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一种适用于小电流母线的电子式电流互感器供电电源 被引量:17
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作者 赵强松 叶永强 +1 位作者 徐国峰 周晓宇 《电力系统自动化》 EI CSCD 北大核心 2015年第19期121-125,共5页
针对电流互感器供电电源存在供电死区、线圈易饱和问题,文中基于能量收集的思想,设计了七级电荷泵电路实现能量收集和转移。采用磁导率较小的硅钢材料作为铁芯且通过开气隙的方法增加铁芯磁路磁阻,使铁芯不易饱和。采用超级电容存储电... 针对电流互感器供电电源存在供电死区、线圈易饱和问题,文中基于能量收集的思想,设计了七级电荷泵电路实现能量收集和转移。采用磁导率较小的硅钢材料作为铁芯且通过开气隙的方法增加铁芯磁路磁阻,使铁芯不易饱和。采用超级电容存储电荷泵转移的电荷,并设计了电源管理模块控制泄能通道和供电通道。最后研制了样机,以低功耗单片机控制的无线测温模块和通用分组无线业务(GPRS)模块为负载进行了测试。实验结果表明电源样机能够在输电线电流为1A时为负载提供足够能量。与二次绕组为1 500匝的电流互感器供电电源相比,所设计的550匝供电电源更适用于输电线电流小的情况。 展开更多
关键词 电流互感器 供电电源 死区 七级电荷泵电路 硅钢 超级电容
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MMA系列加速度传感器的原理及其应用 被引量:6
2
作者 朱弋 王振洲 +3 位作者 杨舒波 田学隆 吴强辉 彭承琳 《医疗卫生装备》 CAS 2008年第4期97-98,共2页
分析了MMA系列加速度传感器的内部结构及其工作原理,介绍了其体积小、抗冲击能力强、集成度高和低噪声漂移等特点,着重说明了其滤波、系统自测试、线性度、系统状态显示等几项特殊功能;通过实例,展望了其在医学等各个领域广泛的应用价值。
关键词 加速度传感器 医学测量 硅电容 运动量
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ALD氧化铝薄膜介电性能及其在硅电容器的应用 被引量:6
3
作者 陈杰 李俊 +2 位作者 赵金茹 李幸和 许生根 《电子与封装》 2013年第9期31-34,共4页
硅基高密度电容器是利用半导体3D深硅槽技术和应用高介电常数(高K)材料制作的电容。相比钽电容和多层陶瓷电容(MLCC),硅基电容具有十年以上的寿命、工作温度范围大、容值温度系数小以及损耗低等优点。文章研究原子层沉积(ALD)制备的Al2O... 硅基高密度电容器是利用半导体3D深硅槽技术和应用高介电常数(高K)材料制作的电容。相比钽电容和多层陶瓷电容(MLCC),硅基电容具有十年以上的寿命、工作温度范围大、容值温度系数小以及损耗低等优点。文章研究原子层沉积(ALD)制备的Al2O3薄膜的介电特性,通过优化ALD原子沉积温度和退火工艺,发现在沉积温度420℃和O3气氛退火5 min下,ALD生长的Al2O3薄膜击穿强度可大于0.7 V/nm,相对介电常数达8.7。制成的硅基电容器电容密度达到50 nF/mm2,漏电流小于5 nA/mm2。 展开更多
关键词 硅基电容器 三氧化二铝 深槽 介电特性 原子层沉积
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纳米线MOSFET量子电容讨论 被引量:2
4
作者 张洪涛 《武汉工业学院学报》 CAS 2006年第4期29-31,共3页
讨论了纳米线MOSFET量子电容测量及影响因素,同时讨论了计算方法,得出量子电容为1.2 aF。观察到室温单电子遂穿现象,是一个单电子晶体管。提出了一种新的模型,解释室温出现大电流单电子库仑阻塞效应,认为是类似于库柏对电子对纳米线岛... 讨论了纳米线MOSFET量子电容测量及影响因素,同时讨论了计算方法,得出量子电容为1.2 aF。观察到室温单电子遂穿现象,是一个单电子晶体管。提出了一种新的模型,解释室温出现大电流单电子库仑阻塞效应,认为是类似于库柏对电子对纳米线岛“似单电荷”的库仑阻塞效应起作用,亦即进入岛的非单子而是电子对,出岛的也如此。这样就解释了大电流量子台阶出现的现象。 展开更多
关键词 纳米线 碳化硅 量子电容 单电子晶体管 库柏对
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电除尘器接地故障处理方法探讨 被引量:2
5
作者 潘武平 谢续文 高诚 《冶金动力》 2021年第1期9-11,共3页
阐述电除尘工作原理,对电除尘螺旋线断线原因、电除尘器本体故障进行分析,提出在运行中处理电除尘螺旋线断线引起电场故障的方法(电流烧蚀法和电弧烧蚀法),将这两种方法配合使用,能及时消除电除尘器接地故障的隐患,起到稳定生产的作用。
关键词 电除尘 螺旋线 硅整流变 电容器
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Improvement of the Silicon Solar Cell Performance by Integration of an Electric Field Source in the Solar Cell or Solar Module System
6
作者 Adama Ouedraogo Serge Dimitri Y. B. Bazyomo +2 位作者 Salifou Ouedraogo Abdoul Razakou Dieudonné Joseph Bathiebo 《Smart Grid and Renewable Energy》 2018年第12期285-298,共14页
