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贵金属掺杂Ti/TiO_2电极的制备及其电催化性能研究 被引量：16
1
作者 孙娟 沈嘉年 姚书典 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第7期647-651,共5页
采用阳极氧化-阴极电沉积两步法:先在钛基体上用阳极氧化法制备多孔TiO2薄膜,接着在这层多孔状薄膜上采用阴极电沉积方法掺杂Pt,Ir来制备Ti/TiO2-Pt修饰电极和Ti/TiO2-Ir修饰电极.用XRD,SEM分析了掺杂前后的成分、相结构及表面形貌的变... 采用阳极氧化-阴极电沉积两步法:先在钛基体上用阳极氧化法制备多孔TiO2薄膜,接着在这层多孔状薄膜上采用阴极电沉积方法掺杂Pt,Ir来制备Ti/TiO2-Pt修饰电极和Ti/TiO2-Ir修饰电极.用XRD,SEM分析了掺杂前后的成分、相结构及表面形貌的变化,结果表明:Pt优先沉积在TiO2多孔中;与Pt不同,Ir没有表现出在TiO2孔中优先沉积的现象,出现这种现象的原因是这两种贵金属的电沉积电位相对于n-TiO2的平带电位不同.使用SIMS分析了在Ti/TiO2-(Pt/Ir)修饰电极中Ti,Pt,Ir的浓度分布,大致算出TiO2薄膜厚度为750nm左右.由极化曲线和阻抗谱结果得出:掺杂Pt,Ir明显改善了Ti/TiO2电极的电催化性能,且随着Pt沉积时间的增长,修饰电极在硫酸析氧反应中的电催化活性提高. 展开更多
关键词 钛阳极 电催化 掺杂 多孔薄膜 二次离子质谱
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ZIRLO合金和Zr-4合金在LiOH水溶液中耐腐蚀性能的研究 被引量：8
2
作者 刘文庆 周邦新 李强 《核动力工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期215-218,252,共5页
比较了ZIRLO合金和Zr-4合金两种样品在350℃、16.8MPa、0.04MLiOH水溶液中的耐腐蚀性能,发现Zr-4合金样品在腐蚀转折之前的腐蚀增重比ZIRLO合金稍低,这时两种样品的氧化膜相对完整而致密。用二次离子质谱仪(SIMS)测量Li+在两种合金样品... 比较了ZIRLO合金和Zr-4合金两种样品在350℃、16.8MPa、0.04MLiOH水溶液中的耐腐蚀性能,发现Zr-4合金样品在腐蚀转折之前的腐蚀增重比ZIRLO合金稍低,这时两种样品的氧化膜相对完整而致密。用二次离子质谱仪(SIMS)测量Li+在两种合金样品氧化膜剖面中的分布,发现Li+进入Zr-4合金氧化膜的深度比ZIRLO合金浅,但浓度比较高。而腐蚀至68天在Zr-4合金样品腐蚀发生转折后,其腐蚀增重远高于ZIRLO合金,这是因为此时Zr-4合金样品氧化膜因疏松而失去保护作用,而ZIRLO合金样品腐蚀至82天氧化膜仍致密而完整。ZIRLO合金中细小的bNb和Zr-Fe-Nb第二相粒子可能对保持氧化膜的完整性有重要作用。 展开更多
关键词 ZIRLO合金 ZR-4合金 耐腐蚀性能 二次离子质谱
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混合稀土(La-Ce)在快速凝固Cu-Cr合金中的作用 被引量：5
3
作者 徐顺建 张萌 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期74-78,共5页
比较了混合稀土(LaCe)对快速凝固CuCr合金不同状态下组织和性能的影响,结果表明:在急冷态,稀土元素消除了CuCr合金部分柱状晶,稀土元素本身的添加使显微硬度有所提高;抑制时效后CuCr合金二次Cr颗粒的析出,使硬度值随时效温度变化相对比... 比较了混合稀土(LaCe)对快速凝固CuCr合金不同状态下组织和性能的影响,结果表明:在急冷态,稀土元素消除了CuCr合金部分柱状晶,稀土元素本身的添加使显微硬度有所提高;抑制时效后CuCr合金二次Cr颗粒的析出,使硬度值随时效温度变化相对比较平稳,提高热稳定性,延缓了过时效的发生。此外,稀土元素改变了CuCr合金共晶组织的短棒状或层片状形态,大多以网状共晶组织存在,经退火共晶组织更加清晰化。 展开更多
