利用磷肥企业副产氟硅酸制备无水氟化氢的技术 被引量：15

1

作者 陈文兴 田娟 周昌平 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期92-94,共3页

通过比较国内外氟硅酸制备无水氟化氢的各种技术,提出将氟硅酸先氨解氟硅分离成氟化铵溶液和二氧化硅,然后将氟化铵溶液转化为易于浓缩结晶的氟硅酸铵,将氟硅酸铵固体和浓硫酸反应生产氟化氢和四氟化硅,酸解混合气体经冷却制备无水氟化... 通过比较国内外氟硅酸制备无水氟化氢的各种技术,提出将氟硅酸先氨解氟硅分离成氟化铵溶液和二氧化硅,然后将氟化铵溶液转化为易于浓缩结晶的氟硅酸铵,将氟硅酸铵固体和浓硫酸反应生产氟化氢和四氟化硅,酸解混合气体经冷却制备无水氟化氢,四氟化硅返回系统循环使用。 展开更多

关键词 磷矿中氟资源 氟硅酸 氟硅酸铵 无水氟化氢 四氟化硅

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四氟化硅的生产概况 被引量：13

2

作者 于剑昆 《无机盐工业》 CAS 北大核心 2006年第1期1-4,共4页

四氟化硅(S iF4)是电子工业中的一种重要原料,它还能用作光导纤维、太阳能电池和水泥硬化剂等的原料。详细介绍了S iF4的物理、化学性质及危险特性。S iF4的工业生产方法主要有硫酸法、六氟硅酸盐热解法和S i-HF直接合成法3种。电子工业... 四氟化硅(S iF4)是电子工业中的一种重要原料,它还能用作光导纤维、太阳能电池和水泥硬化剂等的原料。详细介绍了S iF4的物理、化学性质及危险特性。S iF4的工业生产方法主要有硫酸法、六氟硅酸盐热解法和S i-HF直接合成法3种。电子工业用S iF4需要有较高的纯度,重点介绍了S iF4的精制工艺,同时还介绍了S iF4经济概况。 展开更多

关键词 四氟化硅 氟硅酸 硅酸盐

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四氟化硅的工艺研发及进展状况 被引量：8

3

作者 韩建军 李霞 王建萍 《无机盐工业》 CAS 北大核心 2013年第1期4-7,共4页

四氟化硅是电子工业中的一种重要原料,随着多晶硅等行业迅猛发展需求量逐渐增大。详细介绍了四氟化硅的应用及市场情况,并对氟气合成法、氟硅酸盐热解法、硫酸法、氢氟酸直接反应法这4种主要生产方法进行详细论述,讨论了各工艺方法的生... 四氟化硅是电子工业中的一种重要原料,随着多晶硅等行业迅猛发展需求量逐渐增大。详细介绍了四氟化硅的应用及市场情况,并对氟气合成法、氟硅酸盐热解法、硫酸法、氢氟酸直接反应法这4种主要生产方法进行详细论述,讨论了各工艺方法的生产原理、工艺简述、研究状况并对工艺的优缺点进行了评价。就目前市场形势分析,国内四氟化硅需开发高端产品,以适应市场需求和参与国际竞争。 展开更多

关键词 四氟化硅 氟硅酸 氢氟酸 氟气

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气相色谱法测定高纯四氟化锗中的四氟化硅 被引量：2

4

作者 柴皓茗 普世坤 +2 位作者 张红潇 邵雨萌 熊浩 《中国无机分析化学》 CAS 北大核心 2023年第8期888-893,共6页

高纯四氟化锗生产制备过程中,需要对四氟化锗中的气体杂质进行测定。针对高纯四氟化锗中混入的四氟化硅气体,建立了一套双柱并联—主组份反吹—气相色谱法测定高纯四氟化锗中四氟化硅的方法。通过1 mL定量环完成气体样品的定量进样,由... 高纯四氟化锗生产制备过程中,需要对四氟化锗中的气体杂质进行测定。针对高纯四氟化锗中混入的四氟化硅气体,建立了一套双柱并联—主组份反吹—气相色谱法测定高纯四氟化锗中四氟化硅的方法。通过1 mL定量环完成气体样品的定量进样,由一个十通阀和一个四通阀组成阀系统,采用气相色谱填充柱和HP-5ms超高惰性气相色谱柱分离四氟化锗中的四氟化硅,使用经过Valco HP2型氦气纯化器的氦气为载气和参比气,采用带TCD热导检测器的气相色谱仪,通过考察Valco HP2型氦气纯化器老化时间、柱箱温度、载气压力和切阀时间对四氟化硅标准气出峰情况的影响,确定了气相色谱法测定四氟化锗中四氟化硅的工作条件,Valco HP2型氦气纯化器老化时间为2 h,柱箱温度为恒温55℃,载气压力为0.6 MPa,参比气参比流量为30 mL/min,尾吹气5 mL/min,切阀时间为3.400 min。经过精密度实验、加标回收实验和实样测定实验验证,重现性良好,相对标准偏差RSD均小于1%,加标回收率在99.4%~100%,实样混合测定结果满足线性相加关系。方法精密度好、准确度高,四氟化锗中的四氟化硅能很好地分离,能够满足高纯四氟化锗生产中四氟化硅成分测定需求,可应用于实际测定工作中。 展开更多