This manuscript is about a theoretical modelling of conversion efficiency improvement of a typical polycrystalline Si solar cell in 1D assumptions. The improvement is brought by the increase of the collection of the m... This manuscript is about a theoretical modelling of conversion efficiency improvement of a typical polycrystalline Si solar cell in 1D assumptions. The improvement is brought by the increase of the collection of the minority carriers charge in excess. This increase is the consequence of the influence of an electric field provided by the use of the open circuit photovoltage of another silicon solar cell. We assume that it is integrated two silicon solar cells to the system. The first solar cell provides the open circuit photovoltage which is connected to two aluminum planar armatures creating a planar capacitor. The second solar cell is placed under the uniform electric field created between the two aluminum armatures. This work has shown an improvement of the output electric power leading to the increase of the conversion efficiency. We observe an increase of 0.7% of the conversion efficiency of the second silicon solar cell. 展开更多
关键词 Open Circuit PHOTOVOLTAGE Planar capacitor ELECTRIC Field CONVERSION Efficiency MONOCHROMATIC ILLUMINATION and silicon Solar Cell
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Oxidation of silicon surface with atomic oxygen radical anions
7
作者 王莲 宋崇富 +3 位作者 孙剑秋 侯莹 李晓光 李全新 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第6期2197-2203,共7页
The surface oxidation of silicon (Si) wafers by atomic oxygen radical anions (O- anions) and the preparation of metal-oxide-semiconductor (MOS) capacitors on the O-oxidized Si substrates have been examined for t... The surface oxidation of silicon (Si) wafers by atomic oxygen radical anions (O- anions) and the preparation of metal-oxide-semiconductor (MOS) capacitors on the O-oxidized Si substrates have been examined for the first time. The O- anions are generated from a recently developed O- storage-emission material of [Ca24Al2sO64]^4+·4O^- (Cl2A7-O^- for short). After it has been irradiated by an O- anion bean: (0.5 μA/cm^2) at 300℃ for 1-10 hours, the Si wafer achieves an oxide layer with a thickness ranging from 8 to 32 nm. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) results reveal that the oxide layer is of a mixture of SiO2, Si2 O3, and Si2O distributed in different oxidation depths. The features of the MOS capacitor of 〈Al electrode/SiOx/Si〉 are investigated by measuring capacitance-voltage (C - V) and current-voltage (I - V) curves. The oxide charge density is about 6.0 × 10^1 cm^-2 derived from the (C - V curves. The leakage current density is in the order of 10^-6 A/cm^2 below 4 MV/cm, obtained from the I - V curves. The O- anions formed by present method would have potential applications to the oxidation and the surface-modification of materials together with the preparation of semiconductor devices. 展开更多
关键词 O^- anions silicon oxidation MOS capacitor electrical properties
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反应离子刻蚀硅槽工艺研究 被引量:1
8
作者 赵金茹 蒋大伟 陈杰 《电子与封装》 2017年第9期41-43,共3页
在CMOS多晶硅刻蚀工艺的基础上进行工艺开发,采用氯气和溴化氢气体进行硅槽刻蚀。通过对功率、压力、气体流量等工艺参数拉偏,用扫描电子显微镜观察硅槽侧壁形貌,分析各参数在反应离子刻蚀中所起到的作用,得到对硅槽形貌影响较大的因素... 在CMOS多晶硅刻蚀工艺的基础上进行工艺开发,采用氯气和溴化氢气体进行硅槽刻蚀。通过对功率、压力、气体流量等工艺参数拉偏,用扫描电子显微镜观察硅槽侧壁形貌,分析各参数在反应离子刻蚀中所起到的作用,得到对硅槽形貌影响较大的因素,最终得到一种能够与CMOS工艺兼容的硅槽刻蚀方法。该方法能够制作出深度6μm、深宽比4∶1、侧壁光滑的硅槽,可以用于光电继电器、硅电容等新型器件的研发。 展开更多
关键词 硅槽刻蚀 氯气 溴化氢 反应离子刻蚀 光电继电器 硅电容
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以麦秸为原料同时制备超级电容器和纳米分子筛的联产工艺
9
作者 唐晓红 《河南教育学院学报(自然科学版)》 2021年第4期26-31,共6页
我国小麦秸秆资源极为丰富,其中含有大量的碳、硅元素,因此提出了以麦秸为原料,同时制备超级电容器和纳米分子筛联产工艺的设想。目前粉碎还田是麦秸的主要处理方式,处理过程中存在着一系列问题。本联产工艺先将麦秸用碳化机处理得到生... 我国小麦秸秆资源极为丰富,其中含有大量的碳、硅元素,因此提出了以麦秸为原料,同时制备超级电容器和纳米分子筛联产工艺的设想。目前粉碎还田是麦秸的主要处理方式,处理过程中存在着一系列问题。本联产工艺先将麦秸用碳化机处理得到生物炭,研磨后加入氢氧化钠溶液,抽滤洗涤,分别得到滤渣和含硅酸钠的滤液,再从滤渣中得到活性炭制备超级电容器,从含硅酸钠的滤液中得到二氧化硅制备纳米分子筛。本联产工艺旨在提出一种农业废弃物的回收处理方式,在麦秸高效利用的同时,提出环境友好型、可能应用到实际中的麦秸利用途径,有利于加快建立健全绿色低碳循环发展经济体系。 展开更多
关键词 麦秸 活性炭 二氧化硅 超级电容器 纳米分子筛 联产工艺
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一种可集成高密度氮氧化硅介质工艺
10
作者 张杨波 唐昭焕 +1 位作者 阚玲 任芳 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期122-125,共4页
针对传统二氧化硅、氮化硅等介质材料在制作MOS电容时存在电容密度低、界面特性差的问题,通过对氮离子注入、氮硅氧化实验的分析,成功开发出一种采用注入氮并氧化制作氮氧化硅介质材料的工艺;并使用该工艺研制出与36V双极工艺兼容、介... 针对传统二氧化硅、氮化硅等介质材料在制作MOS电容时存在电容密度低、界面特性差的问题,通过对氮离子注入、氮硅氧化实验的分析,成功开发出一种采用注入氮并氧化制作氮氧化硅介质材料的工艺;并使用该工艺研制出与36V双极工艺兼容、介质的相对介电常数为5.51、击穿电压达81V、电容密度为0.394fF/μm^2的高密度MOS电容,较传统可集成二氧化硅/氮化硅复合介质电容的电容密度提高了35.86%。该工艺还可用于制作大功率MOSFET的栅介质,可提高器件的可靠性。 展开更多
关键词 氮氧化硅 相对介电常数 电容密度 介质 MOS电容
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All-silicon carrier accumulation modulator based on a lateral metal-oxide-semiconductor capacitor 被引量:6
11
作者 KAPIL DEBNATH DAVID J.THOMSON +9 位作者 WEIWEI ZHANG ALI Z.KHOKHAR CALLUM LITTLEJOHNS JAMES BYERS LORENZO MASTRONARDI MUHAMMAD K.HUSAIN KOUTA IBUKURO FREOERIC Y.GARDES GRAHAM T,REED SHINICHI SAITO 《Photonics Research》 SCIE EI 2018年第5期373-379,共7页
