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高精度长线列密排光纤阵列的制作研究 被引量:7
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作者 侯凤杰 梁静秋 +2 位作者 郭鹏 孔庆峰 李佳 《微细加工技术》 EI 2007年第1期15-18,共4页
本文讨论了利用硅V型槽法制作高精度线性光纤阵列的可行性,介绍了硅V型槽制作机理,对影响器件精度的主要因素进行了分析,并在器件设计、制作中给予充分考虑。根据器件的可靠性要求,分析了用于光纤粘接的粘接剂应满足的特性,并对紫外固... 本文讨论了利用硅V型槽法制作高精度线性光纤阵列的可行性,介绍了硅V型槽制作机理,对影响器件精度的主要因素进行了分析,并在器件设计、制作中给予充分考虑。根据器件的可靠性要求,分析了用于光纤粘接的粘接剂应满足的特性,并对紫外固化胶和红外粘接剂进行实验对比,结果表明,Norland紫外固化胶和353ND红外粘接剂为最佳选择。用各向异性湿法腐蚀技术制作了硅V型槽,进行了光纤排列、定位及端面处理,制作出了高精度线性光纤阵列。对端面面型误差和表面粗糙度的测试后,结果表明光纤阵列端面纵向位置误差≤324 nm,表面粗糙度均方根值小于3.85nm。 展开更多
关键词 线性光纤阵列 v型槽 误差分析 粘接剂
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采用硅V型槽的一维光纤阵列的研制 被引量:20
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作者 梁静秋 侯凤杰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期89-94,共6页
阐述了一维光纤阵列的研制方法,分析了V型槽法中硅V型槽腐蚀机理,计算了V型槽的开口及间距与光纤半径及纤芯截面圆心距的关系,给出了最小槽深与光纤半径及V型槽开口的关系式。用各向异性腐蚀技术制作了硅V型槽,比较了紫外及红外粘... 阐述了一维光纤阵列的研制方法,分析了V型槽法中硅V型槽腐蚀机理,计算了V型槽的开口及间距与光纤半径及纤芯截面圆心距的关系,给出了最小槽深与光纤半径及V型槽开口的关系式。用各向异性腐蚀技术制作了硅V型槽,比较了紫外及红外粘接剂的性能,进行了光纤的排列、粘接及抛光,制作出一维光纤阵列。用原子力显微镜测量光纤阵列表面粗糙度为纳米量级,用ZYGO数字干涉仪检测光纤的端头位置误差为3~5μm。该项工作为二维光纤阵列的高精度制备奠定了基础。 展开更多
关键词 光纤阵列 v型槽 各向异性腐蚀 端面检测
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多芯光缆连接用矩阵式硅V形槽 被引量:1
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作者 杨文英 孟伟 《长春邮电学院学报》 1992年第4期16-19,共4页
利用硅晶体的各向异性腐蚀特性,制备了良好的八条硅V形槽列阵,从而实现了单根多模光纤耦合,每介面损耗小于0.25dB。该V形槽可适用于多芯光缆连接,有广泛的应用前景。
关键词 光缆 光纤连接器 矩阵式 v形槽
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列阵式二维硅V形槽的研制与应用研究
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作者 杨文英 李怀珍 《吉林大学学报(信息科学版)》 CAS 1991年第3期27-30,共4页
详尽介绍了采用硅各向异性腐蚀技术制备列阵式二维硅V形槽的工艺,探讨了此V形槽在光纤列阵与波导耦合及光纤列阵之间耦合中的应用。实验结果表明,使用此V形槽,Ti扩散LiNbO_3平面波导与单模光纤的耦合效率达到了60%。
关键词 各向异性 腐蚀 光导纤维 耦合/列阵式二维硅v形槽
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