关键词 四氟化硅 四氟化锗 载气压力 柱箱温度 切阀时间 气相色谱

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四氟化硅的制备与纯化 被引量：5

5

作者 黄华璠 张浩 +3 位作者 岳立平 徐海云 李丹丹 罗文建 《当代化工》 CAS 2019年第4期808-811,共4页

四氟化硅是一种重要的特种气体,应用前景广阔。详细介绍了四氟化硅的性质、应用、制备方法及纯化方法,指出了每种制备方法及纯化方法的优缺点,并指明了后续的研究方向。

关键词 四氟化硅 制备 纯化

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氟硅酸盐制取四氟化硅的研究进展 被引量：5

6

作者 蔡苗 唐安江 +2 位作者 王乐深 何元琴 何磊 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期859-863,共5页

SiF_4多被应用于电子行业和半导体行业,氟硅酸盐制备SiF_4是制备方法中的一种。本文介绍了氟硅酸盐的性质,制备方法,以及氟硅酸盐制备SiF_4的方法,并对部分氟硅酸盐制备SiF_4的条件及产物进行了对比。

关键词 四氟化硅 氟硅酸盐 分解 工艺

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四氟化硅的制备与提纯 被引量：5

7

作者 陈学航 李焱 +4 位作者 张建刚 高文龙 曹旭 陈烨 刘振东 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1891-1895,共5页

四氟化硅(SiF4)是电子和半导体行业中的一种重要原料,在光伏产业中占重要地位。详细介绍了四氟化硅的主要制备方法:硫酸法、Si-F2直接合成法、氟硅酸盐热解法和氢氟酸法,并对四氟化硅提纯工艺进行了比较。

关键词 四氟化硅 氟硅酸盐法 提纯

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四氯化硅和四氟化硅的研究比较 被引量：4

8

作者 张妙鹤 唐安江 +2 位作者 汤正河 宗原 窦仕川 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期34-38,共5页

SiCl4主要是作为改良西门子法生产多晶硅的副产物得到,SiF4主要是作为磷肥工业的副产物氟硅酸分解得到,但是二者纯度都不能满足生产多晶硅的要求,需进行分离纯化得到高纯物质。本文针对SiCl4和SiF4的物化性质、合成工艺、精制方法、应... SiCl4主要是作为改良西门子法生产多晶硅的副产物得到,SiF4主要是作为磷肥工业的副产物氟硅酸分解得到,但是二者纯度都不能满足生产多晶硅的要求,需进行分离纯化得到高纯物质。本文针对SiCl4和SiF4的物化性质、合成工艺、精制方法、应用前景等方面做了探讨和比较,指出SiF4比SiCl4更具应用前景。 展开更多

关键词 四氯化硅 四氟化硅 物化性质 合成工艺 精制工艺

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膜法对模拟含氟水蒸气的脱湿研究

9

作者 欧健 李天祥 +3 位作者 刘松林 隋岩峰 史连军 朱静 《化学工业与工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期96-103,共8页

为解决目前磷肥厂以氟硅酸(15%)生产无水氟化氢(AHF)存在消耗大量的浓硫酸等问题,本研究通过加热分解一定浓度的氟硅酸溶液获得一定浓度的模拟含氟水蒸气,并采用聚砜中空纤维膜组件对此进行脱湿研究,可将高浓度含氟气送入AHF生产装置中... 为解决目前磷肥厂以氟硅酸(15%)生产无水氟化氢(AHF)存在消耗大量的浓硫酸等问题,本研究通过加热分解一定浓度的氟硅酸溶液获得一定浓度的模拟含氟水蒸气,并采用聚砜中空纤维膜组件对此进行脱湿研究,可将高浓度含氟气送入AHF生产装置中。研究发现当膜压差为0.022 MPa、原料气氟含量为4.47%、分离时间为0.47 h时分离效果较好:水蒸气、HF、SiF_(4)渗透率分别为92.31%、24%、13.62%;分离系数α_(H_(2)O/HF)、α_(H_(2)O/SiF_(4))、α_(HF/SiF_(4))分别为3.85、6.78、1.76。结果表明聚砜中空纤维膜在一定程度上可对含氟水蒸气脱湿浓缩,水蒸气渗透率>HF渗透率>SiF4渗透率,且该聚砜膜对SiF4具有相对稳定的分离性能,对非极性气体(SiF4)的分离效果较好。 展开更多