关键词 混合稀土(La-Ce) 时效处理 CU-CR合金 快速凝固
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锑在直流反应磁控溅射制备二氧化钛薄膜中的作用 被引量：3
4
作者 蔡臻炜 沃松涛 +4 位作者 沈杰 崔晓莉 俞宏坤 杨锡良 章壮键 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期50-52,共3页
用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上制备了Sb修饰TiO2 薄膜 ,利用XRD ,Raman光谱以及SIMS研究了Sb对其表面结晶情况的影响并用XPS及SIMS分析了薄膜的成分。结果表明一定程度Sb的修饰对TiO2 薄膜成晶有优化作用 ,起到了类似表面活性剂... 用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上制备了Sb修饰TiO2 薄膜 ,利用XRD ,Raman光谱以及SIMS研究了Sb对其表面结晶情况的影响并用XPS及SIMS分析了薄膜的成分。结果表明一定程度Sb的修饰对TiO2 薄膜成晶有优化作用 ,起到了类似表面活性剂的作用 ,并使薄膜表面的光致亲水性能得到改善。当Sb修饰过量时 ,破坏了TiO2 原有的晶格结构 ,劣化了薄膜表面的光致亲水性。 展开更多
关键词 直流反应磁控溅射 TIO2薄膜 类似 二氧化钛薄膜 RAMAN光谱 表面 SIMS XRD XPS 劣化
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HPLC-MS同时测定人血浆中吡格列酮及其活性代谢产物的浓度 被引量：6
5
作者 邓丽菁 王峰 +2 位作者 谢志红 肖轶雯 李焕德 《中国药学杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期772-774,共3页
目的建立高效液相色谱质谱联用测定人血浆中吡格列酮及其活性代谢产物M-Ⅲ(酮类衍生物)和M-Ⅳ(羟化衍生物)的方法。方法采用WatersXTerraTNC18色谱柱(2.1mm×150mm,3.5μm),PhenomenexC18保护柱,柱温50℃,流动相:乙腈-30mmol·... 目的建立高效液相色谱质谱联用测定人血浆中吡格列酮及其活性代谢产物M-Ⅲ(酮类衍生物)和M-Ⅳ(羟化衍生物)的方法。方法采用WatersXTerraTNC18色谱柱(2.1mm×150mm,3.5μm),PhenomenexC18保护柱,柱温50℃,流动相:乙腈-30mmol·L-1醋酸铵溶液(含0.1%的甲酸和0.05%的三氟醋酸)(35:65),流速0.22mL·min-1。质谱采用电喷雾电离源正离子模式(ESI+),选择性监测质荷比(m/z)357.4(吡格列酮),358.2(内标),371.5(M-Ⅲ),373.2(M-Ⅳ)的准分子分子离子峰;血浆样品经盐酸酸化后,采用叔丁基甲醚-氯仿提取,内标法定量。结果吡格列酮,M-Ⅲ和M-Ⅳ分别在11.16-1748.60,3.33-520.50,5.00-687.50ng·mL-1内线性良好(r≥0.9997),最低检测浓度分别为2.90,1.10,1.20ng·mL-1,3个化合物的方法回收率均在90%-110%范围内,日间和日内RSD皆小于15%。结论本方法操作简单,灵敏准确,稳定性好,适用于临床吡格列酮治疗药物监测,药动学及其药物相互作用的研究。 展开更多
关键词 吡格列酮 M-Ⅲ M-Ⅳ 高效液相色谱-质谱
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单细胞质谱分析方法研究进展 被引量：5
6
作者 谭思源 李曼莉 +2 位作者 傅博强 戴新华 龚晓云 《计量科学与技术》 2021年第5期20-29,13,共11页
