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一种压阻式微压力传感器 被引量：24
1
作者 李伟东 吴学忠 李圣怡 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第7期1-2,5,共3页
微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的微器件之一,它结构简单、用途广。基于压阻效应、惠斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微压力传感器。为增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。基于一些相关的微加工工艺制定了制... 微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的微器件之一,它结构简单、用途广。基于压阻效应、惠斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微压力传感器。为增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。基于一些相关的微加工工艺制定了制作这种微传感器的工艺流程并且制作成功了传感芯片。设计了一个处理电路去获得此传感器的输出信号,它由两级放大电路和两级巴特沃斯低通滤波电路组成。最后利用这个测试系统检测出了随压力变化而发生变化的微电压信号。 展开更多
关键词 微机电系统 压阻式 微传感器 测试系统
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压阻式硅微二维加速度计的加工与测试 被引量：19
2
作者 陈尚 薛晨阳 +3 位作者 张文栋 张斌珍 张国军 张开瑞 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第4期272-277,共6页
提出了一种压阻式的硅微二维加速度计,该加速度计采用4个相互垂直的悬臂梁支撑中间有刚硬柱体的结构,利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量水平面内两个方向的加速度.结合微结构的力学分析模型以及压阻原理分析了加速度计的灵敏... 提出了一种压阻式的硅微二维加速度计,该加速度计采用4个相互垂直的悬臂梁支撑中间有刚硬柱体的结构,利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量水平面内两个方向的加速度.结合微结构的力学分析模型以及压阻原理分析了加速度计的灵敏特性.采用硅微机械加工工艺完成了加速度计的加工,应用微系统分析仪、激光拉曼光谱应力测试仪以及振动台分别对加工出的微结构形貌、残余应力、频响以及灵敏特性进行了相关测试.测试结果表明,两个方向的输出值均灵敏度高、线形度较好,X向灵敏度为1.017,4,mV/g(g为重力加速度),线性系数为0.999,91,Y向灵敏度为0.897,61,mV/g,线性系数为0.999,45.微加速度计的频响曲线较为平坦,其共振频率大约为670,Hz. 展开更多
关键词 微机电系统 二维加速度计 压阻效应 高灵敏度
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导电掺和料形态与水泥基材料压敏性的相关性 被引量：12
3
作者 韩宝国 关新春 欧进萍 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期137-141,共5页
　研究了含有碳纤维、石墨、钢纤维的水泥基材料的导电性及其在压应力作用下电阻率的变化规律;探讨了掺有导电掺合料的水泥石电阻率的变化机理。研究表明,水泥基材料具备压敏效应的前提条件是其导电网络达到渗流区,而碳纤维由于长径比... 　研究了含有碳纤维、石墨、钢纤维的水泥基材料的导电性及其在压应力作用下电阻率的变化规律;探讨了掺有导电掺合料的水泥石电阻率的变化机理。研究表明,水泥基材料具备压敏效应的前提条件是其导电网络达到渗流区,而碳纤维由于长径比大、密度小,极小掺量即可使水泥石进入渗流区,产生压敏效应。 展开更多
关键词 导电掺和料 压敏效应 电阻率
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碳纤维复合材料单向层合板自传感特性 被引量：9
4
作者 骆心怡 李顺林 +2 位作者 王开坤 熊克 朱晓荣 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期638-642,共5页
通过测试碳纤维/环氧复合材料(CFRP单向层合板单轴拉伸和循环拉伸时的电阻变化,研究了碳纤维复合材料单向层合板自传感特性.结果表明:不同铺层方向CFRP单向层合板拉伸时体积电阻变化特性各不相同,该电阻变化特性比应力、应变能更多地反... 通过测试碳纤维/环氧复合材料(CFRP单向层合板单轴拉伸和循环拉伸时的电阻变化,研究了碳纤维复合材料单向层合板自传感特性.结果表明:不同铺层方向CFRP单向层合板拉伸时体积电阻变化特性各不相同,该电阻变化特性比应力、应变能更多地反映有关材料内部结构变化的信息;CFRP单向层合板具有压阻效应,压阻效应随着应力的增加而增加,偏轴拉伸、横向拉伸时压阻效应比纵向拉伸时要大,且随铺层方向角的增大,压阻效应越来越明显.利用CFRP单向层合板这种自传感特性,可实现在线实时自监测以及对其损伤、破坏的自诊断. 展开更多
关键词 单向层合板 自传感特性 碳纤维复合材料 压阻效应 偏轴拉伸 横向拉伸