关键词 湿法磷酸工艺 氟化氢 四氟化硅 膜法脱湿技术

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氟硅酸钠热解制备四氟化硅气体影响因素研究 被引量：3

10

作者 于贺华 《无机盐工业》 CAS 北大核心 2013年第4期46-48,共3页

磷肥副产物氟硅酸钠热解可制备四氟化硅气体,该方法无废弃物产生,生产成本较低,具有广阔的发展前景。对影响氟硅酸钠热解的各种因素进行了一系列静态实验研究,实验发现,氟硅酸钠热解的最佳反应温度应保持在中温区(500～700℃),反应压力... 磷肥副产物氟硅酸钠热解可制备四氟化硅气体,该方法无废弃物产生,生产成本较低,具有广阔的发展前景。对影响氟硅酸钠热解的各种因素进行了一系列静态实验研究,实验发现,氟硅酸钠热解的最佳反应温度应保持在中温区(500～700℃),反应压力维持在常压或微负压状态。利用该法生产四氟化硅气体具有气体纯度高和无副产物产生的特点。 展开更多

关键词 氟硅酸钠 四氟化硅 热解 静态实验

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磷肥副产氟硅酸制备四氟化硅工艺研究 被引量：3

11

作者 王建萍 《河南化工》 CAS 2016年第9期34-36,共3页

基于国家循环经济发展要求,以及大力开发低品位资源的高效循环利用,重点研究了磷肥行业副产氟硅酸和含氟药物副产钾化合物制备高附加值四氟化硅并联产无水氟化钾的工艺方法。包括实验过程剖析、产品质量和生产成本对比等。完成了副产低... 基于国家循环经济发展要求,以及大力开发低品位资源的高效循环利用,重点研究了磷肥行业副产氟硅酸和含氟药物副产钾化合物制备高附加值四氟化硅并联产无水氟化钾的工艺方法。包括实验过程剖析、产品质量和生产成本对比等。完成了副产低品位氟、钾、硅资源的循环高效开发。解决了制约相关行业发展的瓶颈问题,其经济、环保和社会效益显著。 展开更多

关键词 磷肥副产 氟硅酸 钾化合物 四氟化硅

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四氟化硅气体中杂质的检测方法 被引量：3

12

作者 唐安江 韦德举 +1 位作者 高珊珊 关星宇 《无机盐工业》 CAS 北大核心 2010年第12期57-59,共3页

介绍了四氟化硅气体中几类杂质的检测方法,主要包括气相色谱法、傅里叶变换红外光谱法、质谱法和微波波谱法。用气相色谱仪可以检测出四氟化硅中气体中C1-C4碳氢化合物;用高分辨率傅里叶变换红外光谱仪可以检测出SiF3OH,HF,SiF3H,SiF2H2... 介绍了四氟化硅气体中几类杂质的检测方法,主要包括气相色谱法、傅里叶变换红外光谱法、质谱法和微波波谱法。用气相色谱仪可以检测出四氟化硅中气体中C1-C4碳氢化合物;用高分辨率傅里叶变换红外光谱仪可以检测出SiF3OH,HF,SiF3H,SiF2H2,SiH3F,CO2,CO等气体杂质;用微波波谱仪可以检测出四氟化硅中CHF3,CH2F2,CH3F等气体杂质;用质谱仪可以检测出四氟化硅中SiF3H,SiF2H2,SiF3OSiF3等气体杂质。通过对比得出每种检测方法的优点和缺点。 展开更多

关键词 四氟化硅 气相色谱仪 傅里叶红外光谱仪 质谱仪 微波波谱仪

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四氟化硅气体中杂质的检测及净化研究进展 被引量：3

13

作者 张丹辉 唐安江 +1 位作者 韦德举 黄崇 《应用化工》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期486-489,493,共5页