细胞个体间的异质性对于生物体内各类生理功能的顺利完成十分重要。从单细胞尺度上对生物分子进行准确测量有助于获得在组织整体测量水平上被掩盖的微观生物学机制。由于单细胞中物质组成复杂、含量极低、不同组分的浓度差异显著,导致... 细胞个体间的异质性对于生物体内各类生理功能的顺利完成十分重要。从单细胞尺度上对生物分子进行准确测量有助于获得在组织整体测量水平上被掩盖的微观生物学机制。由于单细胞中物质组成复杂、含量极低、不同组分的浓度差异显著,导致单细胞内生物分子的测量难度极大。质谱技术凭借其高灵敏度、高特异性、准确定量能力以及强大的化合物结构解析能力,近年来在单细胞分析领域获得广泛关注。目前,单细胞质谱分析方法的研究主要集中在离子化技术和相应的样品前处理方法上。根据离子化技术的不同,可将主流的质谱单细胞分析方法分为以下四类:纳升电喷雾离子化质谱法、激光解吸附离子化质谱法、二次离子质谱法和电感耦合等离子体质谱法。本文对近5年来基于上述四种离子化技术的单细胞质谱分析方法进行了归纳和评述,并对单细胞质谱分析方法在未来的计量科学发展进行了展望。 展开更多
关键词 质谱 单细胞分析 离子化 纳升电喷雾离子化 激光解吸附离子化 二次离子质谱 电感耦合等离子体质谱
原文传递
适温离子交换掺铒铌酸锂薄膜的制备研究
7
作者 何雨轩 吴江威 +1 位作者 陈玉萍 陈险峰 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期441-448,共8页
本文通过制备KNO_(3)和Er(NO_(3))_(3)熔融混合物,将其与铌酸锂薄膜在高温管式炉中混合进行适温热扩散,并结合退火工艺,发明了一种直接在铌酸锂薄膜上掺杂Er^(3+)的方法。通过不断变换热扩散温度、掺杂试剂浓度比例和晶体切向等参数,用... 本文通过制备KNO_(3)和Er(NO_(3))_(3)熔融混合物,将其与铌酸锂薄膜在高温管式炉中混合进行适温热扩散,并结合退火工艺,发明了一种直接在铌酸锂薄膜上掺杂Er^(3+)的方法。通过不断变换热扩散温度、掺杂试剂浓度比例和晶体切向等参数,用控制变量法探究了不同参数对适温离子交换法掺杂Er^(3+)效果的影响,在热扩散和退火温度360℃及KNO_(3)和Er(NO_(3))_(3)质量比25∶1的参数设置下获得了表面形貌较佳的Z切掺铒铌酸锂薄膜。通过飞行时间二次离子质谱仪并利用已知掺杂浓度的薄膜进行定标,检测了所获得的掺铒铌酸锂薄膜中的Er^(3+)浓度情况,对所采用适温离子交换法的有效性进行了验证。这一方法大幅简化了铌酸锂薄膜掺杂的工艺,同时节约了成本,有助于后续在铌酸锂薄膜平台上实现分区掺杂的工作,为未来定制化铌酸锂光子集成平台的搭建提供参考。 展开更多
关键词 铌酸锂薄膜 Er^(3+) 适温离子交换 二次离子质谱仪
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傅里叶变换离子回旋共振质谱测定复杂表面活性剂组分 被引量：4
8
作者 熊少祥 蒲丹 +1 位作者 辛斌 王光辉 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期429-432,共4页
利用傅里叶变换离子回旋共振质谱 (FT ICR MS) ,分析了两类复杂的离子型表面活性剂样品。实验结果表明 :高分辨FT ICR MS ,可以简单、快速、准确地获得两类化合物的结构信息 ,利用其高准确度的质量测定数据 ,计算出复杂样品中各组分的... 利用傅里叶变换离子回旋共振质谱 (FT ICR MS) ,分析了两类复杂的离子型表面活性剂样品。实验结果表明 :高分辨FT ICR MS ,可以简单、快速、准确地获得两类化合物的结构信息 ,利用其高准确度的质量测定数据 ,计算出复杂样品中各组分的元素组成 ,鉴定出具体化合物 ,显示了FT ICR 展开更多
关键词 傅里叶变换离子回旋共振质谱 离子型表面活性剂 测定 组分 二次离子质谱
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AlN陶瓷基板在空气中的热氧化行为探讨 被引量：6
9
作者 岳瑞峰 王佑祥 陈春华 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期565-570,共6页