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基于应变片压阻效应的柔性传感器阵列的设计 被引量：15
5
作者 肖立志 郭兰申 张磊 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第7期4-6,19,共4页
为了使应用于机器人"皮肤"的传感器满足柔性、可阵列化和灵敏度高的需求,在传统应变式压力传感器的基础上,提出了基于应变片的压阻式柔性压力传感器的设计方案。在实验室条件下,应用三元乙丙橡胶作为弹性元件,制作柔性压力传... 为了使应用于机器人"皮肤"的传感器满足柔性、可阵列化和灵敏度高的需求,在传统应变式压力传感器的基础上,提出了基于应变片的压阻式柔性压力传感器的设计方案。在实验室条件下,应用三元乙丙橡胶作为弹性元件,制作柔性压力传感器,根据应变片的压阻效应可知,在弹性元件表面的压力值与电阻的变化存在对应关系。为了能够快速识别每个传感器单元的受力信息,采用行扫描法对传感器阵列逐行扫描。为了能够大面积覆盖,采用FPC连接器对柔性传感器阵列块与块之间进行连接,以及进行传感器阵列与控制板之间信号的传递。 展开更多
关键词 机器人 柔性 压力传感器 压阻效应 弹性元件 行扫描法
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新型硅微加速度传感器的设计与制作 被引量：9
6
作者 李军俊 刘理天 杨景铭 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第S1期86-89,共4页
研究了一种新型的谐振式硅微加速度传感器，对其结构和工艺进行设计，并制作出了一系列不同结构和尺寸的这种器件。该加速度传感器在制作支撑梁的同时制作了用于检测信号的谐振梁，并采用电阻热驱动、压阻桥同步检测的方法来获得信号输... 研究了一种新型的谐振式硅微加速度传感器，对其结构和工艺进行设计，并制作出了一系列不同结构和尺寸的这种器件。该加速度传感器在制作支撑梁的同时制作了用于检测信号的谐振梁，并采用电阻热驱动、压阻桥同步检测的方法来获得信号输出。设计方案利用了压阻传感技术和体硅微加工技术，又拥有谐振原理所带来的高分辨率，高稳定性和易于与信号处理电路结合的优点，以较低的成本获得了很高的器件性能。其结构尺寸从３ｍｍ×４ｍｍ到６ｍｍ×６ｍｍ不等。 展开更多
关键词 微加速度传感器 微机械加工技术 谐振梁 压阻效应
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一种MEMS高温压力传感器 被引量：9
7
作者 王伟忠 何洪涛 +1 位作者 卞玉民 杨拥军 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第6期387-393,共7页
基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时,对传... 基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时,对传感器的电阻结构、金属布线系统、传感器支撑层键合技术及流片工艺进行了设计,完成了芯片的加工。设计了传感器耐高温封装结构,完成了传感器的初级封装。最后,对常规MEMS压力传感器及研制的高温压力传感器的基本性能、电阻温度特性、漏电流温度特性进行了测试和对比,实验结果表明研制的高温压力传感器能够耐受350℃的高温。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 压力传感器 绝缘体上硅(SOI) 压阻效应 高温
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力敏导电橡胶中的应变和压阻效应及工作原理分析 被引量：9
8
作者 刘平 黄英 +2 位作者 仇怀利 张玉刚 葛运建 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期112-115,共4页
分析了应变和压阻效应对"负压力-电阻特性"(NPC)的影响程度,揭示出力敏导电橡胶的工作原理。当填料用量处在渗流区中心时,电阻率的减小在NPC效应中占主导,导电橡胶的工作原理主要为压阻效应。随着填料用量的增多,电阻几何系... 分析了应变和压阻效应对"负压力-电阻特性"(NPC)的影响程度,揭示出力敏导电橡胶的工作原理。当填料用量处在渗流区中心时,电阻率的减小在NPC效应中占主导,导电橡胶的工作原理主要为压阻效应。随着填料用量的增多,电阻几何系数的减小在NPC效应中起主导,其工作原理主要为应变效应。在某一特定填料用量范围,力敏导电橡胶的工作原理还与压力大小有关。压力较小时,电阻率的减小在NPC效应中占主导,其工作原理主要为压阻效应;压力较大时,电阻几何系数的减小在NPC效应中占主导,其工作原理主要为应变效应。 展开更多
关键词 应变效应 压阻效应 导电橡胶 柔性触觉传感器
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导电橡胶复合材料压力传感特性研究 被引量：9
9
作者 仉月仙 李斌 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期11105-11109,共5页
基于填充型导电高分子柔性复合材料压阻效应,研究导电橡胶压力传感过程中的特殊性能。确定了实验材料与合成工艺,实验室制备出了炭黑填充型导电硅橡胶柔性复合材料,研究了复合材料压力传感特性主要影响因素。分别采用气相法和液相法对... 基于填充型导电高分子柔性复合材料压阻效应,研究导电橡胶压力传感过程中的特殊性能。确定了实验材料与合成工艺,实验室制备出了炭黑填充型导电硅橡胶柔性复合材料,研究了复合材料压力传感特性主要影响因素。分别采用气相法和液相法对炭黑粒子进行表面氧化改性,可有效提高炭黑在基体材料中的分散性,从而改善和提高压力传感性能。双组分基体材料压阻特性优于单组分材料,粘度越大,压阻特性越好,压力传感过程中的电阻弛豫时间越短,电阻迟滞特性系数越小。炭黑与多壁碳纳米管并用,可增强复合材料力敏效应,提高复合材料压力传感性能。 展开更多
