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应用纳米级金刚石抛光亚纳米级光滑表面 被引量:16
1
作者 高宏刚 王建明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第5期80-84,共5页
用爆炸法合成的纳米级金刚石是一种新型纳米材料,其物理机械特性与普通亚微米级金刚石微粉有很大差别。我们使用这种材料配制的抛光液对YVO4 晶体进行了超精密抛光的初步实验,获得了具有较低表面粗糙度(< 1 nm )的表面,发... 用爆炸法合成的纳米级金刚石是一种新型纳米材料,其物理机械特性与普通亚微米级金刚石微粉有很大差别。我们使用这种材料配制的抛光液对YVO4 晶体进行了超精密抛光的初步实验,获得了具有较低表面粗糙度(< 1 nm )的表面,发现了纳米金刚石作为抛光材料的独特之处。本文描述了实验结果,分析了抛光表面,并总结了纳米金刚石粉的抛光特性。 展开更多
关键词 抛光 金刚石 纳米材料 光滑表面
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Manufacturing technologies toward extreme precision 被引量:16
2
作者 Zhiyu Zhang Jiwang Yan Tsunemoto Kuriyagawa 《International Journal of Extreme Manufacturing》 2019年第2期11-32,共19页
Precision is one of the most important aspects of manufacturing.High precision creates high quality,high performance,exchangeability,reliability,and added value for industrial products.Over the past decades,remarkable... Precision is one of the most important aspects of manufacturing.High precision creates high quality,high performance,exchangeability,reliability,and added value for industrial products.Over the past decades,remarkable advances have been achieved in the area of high-precision manufacturing technologies,where the form accuracy approaches the nanometer level and surface roughness the atomic level.These extremely high precision manufacturing technologies enable the development of high-performance optical elements,semiconductor substrates,biomedical parts,and so on,thereby enhancing the ability of human beings to explore the macroand microscopic mysteries and potentialities of the natural world.In this paper,state-of-the-art high-precision material removal manufacturing technologies,especially ultraprecision cutting,grinding,deterministic form correction polishing,and supersmooth polishing,are reviewed and compared with insights into their principles,methodologies,and applications.The key issues in extreme precision manufacturing that should be considered for future R&D are discussed. 展开更多
关键词 ultraprecision cutting GRINDING POLISHING supersmooth surface ultraprecision measurement extreme precision
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一种检测超光滑表面粗糙度方法的初步研究 被引量:3
3
作者 项阳 郭玉彬 +1 位作者 陈波 李福田 《光散射学报》 1996年第3期168-173,共6页
本文依据软X射线标量散射理论,给出了一种用软X射线全积分散射检测超光滑表面粗糙度RMS值的方法,并设计和建立了测试装置。
关键词 软X射线 超光滑表面 粗糙度测量
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Supersmooth density estimations over L^p risk by wavelets
4
作者 LI Rui LIU YouMing 《Science China Mathematics》 SCIE CSCD 2017年第10期1901-1922,共22页
This paper studies wavelet estimations for supersmooth density functions with additive noises. We first show lower bounds of Lprisk(1 p < ∞) with both moderately and severely ill-posed noises. Then a Shannon wavel... This paper studies wavelet estimations for supersmooth density functions with additive noises. We first show lower bounds of Lprisk(1 p < ∞) with both moderately and severely ill-posed noises. Then a Shannon wavelet estimator provides optimal or nearly-optimal estimations over Lprisks for p 2, and a nearly-optimal result for 1 < p < 2 under both noises. In the nearly-optimal cases, the ratios of upper and lower bounds are determined. When p = 1, we give a nearly-optimal estimation with moderately ill-posed noise by using the Meyer wavelet. Finally, the practical estimators are considered. Our results are motivated by the work of Pensky and Vidakovic(1999), Butucea and Tsybakov(2008), Comte et al.(2006), Lacour(2006) and Lounici and Nickl(2011). 展开更多
关键词 wavelet estimation supersmooth density additive noise OPTIMALITY
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Ion Beam Polishing for K9 Glass
5
作者 SU Zhiwei CHEN Qingchuan 《Southwestern Institute of Physics Annual Report》 2005年第1期147-149,共3页
K9 glass is a common material of optics and micro system, with cheaper price and better processing function. With the development of the optical and micro system, the technique of manufacturing micron/nanometer dimens... K9 glass is a common material of optics and micro system, with cheaper price and better processing function. With the development of the optical and micro system, the technique of manufacturing micron/nanometer dimensions microstructure and micro device on K9 glass has used in photoelectron, microwave and diffraction optics device et al The coarse surface of optics and microwave device can cause the light scattering and signal losing, and the function of device reduced. So the supersmooth surface plays an important role in optic and microwave device. 展开更多
关键词 K9 Glass Ion beam polishing AFM supersmooth surfaces
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非参数回归模型下长程依赖线性过程
6
作者 张云霞 宋向东 +2 位作者 姚丽丽 刘燕 赵梦琳 《数学的实践与认识》 CSCD 北大核心 2011年第19期229-233,共5页
考虑数据相互依赖时的非参数回归模型,在作出一定假设的条件下,给出超级光滑情形时长程依赖线性过程中的重要结论,并给予相应的证明.