利用二次离子质谱（ＳＩＭＳ）并结合Ｘ射线衍射分析（ＸＲＤ）研究了ＡｌＮ陶瓷基板在８５０—１１００℃空气中退火时的初始氧化行为．结果表明，未退火ＡｌＮ陶瓷基板表面区存在很薄的富氧层．在退火１０ｍｉｎ的条件下，随着退火温... 利用二次离子质谱（ＳＩＭＳ）并结合Ｘ射线衍射分析（ＸＲＤ）研究了ＡｌＮ陶瓷基板在８５０—１１００℃空气中退火时的初始氧化行为．结果表明，未退火ＡｌＮ陶瓷基板表面区存在很薄的富氧层．在退火１０ｍｉｎ的条件下，随着退火温度的增加，富氧层迅速增厚．在１１００℃退火２０ｍｉｎ的条件下，ＡｌＮ陶瓷基板表面区有连续的氧化层生成．最后，结合化学热力学，探讨了ＡｌＮ陶瓷基板表面的初始氧化机理． 展开更多
关键词 氮化铝陶瓷 热氧化 二次离子质谱 陶瓷
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惰气熔融红外吸收法测定高纯金中痕量氧 被引量：4
10
作者 唐一川 崔彦杰 +3 位作者 张见营 何升 周涛 吴冰 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第2期622-626,共5页
在采用全杂质元素扣除法进行纯度计算时,痕量氧对高纯金的纯度测定具有明显影响,而以往的杂质扣除法不计算氧等非金属元素,使得纯度测定结果缺乏说服力。通过建立惰气熔融红外吸收法,测量高纯金纯度标准物质中痕量氧含量,同时采用二次... 在采用全杂质元素扣除法进行纯度计算时,痕量氧对高纯金的纯度测定具有明显影响,而以往的杂质扣除法不计算氧等非金属元素,使得纯度测定结果缺乏说服力。通过建立惰气熔融红外吸收法,测量高纯金纯度标准物质中痕量氧含量,同时采用二次离子质谱法进行了方法比对,确保测量结果的可靠性。优化了氧氮氢分析仪的测量参数,确定了最佳工作条件:吹扫时间35 s,分析延迟75 s,排气周期2,排气时间25 s,排气功率4500 W,分析功率4000 W;选择金属锡作为助熔剂,通过氧释放实验确定金锡比为5∶3,对金样品进行二次测量发现氧残留与空白一致,说明锡粒的加入可以促进金中氧的释放,从而解决了金中氧释放不完全的难题;对锡粒进行反复脱氧,降低空白,获得了稳定的测量空白,方法定量限达到0.1 mg·kg^(-1);采用碳酸钠纯度标准物质对氧氮氢分析仪进行了校正,校正系数为1.012,同时氧的加标回收率在95%~105%之间,验证了测量方法的可靠性并保证了测量结果的溯源性。将高纯金制备成树脂靶件,在二次离子质谱仪中以Cs^(+)作为一次离子源,光阑400μm,离子束强度为3 nA,束斑大小约20μm,栅格扫描大小为10μm,二次离子光路光阑为400μm,质量分辨率约为2400,经过溅射和电离,采集^(16) O-和^(18) O-离子流,以SRM685高纯金标准物质作为测量标准,通过标准、样品的循环测量,以标准和样品的离子强度对比计算含氧量。采用两种方法的测量结果分别为(1.1±0.3)和(0.9±0.3)mg·kg^(-1),两个结果在不确定度范围内一致,对测量不确定度的评定表明其主要来源为测量重复性,最终确定高纯金纯度标准物质中痕量氧含量为(1.0±0.4)mg·kg^(-1)。测量方法的建立实现了高纯金中痕量氧的准确测定,为痕量氧测量和高纯金及其他高纯金属纯度标准物质的研制提供了有效的技术手段。 展开更多
关键词 高纯金 氧 惰性气体熔融红外吸收法 二次离子质谱
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质谱分子成像技术与应用进展 被引量：2
11
作者 再帕尔·阿不力孜 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期1335-1344,共10页
该文总结了二次离子质谱、基质辅助激光解吸电离质谱和常压敞开式离子化质谱三大类型质谱分子成像(MSI)技术的概况、技术与方法及其应用新进展。MSI技术作为免标记、高覆盖、高灵敏、检测范围广的可视化分析手段,不局限于生物组织或细... 该文总结了二次离子质谱、基质辅助激光解吸电离质谱和常压敞开式离子化质谱三大类型质谱分子成像(MSI)技术的概况、技术与方法及其应用新进展。MSI技术作为免标记、高覆盖、高灵敏、检测范围广的可视化分析手段,不局限于生物组织或细胞中某种特定分子的检测,可对已知和未知多种分子进行同时成像分析,获得不同分子的空间分布、相对含量及结构信息,实现其分子的定性、定量与定位分析;还可提供不同生理及病理过程中功能分子的动态时空变化信息等。因此,MSI技术成为质谱领域以及分析化学等领域的研究前沿与热点方向之一,并在化学、医学、生命科学、药学和环境科学等领域显示出重大应用前景。此外,MSI技术是单细胞可视化分析和空间分辨代谢组学的强有力分析手段,可从动物或器官组织的整体、微区、单细胞等不同空间尺度,获取具有空间分布特征、时空动态变化的功能分子全景轮廓信息等而备受关注。 展开更多