In silicon photonics, the carrier depletion scheme has been the most commonly used mechanism for demonstrat- ing high-speed electro-optic modulation. However, in terms of phase modulation efficiency, carrier- accumnla... In silicon photonics, the carrier depletion scheme has been the most commonly used mechanism for demonstrat- ing high-speed electro-optic modulation. However, in terms of phase modulation efficiency, carrier- accumnlation-based devices potentially offer almost an order of carrier depletion. Previously reported accumulation modulator magnitude improvement over those based on designs only considered vertical metal-oxide- semiconductor (MOS) capacitors, which imposes serious restrictions on the design flexibility and integratability with other photonic components. In this work, for the first time to our knowledge, we report experimental demonstration of an all-silicon accumulation phase modulator based on a lateral MOS capacitor. Using a Mach-Zehnder interferometer modulator with a 500-μm-long phase shifter, we demonstrate high-speed modulation up to 25 Gbit/s with a modulation efficiency (V πLπ) of 1.53 V·cm. 展开更多
关键词 All-silicon carrier accumulation modulator a lateral metal-oxide-semiconductor capacitor
原文传递
硅橡胶复合套管在断路器电容器上的应用 被引量:7
12
作者 郭文泉 《电力电容器》 2006年第1期21-22,共2页
简要介绍了500kV及以下电压等级的硅橡胶复合套管的断路器电容器的研制,以及经过型式试验并挂网运行的良好状况。对硅橡胶复合套管的优缺点进行了简要的论述和经济分析。
关键词 硅橡胶复合套管 断路器电容器
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基于TSV技术的硅基高压电容器
13
作者 杨志 董春晖 +4 位作者 王敏 王敬轩 商庆杰 付兴中 张力江 《电子工艺技术》 2024年第5期36-38,共3页
以微机电系统(MEMS)工艺设计并制作了一种基于TSV技术的高压电容器。给出了电容器的结构形式,理论分析计算了电容器的容值参数,设计得到了容值为2 nF,芯片尺寸为2 mm×2 mm×0.3 mm的硅基电容器。提出一套MEMS工艺的硅基电容器... 以微机电系统(MEMS)工艺设计并制作了一种基于TSV技术的高压电容器。给出了电容器的结构形式,理论分析计算了电容器的容值参数,设计得到了容值为2 nF,芯片尺寸为2 mm×2 mm×0.3 mm的硅基电容器。提出一套MEMS工艺的硅基电容器的制作流程,实现了电容器的工艺制作及测试。测试结果表明,获得的高压电容器的容值与设计值基本一致,击穿电压可以达到280 V。硅基高压电容器具有电容密度高、一致性好、易生产的特点,适合高压电子系统的应用发展需求。 展开更多
关键词 微电子机械系统 硅基电容器 高压 TSV
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车用SiC电机驱动控制器用金属化膜电容研究 被引量:5
14
作者 李晔 范涛 +4 位作者 李琦 邰翔 温旭辉 蓝福武 陈渊伟 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第6期1801-1807,共7页
当功率模块使用碳化硅(silicon carbide,SiC)电子器件,其体积已大幅缩小,为实现控制器的高功率密度,需降低电容器体积。该文首先建立电容器设计参数和电机驱动控制器需求之间的函数关系,从理论层面指出电容器的设计要求。通过集成水冷... 当功率模块使用碳化硅(silicon carbide,SiC)电子器件,其体积已大幅缩小,为实现控制器的高功率密度,需降低电容器体积。该文首先建立电容器设计参数和电机驱动控制器需求之间的函数关系,从理论层面指出电容器的设计要求。通过集成水冷散热器的封装结构,降低电容器热阻,从而进一步提升电容器吸收波纹电流的能力。通过仿真验证表明,在相同损耗下,优化电容器平均温度较普通封装电容器平均温度下降30.7%。制造样件并测试,优化后电容器在相同损耗下较普通电容器热阻下降了72.4%;吸收纹波能力从180Arms提升到398Arms,纹波电流提升了2.2倍。改进使电容器具有较高的纹波电流提供能力,有效减少了电容器的体积,实现了SiC控制器功率密度提升及高频特性的要求。 展开更多
