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题名石英基声表面波谐振器的设计与制作
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作者
王春梅
温志渝
张祖伟
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机构
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
重庆大学国家新型微纳器件与系统技术重点学科实验室
重庆大学微系统研究中心
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第6期380-385,共6页
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文摘
针对石英基声表面波双端谐振器,进行理论分析、结构设计和加工制作,最后完成谐振器样机性能测试分析。利用耦合模(COM)理论模拟谐振器的性能,建立叉指换能器(IDT)的COM方程,利用FEMSDA软件得到石英基片中声表面波的色散曲线,提取出COM参数。利用COM软件仿真谐振器的结构参数对其性能的影响,确定谐振器的结构参数。利用传统光刻和腐蚀工艺制作出声表面波谐振器样机,最后用矢量网络分析仪对制作的声表面波谐振器性能进行测试,得到谐振器中心频率为78.34 MHz,插入损耗为-11.273 dB,Q值为6 465.7,该谐振器能够满足实际的应用需求。
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关键词
声表面波谐振器(sawr)
耦合模(COM)
石英
COM仿真
结构参数
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Keywords
surface acoustic wave resonator（sawr）
coupling-of-model（COM）
quartz
COM simulation
structure parameter
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分类号
TH703
[机械工程—仪器科学与技术]
TN62
[机械工程—精密仪器及机械]
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