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高精度长线列密排光纤阵列的制作研究
被引量:
7
1
作者
侯凤杰
梁静秋
+2 位作者
郭鹏
孔庆峰
李佳
《微细加工技术》
EI
2007年第1期15-18,共4页
本文讨论了利用硅V型槽法制作高精度线性光纤阵列的可行性,介绍了硅V型槽制作机理,对影响器件精度的主要因素进行了分析,并在器件设计、制作中给予充分考虑。根据器件的可靠性要求,分析了用于光纤粘接的粘接剂应满足的特性,并对紫外固...
本文讨论了利用硅V型槽法制作高精度线性光纤阵列的可行性,介绍了硅V型槽制作机理,对影响器件精度的主要因素进行了分析,并在器件设计、制作中给予充分考虑。根据器件的可靠性要求,分析了用于光纤粘接的粘接剂应满足的特性,并对紫外固化胶和红外粘接剂进行实验对比,结果表明,Norland紫外固化胶和353ND红外粘接剂为最佳选择。用各向异性湿法腐蚀技术制作了硅V型槽,进行了光纤排列、定位及端面处理,制作出了高精度线性光纤阵列。对端面面型误差和表面粗糙度的测试后,结果表明光纤阵列端面纵向位置误差≤324 nm,表面粗糙度均方根值小于3.85nm。
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关键词
线性光纤阵列
硅
v
型槽
误差分析
粘接剂
下载PDF
职称材料
采用硅V型槽的一维光纤阵列的研制
被引量:
20
2
作者
梁静秋
侯凤杰
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期89-94,共6页
阐述了一维光纤阵列的研制方法,分析了V型槽法中硅V型槽腐蚀机理,计算了V型槽的开口及间距与光纤半径及纤芯截面圆心距的关系,给出了最小槽深与光纤半径及V型槽开口的关系式。用各向异性腐蚀技术制作了硅V型槽,比较了紫外及红外粘...
阐述了一维光纤阵列的研制方法,分析了V型槽法中硅V型槽腐蚀机理,计算了V型槽的开口及间距与光纤半径及纤芯截面圆心距的关系,给出了最小槽深与光纤半径及V型槽开口的关系式。用各向异性腐蚀技术制作了硅V型槽,比较了紫外及红外粘接剂的性能,进行了光纤的排列、粘接及抛光,制作出一维光纤阵列。用原子力显微镜测量光纤阵列表面粗糙度为纳米量级,用ZYGO数字干涉仪检测光纤的端头位置误差为3~5μm。该项工作为二维光纤阵列的高精度制备奠定了基础。
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关键词
光纤阵列
硅
v
型槽
各向异性腐蚀
端面检测
下载PDF
职称材料
多芯光缆连接用矩阵式硅V形槽
被引量:
1
3
作者
杨文英
孟伟
《长春邮电学院学报》
1992年第4期16-19,共4页
利用硅晶体的各向异性腐蚀特性,制备了良好的八条硅V形槽列阵,从而实现了单根多模光纤耦合,每介面损耗小于0.25dB。该V形槽可适用于多芯光缆连接,有广泛的应用前景。
关键词
光缆
光纤连接器
矩阵式
硅
v
形槽
下载PDF
职称材料
列阵式二维硅V形槽的研制与应用研究
4
作者
杨文英
李怀珍
《吉林大学学报(信息科学版)》
CAS
1991年第3期27-30,共4页
详尽介绍了采用硅各向异性腐蚀技术制备列阵式二维硅V形槽的工艺,探讨了此V形槽在光纤列阵与波导耦合及光纤列阵之间耦合中的应用。实验结果表明,使用此V形槽,Ti扩散LiNbO_3平面波导与单模光纤的耦合效率达到了60%。
关键词
各向异性
腐蚀
光导纤维
耦合/列阵式二维硅
v
形槽
下载PDF
职称材料
题名
高精度长线列密排光纤阵列的制作研究
被引量:
7
1
作者
侯凤杰
梁静秋
郭鹏
孔庆峰
李佳
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《微细加工技术》
EI
2007年第1期15-18,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60578036)
中国科学院"优秀博士学位论文
+1 种基金
院长奖获得者科研启动专项资金"资助项目
应用光学国家重点实验室开放基金资助项目
文摘
本文讨论了利用硅V型槽法制作高精度线性光纤阵列的可行性,介绍了硅V型槽制作机理,对影响器件精度的主要因素进行了分析,并在器件设计、制作中给予充分考虑。根据器件的可靠性要求,分析了用于光纤粘接的粘接剂应满足的特性,并对紫外固化胶和红外粘接剂进行实验对比,结果表明,Norland紫外固化胶和353ND红外粘接剂为最佳选择。用各向异性湿法腐蚀技术制作了硅V型槽,进行了光纤排列、定位及端面处理,制作出了高精度线性光纤阵列。对端面面型误差和表面粗糙度的测试后,结果表明光纤阵列端面纵向位置误差≤324 nm,表面粗糙度均方根值小于3.85nm。