关键词 碳化硅 金属化薄膜电容器 纹波电流 高功率密度 热仿真
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碳化硅功率器件的串扰问题及抑制方法
15
作者 冯静波 客金坤 +3 位作者 彭晗 辛晴 许航宇 薛泓林 《广东电力》 2023年第5期126-135,共10页
为了改善碳化硅功率器件的快速开关瞬态带来的串扰问题,研究碳化硅功率器件的驱动参数对串扰问题的影响,总结抑制串扰的驱动策略,并提出串扰抑制的谐振型驱动方法。首先,明确米勒电容和共源极电感的耦合作用,分析得到半桥结构中碳化硅... 为了改善碳化硅功率器件的快速开关瞬态带来的串扰问题,研究碳化硅功率器件的驱动参数对串扰问题的影响,总结抑制串扰的驱动策略,并提出串扰抑制的谐振型驱动方法。首先,明确米勒电容和共源极电感的耦合作用,分析得到半桥结构中碳化硅功率器件的串扰机理;其次,通过LTspice仿真研究碳化硅功率器件驱动器的栅极电阻和栅源电容对串扰的影响;然后,提出抑制串扰的驱动策略和谐振型驱动方法;最后,通过双脉冲测试电路实验观测串扰影响,并对比分析所提方法与有源米勒钳位方法的实验结果。研究结果表明:在开通串扰下,有源米勒钳位方法下的栅源电压负尖峰为-13.2 V,串扰抑制的谐振型驱动方法下的电压负尖峰仅为-7.3 V;在关断串扰下,有源米勒钳位方法下的栅源电压正尖峰为-2.4 V,串扰抑制的谐振型驱动方法下的电压正尖峰仅为-3.81 V。上述结果验证了所提方法的有效性。 展开更多
关键词 碳化硅功率器件 米勒电容 共源极电感 驱动策略 有源米勒钳位 谐振驱动
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TSC动态无功补偿在Φ250mm机组的应用 被引量:3
16
作者 马社芳 高娜 +1 位作者 秦建章 燕德建 《新技术新工艺》 北大核心 2003年第4期2-3,共2页
简要叙述了就地 TSC动态无功补偿装置的特点 ,分析了 TSC动态无功补偿在Ф2 5 0 mm机组的补偿原理。重点介绍了利用数控就地 TSC动态无功功率补偿装置对 Ф2 5 0 mm机组 1 2 5 0 k VA变压器进行扩容的方法和补偿后效果。
关键词 电力变压器 TSC 动态无功补偿 Φ250mm机组 晶闸管开关电容
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一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器 被引量:2
17
作者 毛健 车录锋 +4 位作者 林友玲 李玉芳 周晓峰 熊斌 王跃林 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期143-146,共4页
提出了一种高对称电容式微加速度传感器,该传感器为硅四层键合三明治结构,在完成传感器整体结构制作的同时,实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法,既精确控制了加速度传感器的初始电容间距,又实现了限位凸点的制作。该加速度传感... 提出了一种高对称电容式微加速度传感器,该传感器为硅四层键合三明治结构,在完成传感器整体结构制作的同时,实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法,既精确控制了加速度传感器的初始电容间距,又实现了限位凸点的制作。该加速度传感器的谐振频率为657Hz,品质因子为198,灵敏度为0.59V/g。 展开更多
关键词 电容式加速度传感器 硅硅键合 圆片级真空封装 电容间隙控制
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Effects of silicon nitride diffusion barrier on germanium MOS capacitors with HfON gate dielectrics 被引量:1
18
作者 胡爱斌 徐秋霞 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期33-37,共5页
MOS capacitors with hafnium oxynitride(HfON)gate dielectrics were fabricated on Ge and Si substrates using the RF reactive magnetron sputtering method.A large amount of fixed charges and interface traps exist at the... MOS capacitors with hafnium oxynitride(HfON)gate dielectrics were fabricated on Ge and Si substrates using the RF reactive magnetron sputtering method.A large amount of fixed charges and interface traps exist at the Ge/HfON interface.HRTEM and XPS analyses show that Ge oxides were grown and diffused into HfON after post metal annealing.A Si nitride interfacial layer was inserted between Ge and HfON as diffusion barrier.Using this method,well behaved capacitance–voltage and current–voltage characteristics were obtained.Finally hystereses are compared under different process conditions and possible causes are discussed. 展开更多