关键词 超级光滑 线性过程 长程依赖
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超光滑光学表面加工技术 被引量:29
7
作者 高宏刚 陈斌 曹健林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1995年第4期7-14,共8页
现代科学技术的发展,在许多领域中提出了加工超光滑表面的要求。这种表面不仅要具备较高的面形精度和极低的表面粗糙度,同时要具有完整的表面晶格排布,消除加工损伤层。近年来国际出现了不少成功的超光滑表面加工技术,可以实现表面... 现代科学技术的发展,在许多领域中提出了加工超光滑表面的要求。这种表面不仅要具备较高的面形精度和极低的表面粗糙度,同时要具有完整的表面晶格排布,消除加工损伤层。近年来国际出现了不少成功的超光滑表面加工技术,可以实现表面粗糙度小于1nm,面形精度优于30nm。本文介绍了超光滑表面的主要应用领域;从去除机理的角度讨论了BFP抛光、Teflon抛光、离子束加工、PACE加工、浮法抛光、延展性磨削等六种有代表性的超光滑表面加工技术;并对国内情况作了简单分析。 展开更多
关键词 超光滑表面 超精密加工 抛光
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晶体的超精密抛光 被引量:17
8
作者 谢会东 王晓青 沈光球 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期1035-1040,共6页
超光滑表面在现代科学技术中具有重要意义。超精密抛光技术是实现超光滑表面的主要方法。本文对超光滑表面的概念、影响超精密抛光质量的因素、几种超精密抛光方法及其所能达到的抛光效果、抛光效果的测量与评价方法等进行了介绍。同时... 超光滑表面在现代科学技术中具有重要意义。超精密抛光技术是实现超光滑表面的主要方法。本文对超光滑表面的概念、影响超精密抛光质量的因素、几种超精密抛光方法及其所能达到的抛光效果、抛光效果的测量与评价方法等进行了介绍。同时描述了超精密抛光的发展阶段。 展开更多
关键词 超精密抛光 抛光效果 超光滑表面 描述 发展阶段 技术 发展趋势 评价方法 现状 质量
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光学材料无磨料低温抛光的试验研究 被引量:17
9
作者 刘向阳 王立江 +2 位作者 高春甫 吴校生 刘巍娜 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期47-50,共4页
将无磨料抛光与低温抛光结合起来,首次提出一种可获得原子级超光滑表面的新方法——无磨料低温抛光。这种新工艺可使光学材料获得Ra<1nm的原子级超光滑表面,通过大量的试验,系统研究了抛光盘水质、抛光前修盘时间、抛光压力和偏心等... 将无磨料抛光与低温抛光结合起来,首次提出一种可获得原子级超光滑表面的新方法——无磨料低温抛光。这种新工艺可使光学材料获得Ra<1nm的原子级超光滑表面,通过大量的试验,系统研究了抛光盘水质、抛光前修盘时间、抛光压力和偏心等对已加工表面粗糙度的影响规律。结果表明,这种抛光工艺能获得原子级的超光滑表面。 展开更多
关键词 试验研究 光学材料 低温抛光 超光滑表面 无磨料抛光
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浮法抛光亚纳米级光滑表面 被引量:13
10
作者 高宏刚 曹健林 陈星旦 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第6期824-825,共2页
本文是对现阶段进行的超光滑表面浮光抛光研究的简要总结,介绍了浮法抛光原理样机的基本结构,以及实现亚纳米浮法抛光的主要条件,并给出了亚纳米级光滑表面的检测结果。
关键词 超光滑表面 亚纳米 浮法抛光 表面处理