关键词
线性光纤阵列
硅
v
型槽
误差分析
粘接剂
Keywords
linear
optical
fiber
array
silicon
v
-
grooves
error
analysis
adhesi
v
e
surface
testing
分类号
TN25 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
采用硅V型槽的一维光纤阵列的研制
被引量:
20
2
作者
梁静秋
侯凤杰
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期89-94,共6页
基金
国家自然科学基金资助(No.60578036)
中科院"优秀博士学位论文
+1 种基金
院长奖获得者科研启动专项资金"资助
应用光学国家重点实验室开放基金资助
文摘
阐述了一维光纤阵列的研制方法,分析了V型槽法中硅V型槽腐蚀机理,计算了V型槽的开口及间距与光纤半径及纤芯截面圆心距的关系,给出了最小槽深与光纤半径及V型槽开口的关系式。用各向异性腐蚀技术制作了硅V型槽,比较了紫外及红外粘接剂的性能,进行了光纤的排列、粘接及抛光,制作出一维光纤阵列。用原子力显微镜测量光纤阵列表面粗糙度为纳米量级,用ZYGO数字干涉仪检测光纤的端头位置误差为3~5μm。该项工作为二维光纤阵列的高精度制备奠定了基础。
关键词
光纤阵列
硅
v
型槽
各向异性腐蚀
端面检测
Keywords
optical
fiber
array
silicon
v
-
grooves
anisotropic
etching
measurements
of
the
fiber
surface
分类号
TN253 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
多芯光缆连接用矩阵式硅V形槽
被引量:
1
3
作者
杨文英
孟伟
机构
长春邮电学院光通信研究所
出处
《长春邮电学院学报》
1992年第4期16-19,共4页
文摘
利用硅晶体的各向异性腐蚀特性,制备了良好的八条硅V形槽列阵,从而实现了单根多模光纤耦合,每介面损耗小于0.25dB。该V形槽可适用于多芯光缆连接,有广泛的应用前景。
关键词
光缆
光纤连接器
矩阵式
硅
v
形槽
Keywords
optical
cables
anisotropy
corrosions
jointer
of
optical
fibre
arrays
silicon
v
-
grooves
分类号
TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
列阵式二维硅V形槽的研制与应用研究
4
作者
杨文英
李怀珍
机构
长春邮电学院科研所
长春邮电学院电信工程系
出处
《吉林大学学报(信息科学版)》
CAS
1991年第3期27-30,共4页
文摘
详尽介绍了采用硅各向异性腐蚀技术制备列阵式二维硅V形槽的工艺,探讨了此V形槽在光纤列阵与波导耦合及光纤列阵之间耦合中的应用。实验结果表明,使用此V形槽,Ti扩散LiNbO_3平面波导与单模光纤的耦合效率达到了60%。
关键词
各向异性
腐蚀
光导纤维
耦合/列阵式二维硅
v
形槽
Keywords
anisotropyj
corrosion
optical
wa
v
eguide
fiber
coupling
arrays
Two-dimension
silicon
v
-
grooves
分类号
N [自然科学总论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高精度长线列密排光纤阵列的制作研究
侯凤杰
梁静秋
郭鹏
孔庆峰
李佳
《微细加工技术》
EI
2007
7
下载PDF
职称材料
2
采用硅V型槽的一维光纤阵列的研制
梁静秋
侯凤杰
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
20
下载PDF
职称材料
3
多芯光缆连接用矩阵式硅V形槽
杨文英
孟伟
《长春邮电学院学报》
1992
1
下载PDF
职称材料
4
列阵式二维硅V形槽的研制与应用研究
杨文英
李怀珍
《吉林大学学报(信息科学版)》
CAS
1991
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
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参考文献
引证文献
统计分析
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