独立可调的脉冲阶段。通过对双级HPPMS电场的合理调配,可制备得到结构致密的TiN镀层,研究了双级HPPMS靶电流对TiN镀层微观结构及耐蚀性的影响。结果表明,当靶电流增大至20 A时,靶面形貌由小凹坑转变为大面积凹坑,说明镀料粒子的脱靶方式由碰撞溅射转变为升华或蒸发。同时,当靶电流为10 A时,镀层颗粒呈现三棱锥状结构,平均晶粒尺寸为11 nm;当靶电流增大至25 A时,镀层颗粒呈现光滑致密的圆胞状结构,平均晶粒尺寸为18 nm,光滑致密的组织结构使镀层具有较好的耐蚀性。 展开更多
关键词 双级HPPMS 靶电流 沉积速率
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CrAlN抗冲蚀涂层制备及性能研究 被引量:3
19
作者 刘灵云 林松盛 +4 位作者 王迪 李风 代明江 石倩 韦春贝 《真空》 CAS 2020年第2期40-46,共7页
为提高钛合金材料抗冲蚀性能,利用真空阴极电弧沉积技术在TC11钛合金上沉积CrAlN涂层,研究靶电流、偏压和气压对涂层结构及性能的影响。采用扫描电镜观察膜层表面和截面形貌,金相显微镜对表面的大颗粒进行定量分析;显微硬度计测量膜层... 为提高钛合金材料抗冲蚀性能,利用真空阴极电弧沉积技术在TC11钛合金上沉积CrAlN涂层,研究靶电流、偏压和气压对涂层结构及性能的影响。采用扫描电镜观察膜层表面和截面形貌,金相显微镜对表面的大颗粒进行定量分析;显微硬度计测量膜层的维氏显微硬度;采用喷砂试验机对涂层的抗冲蚀性能进行测试,通过三维表面轮廓仪测量涂层厚度和侵蚀坑的深度;X射线衍射仪表征涂层中的晶体结构。结果表明:靶电流从70A增大到110A,虽可提高涂层的沉积速率,但会导致涂层表面大颗粒增加,从而降低涂层的抗冲蚀性能;气压从1Pa增大至4Pa,可有效地减少涂层表面颗粒的尺寸及数量,但也会一定程度降低沉积速率及硬度;偏压对CrAlN涂层的结构及性能影响最大,偏压在-50V时涂层呈(200)择优取向,-100V涂层呈(111)择优取向,-200V时,涂层择优取向不明显;且随着偏压的增加,涂层的硬度及抗冲蚀性能增大,在高冲蚀角下,冲蚀的失效机理为脆性失效。结论:工艺参数中靶电流对表面质量的影响最大;涂层的生长取向与偏压密切相关;CrAlN涂层的表面质量及硬度直接影响其抗砂粒冲蚀性能,偏压对涂层抗冲蚀性能影响最大。最终优化的工艺参数为:靶电流90A、偏压-100V、气压4Pa。 展开更多
关键词 钛合金 CrAlN涂层 抗冲蚀 靶电流 偏压 气压
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小型电子感应加速器电子枪灯丝电源研制 被引量:1
20
作者 刘琦 王海涛 +1 位作者 陈海生 王仁波 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第11期37-43,共7页
根据小型电子感应加速器的工作特点,设计了由灯丝占空比调节电路和注入电流反馈电路组成的灯丝电源。通过数字信号处理器(Digital Signal Processor,DSP)输出两路脉冲宽度调制(Pulse-Width Modulation,PWM)信号驱动半桥电路,半桥电路输... 根据小型电子感应加速器的工作特点,设计了由灯丝占空比调节电路和注入电流反馈电路组成的灯丝电源。通过数字信号处理器(Digital Signal Processor,DSP)输出两路脉冲宽度调制(Pulse-Width Modulation,PWM)信号驱动半桥电路,半桥电路输出正负交替电压脉冲至隔离变压器初级,变压器次级电压加载在灯丝上,供灯丝加热。通过收集加速管管壁电流和靶电流作为注入电流反馈信号,DSP根据反馈信号调节灯丝电压脉冲占空比,实现灯丝发射电流的调整,使灯丝注入到加速管内的电流处在最佳值。实验测试结果表明:灯丝电源可以使加速器输出剂量率保持在最佳状态,输出剂量率稳定度优于11.3%/10 min,灯丝电源满足小型电子感应加速器的需求。 展开更多
关键词 电子感应加速器 灯丝电源 半桥电路 管壁电流 靶电流
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