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翘板式射频MEMS开关的研究
被引量：
1
1
作者
刘茂哲
李全宝
+4 位作者
焦斌斌
高超群
罗小光
景玉鹏
叶甜春
《微纳电子技术》
CAS
2008年第5期282-286,共5页
提出了一种新型的翘板式静电射频微系统开关，给出了理论模拟，结构分析结果和工艺制作方法。该结构采用了5μm厚的无应力单晶硅作为开关的可动部分，可以缓解薄膜应力变形。翘板式结构解决了传统静电设计中动作力弱的问题，并且通过调...
提出了一种新型的翘板式静电射频微系统开关，给出了理论模拟，结构分析结果和工艺制作方法。该结构采用了5μm厚的无应力单晶硅作为开关的可动部分，可以缓解薄膜应力变形。翘板式结构解决了传统静电设计中动作力弱的问题，并且通过调整支点解决了开关回复力不可调的难题。利用该结构可以在保持高隔离度的同时使驱动电压降低，有限元理论模拟驱动电压为5～10V；采用翘板式结构增加了开关的使用周期，而且结构自身具有单刀双掷特点，可以直接应用于高频通信的频道选择。给出了开关共面波导传输线的测试结果和设计讨论。
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关键词
射频开关
单晶硅
微机电系统(MEMS)
静电驱动
驱动电压
共面波导(CPW)
下载PDF
职称材料
题名
翘板式射频MEMS开关的研究
被引量：
1
1
作者
刘茂哲
李全宝
焦斌斌
高超群
罗小光
景玉鹏
叶甜春
机构
中国科学院微电子研究所硅器件与集成技术研究室
出处
《微纳电子技术》
CAS
2008年第5期282-286,共5页
基金
中国科学院微电子所所长基金项目(06SF021002)
文摘
提出了一种新型的翘板式静电射频微系统开关，给出了理论模拟，结构分析结果和工艺制作方法。该结构采用了5μm厚的无应力单晶硅作为开关的可动部分，可以缓解薄膜应力变形。翘板式结构解决了传统静电设计中动作力弱的问题，并且通过调整支点解决了开关回复力不可调的难题。利用该结构可以在保持高隔离度的同时使驱动电压降低，有限元理论模拟驱动电压为5～10V；采用翘板式结构增加了开关的使用周期，而且结构自身具有单刀双掷特点，可以直接应用于高频通信的频道选择。给出了开关共面波导传输线的测试结果和设计讨论。
关键词
射频开关
单晶硅
微机电系统(MEMS)
静电驱动
驱动电压
共面波导(CPW)
Keywords
radio
-
frequecy
（
rf
）
switch
single
crystal
silicon
microelectromechanical
system
（MEMS）
electrostatic
actuation
actuatin
voltage
coplanar
waveguide
（CPW）
分类号
TH703 [机械工程—仪器科学与技术]
TN304.12 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
翘板式射频MEMS开关的研究
刘茂哲
李全宝
焦斌斌
高超群
罗小光
景玉鹏
叶甜春
《微纳电子技术》
CAS
2008
1
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职称材料
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