摘要
高纯度四氟化硅(SiF4)是电子工业中的一种重要原料,能用于光导纤维、太阳能电池和水泥硬化剂等的原料。详细介绍了SiF4气体中(SiF3)2O的生成原理和(SiF3)2O的净化方法,六氟二甲硅醚的纯化方法有活性炭吸附法,与含氟化氢的浓硫酸,氟气,氟化剂等物质发生反应,其中详细介绍了活性炭对四氟化硅气体中的杂质的净化效果。
Silicon tetrafluoride is an important raw material in electronic industry .It can also be used as raw material of optical fiber.solar cell and cement hardener.The generation principle of （ SiF3 ） 2 O from SiF4 gas are detailed described.The purification method of （ SiF3 ） 2 O mainly have activated carbon adsorption method.And with concentrated sulfuric acid containing hydrogen fluoride , fluorine gas and fluorinating agent reaction , The details of the purification effect of activated carbon on the four silicon fluoride impurities in gas.
出处
《广州化工》
CAS
2014年第15期11-12,共2页
GuangZhou Chemical Industry
基金
贵州理工学院科学基金项目(NO:xjzk20130814)
关键词
四氟化硅
六氟二甲硅醚
纯化
silicon tetrafluoride
hexafluorodlslloxane
purification