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浮法抛光原理装置及初步实验 被引量:8
11
作者 高宏刚 曹健林 +4 位作者 陈斌 马月英 张俊平 王占山 陈星旦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1995年第1期57-60,共4页
浮法抛光是当前超光滑表面高效加工技术之一。本文介绍了浮法抛光原理装置及初步实验结果。利用这项技术对30的K9玻璃样片进行实验,经过2~4小时的抛光后,表面粗糙度值优于1nmRa。
关键词 浮法抛法 超光滑表面 超精加工 光学元件
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原子力显微镜测试光学超光滑表面微轮廓的研究 被引量:7
12
作者 李剑白 李达成 +2 位作者 李小芸 殷爱菡 赵安庆 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期1533-1537,共5页
论述了使用原子力显微镜测量超光滑光学表面的优点及其在光学领域中的重要应用 ,列举了用这种方法测试得到的超光滑光学表面微轮廓图及纳米量级的微缺陷 ,以及这些表面镀膜前后表面形态结构和微粗糙度的变化。作为比较 ,列举了用干涉轮... 论述了使用原子力显微镜测量超光滑光学表面的优点及其在光学领域中的重要应用 ,列举了用这种方法测试得到的超光滑光学表面微轮廓图及纳米量级的微缺陷 ,以及这些表面镀膜前后表面形态结构和微粗糙度的变化。作为比较 ,列举了用干涉轮廓仪测得相同表面的微粗糙度参数等。由于原子力显微镜有三维的高精度 ,而干涉方法只有一维的高精度 。 展开更多
关键词 微轮廓 超光滑光学表面 原子力显微镜 光学测试
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亚纳米量级光滑表面的超精密抛光 被引量:9
13
作者 高宏刚 陈斌 +1 位作者 张俊平 曹健林 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期75-79,共5页
软X射线光学的发展,对光学元件表面提出超光滑要求,为此我们开展了使用锡磨盘的超精密抛光方法研究。本文介绍锡磨盘磨削的实验装置及主要结果。利用这种方法已加工出表面粗糙度优于0.
关键词 超光滑表面 超精密抛光 亚纳米量级
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纳米颗粒胶体动压空化射流抛光技术初探(英文) 被引量:10
14
作者 王星 张勇 +2 位作者 张飞虎 张玲花 周明 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2011年第6期483-487,共5页
为了高效加工优质的超光滑表面,提出了一种超光滑表面加工的新方法:纳米颗粒胶体动压空化射流抛光(HCJP).此法利用纳米颗粒与工件表面之间的界面化学反应实现工件表面的原子级去除,并且利用空化射流中的水力空化现象强化加工过程中的机... 为了高效加工优质的超光滑表面,提出了一种超光滑表面加工的新方法:纳米颗粒胶体动压空化射流抛光(HCJP).此法利用纳米颗粒与工件表面之间的界面化学反应实现工件表面的原子级去除,并且利用空化射流中的水力空化现象强化加工过程中的机械与化学作用以提高加工效率.设计了HCJP原型装置,并在此基础上对HCJP技术进行了初步实验.结果表明,较低的系统压力有利于得到优质的表面,使用该方法能在K9玻璃上得到粗糙度值在1 nm左右的超光滑表面,证明此技术可以广泛应用于超光滑表面的加工. 展开更多
关键词 动压空化射流抛光 纳米颗粒胶体 超光滑表面
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经桡动脉途径普通J型导丝与超滑导丝的临床应用 被引量:6
15
作者 王艳飞 刘海波 +2 位作者 赵文萍 尹博英 潘焕军 《中国循证心血管医学杂志》 2012年第5期422-424,共3页