介绍了四氟化硅气体中杂质的4种检测方法:气相色谱法、红外光谱法、气相色谱质谱法、原子发射光谱法。其中,气相色谱法一般用来测定四氟化硅气体中的烃类杂质,红外光谱法主要用来测定四氟化硅气体中的氟硅烷、氟氧硅烷、氟硅醇杂质。气... 介绍了四氟化硅气体中杂质的4种检测方法:气相色谱法、红外光谱法、气相色谱质谱法、原子发射光谱法。其中,气相色谱法一般用来测定四氟化硅气体中的烃类杂质,红外光谱法主要用来测定四氟化硅气体中的氟硅烷、氟氧硅烷、氟硅醇杂质。气相色谱质谱法用来测定四氟化硅气体中的六氟化硫杂质,原子发射光谱法主要用来测定四氟化硅气体中的金属杂质。然后对四氟化硅气体的不同净化方法进行列举,并对净化工艺的条件、优缺点进行了阐述。 展开更多

关键词 四氟化硅 杂质检测 杂质净化

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萃取磷酸生产中磷氟化合物的性质分析(续完) 被引量：1

14

作者 俞政一 《硫磷设计与粉体工程》 2013年第4期1-1,2-5,共5页

氟硅酸是由以SiF4为核心的过氟氟硅酸nH2F2.SiF4、氟硅酸H2F2.SiF4和氧氟硅酸H2O.SiF4组成,萃取磷酸不是正磷酸H3PO4,而是以氟磷酸——mH2O.nH2F2.(P2O5.kSiF4)形式存在的,HF、SiF4还可与硫酸结合成氟硫酸。分析了在萃取磷酸浓缩过程中... 氟硅酸是由以SiF4为核心的过氟氟硅酸nH2F2.SiF4、氟硅酸H2F2.SiF4和氧氟硅酸H2O.SiF4组成,萃取磷酸不是正磷酸H3PO4,而是以氟磷酸——mH2O.nH2F2.(P2O5.kSiF4)形式存在的,HF、SiF4还可与硫酸结合成氟硫酸。分析了在萃取磷酸浓缩过程中,当磷酸能量浓度CE(H3PO4)>73.13%条件下,SiF4与P2O5的能量系数α(SiF4)与α(P2O5)相接近,因此要从氟磷酸中脱氟非常困难,尤其是从含有Fe2O3、Al2O3、MgO等杂质的萃取磷酸中脱氟更为困难。 展开更多

关键词 萃取磷酸 磷氟化合物 氢氟酸 四氟化硅 氟硅酸 能量系数 能量浓度 脱氟

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四氟化硅生产工艺研究进展 被引量：1

15

作者 王喜恒 孙文哲 张玲 《无机盐工业》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期35-38,72,共5页

四氟化硅作为生产多晶硅及其衍生物的原料,随着电子工业的发展以及硅基产业的扩大,对于四氟化硅的需求量逐渐增加。对四氟化硅生产工艺的研究越来越引起人们的重视。详细介绍了制备四氟化硅的4种方法,含硅源物质与含氟基团物质合成法、... 四氟化硅作为生产多晶硅及其衍生物的原料,随着电子工业的发展以及硅基产业的扩大,对于四氟化硅的需求量逐渐增加。对四氟化硅生产工艺的研究越来越引起人们的重视。详细介绍了制备四氟化硅的4种方法,含硅源物质与含氟基团物质合成法、氟硅酸盐热解法、氟硅酸法、硫酸法,综述了国内外制备四氟化硅的研究进展情况,并评述了各工艺的特点。就目前研究表明,四氟化硅制备工艺需向环保、节能、高收率方向发展。 展开更多

关键词 四氟化硅 氟硅酸 氟硅酸盐 制备工艺

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高纯电子级四氟化硅中恒沸物及金属杂质的去除 被引量：1

16

作者 杜文东 马建修 +2 位作者 张杰 舒冬永 靖宇 《低温与特气》 CAS 2019年第2期1-5,共5页

针对高纯电子级四氟化硅中卤代硅烷恒沸物及金属杂质难以去除的两大难题,采用溶剂萃取精馏法,通过评价5种萃取剂的萃取能力,筛选出一种非极性萃取剂。通过萃取剂的弱氢键作用,使卤代硅烷恒沸物分离至1×10^(-6)以下。同时,利用静电... 针对高纯电子级四氟化硅中卤代硅烷恒沸物及金属杂质难以去除的两大难题,采用溶剂萃取精馏法,通过评价5种萃取剂的萃取能力,筛选出一种非极性萃取剂。通过萃取剂的弱氢键作用,使卤代硅烷恒沸物分离至1×10^(-6)以下。同时,利用静电除尘器和新型离子脱除吸附剂,可以使金属杂质含量脱除至50×10^(-9)以下,同时又能保证四氟化硅不发生分解。基于上述方法,高纯电子级四氟化硅的产业化满足了安全环保、高效生产、质量稳定的要求。 展开更多