关键词 质谱分子成像技术 二次离子质谱 基质辅助激光解吸电离质谱 常压敞开式离子化质谱 空间分辨代谢组学
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一种新型二次离子质谱的一次离子源及其离子光学系统 被引量：4
12
作者 徐福兴 王亮 +1 位作者 罗婵 丁传凡 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1501-1505,共5页
本研究设计了一种新型用于二次离子质谱的一次离子源及其离子光学系统。通过此一次离子源,大气压下产生的一次离子可以被加速、聚焦并传输到位于真空条件下的样品表面并电离样品得到可供质谱仪分析的二次离子。通过理论模拟结合实验系... 本研究设计了一种新型用于二次离子质谱的一次离子源及其离子光学系统。通过此一次离子源,大气压下产生的一次离子可以被加速、聚焦并传输到位于真空条件下的样品表面并电离样品得到可供质谱仪分析的二次离子。通过理论模拟结合实验系统研究了此一次离子源的主要组成部分———离子光学系统的原理、结构和性能。以电喷雾电离源为例,成功地将大气压下产生的溶菌酶离子加速、聚焦并传输到位于1×10-5 Torr真空下的样品表面。实验结果表明:此一次离子源可有效拓展二次离子质谱中一次离子的种类和范围。 展开更多
关键词 二次离子质谱 一次离子源 电喷雾电离 离子光学系统
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山东金刚石碳同位素组成的二次离子质谱显微分析 被引量：5
13
作者 张健 陈华 +3 位作者 陆太进 丘志力 魏然 柯捷 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期591-596,共6页
华北克拉通山东金刚石晶体生长的多阶段性及碳同位素组成已被人们关注,但很少有人对不同阶段金刚石及其内部的碳同位素组成变化进行分析。本文利用二次离子质谱(SIMS)微区分析技术对山东金刚石晶体内部不同阶段生长的δ13C进行了原位测... 华北克拉通山东金刚石晶体生长的多阶段性及碳同位素组成已被人们关注,但很少有人对不同阶段金刚石及其内部的碳同位素组成变化进行分析。本文利用二次离子质谱(SIMS)微区分析技术对山东金刚石晶体内部不同阶段生长的δ13C进行了原位测试分析,得出山东金刚石δ13C的变化范围在-5.6‰～-2.01‰,平均值为-3.63‰,与前人对华北克拉通金刚石碳同位素组成测试值(δ13C在-14.71‰～-0.46‰,主要集中在-9‰～-4‰之间)大致相同,位于全球橄榄岩型金刚石及幔源碳同位素组成主要范围(-8‰～-2‰)内。结合金刚石生长环带阴极发光图像,认为金刚石自核心部位至边缘,在同一期生长环带内,其δ13C值呈变重趋势;在多期复杂生长环带之间,δ13C值因结晶时的地质环境不同而存在差异。δ13C值的这种变化揭示了该地区金刚石复杂的生长环境,为解析华北克拉通地幔碳循环提供了定量数据。 展开更多
关键词 金刚石 碳同位素 地球化学 二次离子质谱
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UVCVD/UHVCVD技术制备SiGe HBT材料 被引量：4
14
作者 戴显英 胡辉勇 +1 位作者 张鹤鸣 孙建诚 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期306-308,325,共4页
