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4200型半导体特性测试仪校准方法研究
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作者 石竹君 林宏 刘成 《现代工业经济和信息化》 2021年第4期151-152,154,共3页
结合目前半导体特性测试仪校准时依据的技术文件,总结分析实际校准过程中的经验和问题,对4200型半导体特性测试仪的校准方法进行了研究,并对其直流电流测量结果的不确定度进行了评定。
关键词 半导体特性测试仪 SMU直流电压 校准方法 不确定度
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