关键词 四氟化硅 恒沸物 金属杂质 萃取 吸附

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双氦离子化气相色谱仪分析四氟化硅气体中微量杂质 被引量：1

17

作者 陈学航 张建刚 +2 位作者 高文龙 陈烨 肖超 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第6期1985-1990,共6页

介绍了一种利用双通道氦离子化气相色谱仪(PDHID),分析四氟化硅中微量硅烷、磷烷、氟代烷、C2~C3碳氢化合物以及常见气体杂质的方法。由于四氟化硅具有很强的腐蚀性,在对其进行分析时,利用阀切割系统将大量的四氟化硅主要成分切割,及时... 介绍了一种利用双通道氦离子化气相色谱仪(PDHID),分析四氟化硅中微量硅烷、磷烷、氟代烷、C2~C3碳氢化合物以及常见气体杂质的方法。由于四氟化硅具有很强的腐蚀性,在对其进行分析时,利用阀切割系统将大量的四氟化硅主要成分切割,及时地将四氟化硅反吹出去,使其不进入检测器系统。经过将四氟化硅气体进样检测验证,该方法能够有效测定四氟化硅气体中多种微量杂质。 展开更多

关键词 四氟化硅 氟代烷 C2~C3碳氢化合物 双通道氦离子化气相色谱(PDHID)

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氟硅酸钙热解制备四氟化硅的工艺研究

18

作者 苗延军 《当代化工研究》 2022年第7期153-155,共3页

针对四氟化硅的行业需求,本研究探讨了由磷肥副产物氟硅酸制备的氟硅酸钙热解生成四氟化硅的工艺条件,通过正交实验分析获得了适用于工业生产的氟硅酸钙最优脱水及热解条件,并对制备的粗品四氟化硅、副产品氟化钙与市售产品进行了质量... 针对四氟化硅的行业需求,本研究探讨了由磷肥副产物氟硅酸制备的氟硅酸钙热解生成四氟化硅的工艺条件,通过正交实验分析获得了适用于工业生产的氟硅酸钙最优脱水及热解条件,并对制备的粗品四氟化硅、副产品氟化钙与市售产品进行了质量指标对比,本实验所得的目标产物和副产物均满足行业的质量要求。该工艺具有流程短、能耗低、对环境危害小的特点,不仅为四氟化硅生产提供了新的方法,也拓展了磷肥副产物氟硅酸的综合利用。 展开更多

关键词 氟硅酸钙 四氟化硅 氟化钙 热解 磷肥副产物

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SiF_4气体中(SiF_3)_2O的净化方法 被引量：1

19

作者 韦德举 唐安江 +1 位作者 张妙鹤 马翠翠 《广州化工》 CAS 2014年第15期11-12,共2页

高纯度四氟化硅(SiF4)是电子工业中的一种重要原料,能用于光导纤维、太阳能电池和水泥硬化剂等的原料。详细介绍了SiF4气体中(SiF3)2O的生成原理和(SiF3)2O的净化方法,六氟二甲硅醚的纯化方法有活性炭吸附法,与含氟化氢的浓硫酸,氟气,... 高纯度四氟化硅(SiF4)是电子工业中的一种重要原料,能用于光导纤维、太阳能电池和水泥硬化剂等的原料。详细介绍了SiF4气体中(SiF3)2O的生成原理和(SiF3)2O的净化方法,六氟二甲硅醚的纯化方法有活性炭吸附法,与含氟化氢的浓硫酸,氟气,氟化剂等物质发生反应,其中详细介绍了活性炭对四氟化硅气体中的杂质的净化效果。 展开更多

关键词 四氟化硅 六氟二甲硅醚 纯化

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SPC技术在高纯四氟化硅生产中的应用 被引量：1

20

作者 李丹丹 李翔宇 +2 位作者 郑秋艳 张净普 孙秋丽 《化学工程师》 CAS 2014年第1期15-17,28,共4页

本文以高纯SiF4生产过程中精馏后的HF含量作为质量管理的对象,论述SPC技术在SiF4生产质量控制中的初步应用。

关键词 SPC 四氟化硅 控制图 过程能力指数

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