介绍了一种新的制备SiGe/Si材料的化学气相沉积技术.该技术组合了紫外光化学气相沉积和超高真空化学气相沉积两种技术的优点,具有超高真空背景和低温淀积的特点.应用该技术在10-7Pa超高真空背景、450℃淀积温度及低于10Pa反应压力的条件... 介绍了一种新的制备SiGe/Si材料的化学气相沉积技术.该技术组合了紫外光化学气相沉积和超高真空化学气相沉积两种技术的优点,具有超高真空背景和低温淀积的特点.应用该技术在10-7Pa超高真空背景、450℃淀积温度及低于10Pa反应压力的条件下,外延生长了器件级SiGeHBT材料.SIMS分析表明,材料层界面清晰,Ge组分和掺杂分布平坦.此外,还研制出了SiGeHBT器件. 展开更多
关键词 紫外光化学气相沉积 超高真空化学气相沉积 SIGE异质结双极晶体管 HBT UVCVD UHVCVD
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单分散微米级铀氧化物微粒的制备 被引量：4
15
作者 王凡 常志远 +3 位作者 赵永刚 崔海平 张燕 李井怀 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期809-812,共4页
铀微粒同位素分析在核保障环境监测中发挥着重要作用。为保证准确测量单个微粒中铀同位素比,需使用丰度已知且尺寸适宜的标准微粒。通过将铀标准物溶解,并将溶液雾化形成液滴,再经蒸发溶剂、热分解一系列步骤,制得所需微粒。建立了1套... 铀微粒同位素分析在核保障环境监测中发挥着重要作用。为保证准确测量单个微粒中铀同位素比,需使用丰度已知且尺寸适宜的标准微粒。通过将铀标准物溶解,并将溶液雾化形成液滴,再经蒸发溶剂、热分解一系列步骤,制得所需微粒。建立了1套以振动孔气溶胶发生器为核心的单分散铀氧化物微粒的制备装置。经扫描电子显微镜观测,制备的微粒呈球形;能谱分析表明,微粒为铀氧化物;微粒粒径主要集中在1.1μm左右,由于液滴的分裂与结合,导致了一定数量的较小和较大微粒存在;经二次离子质谱测定,其丰度值与标称值吻合,不同微粒间校正因子波动较小,能够满足实际测量的要求。 展开更多
关键词 铀氧化物微粒 二次离子质谱 单分散 核保障
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二次离子质谱进展 被引量：4
16
作者 祝兆文 侯杰 +3 位作者 郑涛 马宏骥 聂锐 丁富荣 《中南民族大学学报（自然科学版）》 CAS 2011年第3期67-70,共4页
指出了二次离子质谱技术在材料表面分析方面有着广泛的应用,随着探测方法的改进,此技术也得到了迅速发展.在北京大学2×1.7MV串列静电加速器实验室,利用加速器飞行时间二次离子质谱装置对碳基材料进行了分析,通过实验观察到碳纳米... 指出了二次离子质谱技术在材料表面分析方面有着广泛的应用,随着探测方法的改进,此技术也得到了迅速发展.在北京大学2×1.7MV串列静电加速器实验室,利用加速器飞行时间二次离子质谱装置对碳基材料进行了分析,通过实验观察到碳纳米管材料对氢具有很强的吸附能力,证实了理论上对此材料储氢能力的预言. 展开更多
关键词 加速器 飞行时间 二次离子质谱 材料表面分析 碳基材料
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Ti/A1N快速退火界面反应的实验研究 被引量：4
17
作者 陈新 王佑祥 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第3期160-166,共7页
在电子封装用的A1N陶瓷多晶衬底上生长250nm的Ti膜，并进行快速退火。用RBS（卢瑟福背散射）、AES（俄歇电子能谱）、SIMS（二次离子质谱）和XRD（X射线衍射）等实验技术对界面反应进行了分析研究，用划痕实验测量了退火对Ti／A1N界面... 在电子封装用的A1N陶瓷多晶衬底上生长250nm的Ti膜，并进行快速退火。用RBS（卢瑟福背散射）、AES（俄歇电子能谱）、SIMS（二次离子质谱）和XRD（X射线衍射）等实验技术对界面反应进行了分析研究，用划痕实验测量了退火对Ti／A1N界面粘附力的影响。实验结果表明：快速退火时，Ti，A1，N以及A1N中掺杂的O均发生明显的界面扩散和界面反应。样品表面的O和A1N衬底中掺杂的O都向Ti膜中扩散，在较低的退火温度下生成TiO2；在较高的退火温度下与扩散到Ti膜中的A1反应，在Ti膜中间形成Al2O3层。N向Ti中扩散，并与Ti反应生成TiN。在薄膜和衬底之间有Ti的氧化物生成。粘附力的测量结果表明：在较低的温度下进行快速退火可以明显提高Ti／A1N界面的强度，在较高的温度下，界面强度有所下降。 展开更多