目的观察经桡动脉途径进行冠状动脉造影时,普通J型导丝与亲水涂层超滑导丝的临床效果。方法将120例行冠状动脉造影检查的患者随机平均分入超滑组(n=60)与普通组(n=60),超滑组患者使用亲水涂层超滑导丝,普通组患者使用普通J型导丝,对两... 目的观察经桡动脉途径进行冠状动脉造影时,普通J型导丝与亲水涂层超滑导丝的临床效果。方法将120例行冠状动脉造影检查的患者随机平均分入超滑组(n=60)与普通组(n=60),超滑组患者使用亲水涂层超滑导丝,普通组患者使用普通J型导丝,对两组患者不适感觉、术者操作手感、导丝通过时间、导丝失败例数、并发症出现例数进行比较分析。结果①普通组与超滑组比较,患者均无明显不适感,超滑组有5例患者出现轻度不适,但两组差异无统计学意义(P>0.05);②术者对普通组52名患者进行操作时感到轻度阻力,超滑组仅4例感到有轻度阻力,两组差异有统计学意义(P<0.01);③普通组导丝通过时间短于超滑组,差异无统计学意义(P>0.05);④超滑组导丝通过失败0例,普通组导丝通过失败2例;⑤并发症:超滑组发生桡动脉痉挛2例,前壁张力性血肿2例;普通组发生桡动脉痉挛2例,差异无统计学意义(P>0.05)。结论经桡动脉途径进行冠状动脉造影时,使用普通J型导丝简便易行,与超滑导丝的临床效相当且性价比较高,患者更易接受。 展开更多
关键词 普通J型导丝 超滑导丝 桡动脉 冠状动脉造影
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基于HHT的微晶玻璃超光滑表面抛光 被引量:4
16
作者 杨志甫 杨辉 +2 位作者 李成贵 刘祎 房建国 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期35-41,共7页
针对激光陀螺反射镜常用材料微晶玻璃的加工技术,介绍了一种较为成熟的超光滑表面加工方法—定偏心浸液式抛光。分析了微晶玻璃的性能和微观结构,得出实现其超光滑表面加工所必须的技术条件。系统论述了提出的超光滑表面抛光方法的基本... 针对激光陀螺反射镜常用材料微晶玻璃的加工技术,介绍了一种较为成熟的超光滑表面加工方法—定偏心浸液式抛光。分析了微晶玻璃的性能和微观结构,得出实现其超光滑表面加工所必须的技术条件。系统论述了提出的超光滑表面抛光方法的基本原理及其抛光工艺过程。通过多次工艺实验,稳定地获得了埃量级的超光滑表面。最后,采用Hil-bert-Huang变换(HHT)非线性平稳信号的时域分析法,通过超光滑表面粗糙度分布曲线到Hilbert谱的一系列数学变换,得出主要抛光工艺参数与表面粗糙度之间的影响关系,对实际加工工艺过程与抛光结果进行有效反馈和指导。基于HHT的超光滑表面抛光方法可以稳定地获得Ra优于0.35 nm的微晶玻璃超光滑表面,目前最好结果为Ra=0.3 nm。 展开更多
关键词 微晶玻璃 超光滑表面 粗糙度 定偏心浸液式抛光 HILBERT Huang变换(HHT)
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超滑涂层气管导管用于经鼻气管插管的临床效果 被引量:1
17
作者 江建峰 孙焱芫 +2 位作者 闫云飞 李婷婷 旷昕 《国际医药卫生导报》 2024年第4期614-618,共5页
目的比较超滑涂层气管导管、普通加强导管在可视喉镜引导下经鼻气管插管的难易程度与并发症。方法本研究为随机对照试验,前瞻性选择深圳大学总医院2023年6月至2023年8月拟行经鼻气管插管全身麻醉下择期手术的患者120例,包括口腔科、脊... 目的比较超滑涂层气管导管、普通加强导管在可视喉镜引导下经鼻气管插管的难易程度与并发症。方法本研究为随机对照试验,前瞻性选择深圳大学总医院2023年6月至2023年8月拟行经鼻气管插管全身麻醉下择期手术的患者120例,包括口腔科、脊柱骨科等手术患者。美国麻醉医师协会(ASA)分级Ⅰ~Ⅲ级,年龄18~65岁,性别不限。患者采用随机数字表法分为两组:超滑涂层气管导管组(C组)和普通加强气管导管组(P组),每组60例。