关键词 Ge MOS capacitor HFON Ge oxides silicon nitride
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The electrical characteristics of a 4H-silicon carbide metal-insulator-semiconductor structure with Al_2O_3 as the gate dielectric 被引量:1
19
作者 刘莉 杨银堂 马晓华 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第12期366-372,共7页
A 4H-silicon carbide metal-insulator-semiconductor structure with ultra-thin Al2O3 as the gate dielectric, deposited by atomic layer deposition on tile epitaxial layer of a 4H-SiC (0001) 80N-/N+ substrate, has been... A 4H-silicon carbide metal-insulator-semiconductor structure with ultra-thin Al2O3 as the gate dielectric, deposited by atomic layer deposition on tile epitaxial layer of a 4H-SiC (0001) 80N-/N+ substrate, has been fabricated. The experimental results indicate that the prepared ultra-thin Al2O3 gate dielectric exhibits good physical and electrical characteristics, including a high breakdown electrical field of 25 MV/cm, excellent interface properties (1 × 10^14 cm^-2) and low gate-leakage current (IG = 1 × 10^-3 A/cm 2@Eox = 8 MV/cm). Analysis of the current conduction mecha- nism on the deposited Al2O3 gate dielectric was also systematically performed. The confirmed conduction mechanisms consisted of Fowler-Nordheim (FN) tuaneling, the Frenkel-Poole mechanism, direct tunneling and Schottky emission, and the dominant current conduction mechanism depends on the applied electrical field. When the gate leakage current mechanism is dominated by FN tunneling, the barrier height of SiC/Al2O3 is 1.4 eV, which can meet the requirements of silicon carbide metal-insulator-semiconductor transistor devices. 展开更多
关键词 AL2O3 4H-silicon carbide metal-insulator-semiconductor capacitor gate leakage current C-V characteristics
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CMOS多晶电容工艺误差分析及设计研究 被引量:1
20
作者 朱樟明 杨银堂 +1 位作者 张春朋 付晓东 《电子器件》 CAS 2004年第1期24-26,共3页
研究分析了CMOS多晶电容的工艺误差,给出了氧化硅介质层厚度的梯度误差、边际效应等工艺因素对CMOS多晶电容的影响。基于单位电容的改进设计,给出了CMOS多晶电容阵列的共心设计方法。采用0.6μmCMOS DPDM工艺,实现了基于CMOS多晶电容阵... 研究分析了CMOS多晶电容的工艺误差,给出了氧化硅介质层厚度的梯度误差、边际效应等工艺因素对CMOS多晶电容的影响。基于单位电容的改进设计,给出了CMOS多晶电容阵列的共心设计方法。采用0.6μmCMOS DPDM工艺,实现了基于CMOS多晶电容阵列的开关电容带通滤波器,实验结果表明本文的CMOS多晶电容设计方法具有较高的精度,能直接用于亚微米及深亚微米集成电路设计。 展开更多
关键词 多晶电容 CMOS 工艺误差 共心分布
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