关键词 电子封装 界面反应 二次离子质谱 钛 薄膜
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GaAs中Si的二次离子质谱定量分析 被引量：3
18
作者 邹庆生 查良镇 +2 位作者 刘容 马农农 韩象明 《真空科学与技术》 CSCD 1996年第1期36-45,共10页
评述砷化镓中硅SIMS定量分析的进展，讨论了相对灵敏度因子法。对此种GaAs的原始参考物质，用实验确认了其可靠性。为常规定量分析研制了二次参考物质。对一些关键实验因素，如样品装载、仪器参数以及离子选择等进行了仔细研究，并评价... 评述砷化镓中硅SIMS定量分析的进展，讨论了相对灵敏度因子法。对此种GaAs的原始参考物质，用实验确认了其可靠性。为常规定量分析研制了二次参考物质。对一些关键实验因素，如样品装载、仪器参数以及离子选择等进行了仔细研究，并评价它们对定量重复性、精确性、检测限和基体效应的影响。Cs+源入射时GaAs中Si定量分析精度在15％内；检测AsSi二次离子时，29Si的检测限达5×1014atoms／cm3。 展开更多
关键词 二次离子质谱 定量分析 砷化镓 硅分析
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溶胶-凝胶法制备掺氟二氧化硅低介电常数薄膜 被引量：2
19
作者 陈佾 沈杰 +5 位作者 徐伟 严学俭 章壮健 华中一 周峥嵘 陶凤岗 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2002年第1期10-14,共5页
采用溶胶 凝胶法制备了低介电常数SiO2 薄膜和SiOF薄膜 ,F的掺入明显地降低了SiO2 薄膜的介电常数。研究了F的掺杂量对薄膜介电常数的影响 ,测量了 10～ 3 0 0kHz范围内电容随频率变化的曲线 ,并计算了相应介电常数。二次离子质谱对薄... 采用溶胶 凝胶法制备了低介电常数SiO2 薄膜和SiOF薄膜 ,F的掺入明显地降低了SiO2 薄膜的介电常数。研究了F的掺杂量对薄膜介电常数的影响 ,测量了 10～ 3 0 0kHz范围内电容随频率变化的曲线 ,并计算了相应介电常数。二次离子质谱对薄膜深度分析的结果表明 ,F在薄膜中的分布是不均匀的。讨论了溶胶 凝胶法制备掺F的SiO2 薄膜过程中各种因素对介电常数的影响 。 展开更多
关键词 介电常数 溶胶-凝胶法 掺氟SiO2薄膜 二氧化硅薄膜 表面形貌 制备
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飞行时间二次离子质谱结合X-射线光电子能谱分析化学清洗后残留的表面有机物 被引量：1
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作者 邓朝辉 林晶 +1 位作者 任云珠 宗祥福 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1995年第9期1102-1106,共5页
用飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)结合X射线光电子能谱,分析了用化学方法清洗后银片上残留的未知有机物.TOF-SIMS与XIPS提供的互补的表面信息显示,中分子量以上的有机物主要是几种链长22～27碳原子、碳链饱和度很高的多酮类化合物,可... 用飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)结合X射线光电子能谱,分析了用化学方法清洗后银片上残留的未知有机物.TOF-SIMS与XIPS提供的互补的表面信息显示,中分子量以上的有机物主要是几种链长22～27碳原子、碳链饱和度很高的多酮类化合物,可能还有一些多酯类化合物.这些有机物中的C=O基团易于采取氧原子指向金属基体表面的取向,通过带部分负电荷的氧原子与金属基体镜像力的作用而增强粘附. 展开更多
关键词 质谱 有机沾污 XPS
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