记录导管经过鼻腔的时间、插管时导管尖端染血评分(B_(1))、套囊染血评分(B_(2))及损伤总分(B=B_(1)+B_(2)),同时记录插管前(t_(1))、导管过鼻后腔(t_(2))及过声门后1 min(t3)的平均动脉压(MAP)、心率(HR)及脉搏血氧饱和度(SpO_(2))。采用t检验、重复测量的方差分析和χ^(2)检验。结果在经鼻气管插管过程中,C组导管经过鼻腔的时间[(8.43±4.85)s]比P组[(17.00±8.91)s]更短,差异有统计学意义(P<0.05);C组导管尖端染血发生率[9.4%(5/53)]较P组[27.6%(16/58)]更低,差异有统计学意义(P<0.05);P组患者3个时间点的HR比较,差异均有统计学意义(均P<0.05)。结论超滑涂层气管导管在经鼻插管时能缩短导管经鼻时间,减轻导管尖端对鼻腔损伤,同时有利于患者血流动力学平稳,是一种安全有效的经鼻气管插管工具。 展开更多
关键词 经鼻气管插管 超滑涂层气管导管 普通加强导管 临床效果
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控制力精密抛光装置的设计与实验研究 被引量:1
18
作者 史兴宽 杨健 任敬心 《光学技术》 CAS CSCD 1999年第4期68-69,共2页
本文设计并研制了一套可控制抛光作用力的精密抛光装置,该装置具有抛光作用力微调功能及显示功能。用该装置对Zerodur陶瓷玻璃进行控制力抛光实验,稳定地获得了具有纳米级及亚纳米级表面粗糙度的超光滑表面,将该装置与机械化... 本文设计并研制了一套可控制抛光作用力的精密抛光装置,该装置具有抛光作用力微调功能及显示功能。用该装置对Zerodur陶瓷玻璃进行控制力抛光实验,稳定地获得了具有纳米级及亚纳米级表面粗糙度的超光滑表面,将该装置与机械化学抛光方法结合使用,可高效地加工出表面无损伤的超光滑基片。 展开更多
关键词 控制力抛光 抛光装置 超光滑表面 设计 光学表面
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超光滑光学基底表面原子力显微镜测试方法 被引量:4
19
作者 靳京城 金春水 +1 位作者 邓文渊 喻波 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期235-240,共6页
原子力显微镜(AFM)是评价亚纳米级表面粗糙度σRMS最主要的测试仪器,但其测试结果会因采样条件(采样间距、采样点数)及测量点位置变化而改变。以AFM测试超光滑光学基底随机表面为例,应用累积功率谱理论建立了确定合理采样条件的方法,避... 原子力显微镜(AFM)是评价亚纳米级表面粗糙度σRMS最主要的测试仪器,但其测试结果会因采样条件(采样间距、采样点数)及测量点位置变化而改变。以AFM测试超光滑光学基底随机表面为例,应用累积功率谱理论建立了确定合理采样条件的方法,避免了采样条件选取不当带来的数据丢失或冗余;通过全局优化选取测量点和局部优化选取测量点相结合,降低了样品表面区域性差异给测试结果带来的不确定性,并大大减少了获得可靠测试结果所需的测试量。上述工作为超光滑光学基底AFM测试提供了有效方案。 展开更多
关键词 测量 原子力显微镜 超光滑基底 均方根粗糙度 采样条件 选点方案
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超光滑基底表面污染微粒的激光清洗技术 被引量:4
20
作者 史兴宽 徐传义 王健 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第10期1138-1141,共4页
随着超光滑表面质量的不断提高 ,表面清洗已成为超光滑基片制造过程中的一项重要工序 ,并且成为影响产品合格率的关键因素。着重介绍激光清洗的特点及超光滑表面激光辅助清洗表面微细污染微粒的机理 ,并通过实验性验证 。
关键词 超光滑表面 激光清洗 污染微粒 微电子工业
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