关键词 导电橡胶 压阻效应 压力变送特性 柔性传感器
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MEMS铁磁磁场传感器的研究 被引量：8
10
作者 杜广涛 陈向东 +2 位作者 林其斌 李辉 郭辉辉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1534-1540,共7页
提出了一种新型的基于Si压阻效应的铁磁体MEMS磁场传感器结构,其结构由制作在硅桥敏感膜表面的惠斯通电桥和在膜中间旋涂环氧胶沾上铁磁体制成。铁磁体在外磁场中磁化产生磁力,磁力耦合到硅桥敏感膜上会产生应力使膜上的惠斯通电桥产生... 提出了一种新型的基于Si压阻效应的铁磁体MEMS磁场传感器结构,其结构由制作在硅桥敏感膜表面的惠斯通电桥和在膜中间旋涂环氧胶沾上铁磁体制成。铁磁体在外磁场中磁化产生磁力,磁力耦合到硅桥敏感膜上会产生应力使膜上的惠斯通电桥产生电压输出以达到测量磁场的目的。文章先通过有限元软件对铁磁体在磁场中的受力大小和磁场传感器在磁力下的输出进行了仿真,然后对该结构进行了测试,仿真结果和实验结果较接近。实验测得该传感器最大灵敏度为70 mV/T,分辨率为330μT。该磁场传感器结构简单、工艺成熟、成本低,易于大批量生产。 展开更多
关键词 压阻效应 磁场传感器 铁磁体 MEMS 磁力
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一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计 被引量：8
11
作者 张国军 陈尚 +2 位作者 薛晨阳 乔慧 张开锐 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1940-1945,共6页
以压阻检测技术为基础并结合硅微MEMS加工技术设计了一种二维加速度计微结构,期望利用该新型的结构提高加速度计的灵敏度,实现二维方向的加速度检测。该加速度计采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间有刚硬柱体的结构,通过利用合理布置的... 以压阻检测技术为基础并结合硅微MEMS加工技术设计了一种二维加速度计微结构,期望利用该新型的结构提高加速度计的灵敏度,实现二维方向的加速度检测。该加速度计采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间有刚硬柱体的结构,通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量水平面内两个方向的加速度。建立了该结构的数学模型并用有限元分析软件ANSYS对敏感弹性元件进行分析。最后对加工出的加速度计进行了相关的测试。测试结果表明:该加速度计水平面内两个方向的灵敏度高、线形度较好,X向灵敏度为0.7552mv/g,线性度为0.99967,Y向灵敏度为0.6833mv/g,线性度为0.99966。 展开更多
关键词 二维加速度计 压阻效应 MEMS ANSYS
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一种压阻式微压传感器芯片设计与实现 被引量：8
12
作者 吴佐飞 尹延昭 +1 位作者 田雷 王永刚 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第6期73-74,78,共3页
基于压阻效应和惠斯通电桥原理,设计了一种压阻式微压传感器;为了增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。从微压芯片敏感薄膜的设计、敏感电阻条的确定以及敏感电阻器位置的选取等方面考虑,设计了具有应力匀散效应的梁-膜结构并进行... 基于压阻效应和惠斯通电桥原理,设计了一种压阻式微压传感器;为了增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。从微压芯片敏感薄膜的设计、敏感电阻条的确定以及敏感电阻器位置的选取等方面考虑,设计了具有应力匀散效应的梁-膜结构并进行了工艺验证。验证结果表明:所设计的微压芯片灵敏度达到了24 mV/kPa,非线性优于0.2%FS。 展开更多
关键词 压阻效应 微压传感器 绝缘体上硅 梁-膜结构
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一种新型柔性触觉阵列传感器信号处理电路设计 被引量：6
13
作者 董万成 黄英 +1 位作者 明小慧 向蓓 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第9期75-78,共4页
依据一种利用压阻特性的3×3点阵的柔性触觉传感器,设计了针对这种新型柔性触觉传感器的信号处理电路。该电路能完成信号放大、阵列信号的选通、A/D转换以及通过LED电路对其信号的采集。并详细地阐述了电路的原理和所用芯片的功能... 依据一种利用压阻特性的3×3点阵的柔性触觉传感器,设计了针对这种新型柔性触觉传感器的信号处理电路。该电路能完成信号放大、阵列信号的选通、A/D转换以及通过LED电路对其信号的采集。并详细地阐述了电路的原理和所用芯片的功能。所设计的信号处理电路能够判断出这种触觉传感器单元所受三维加载力的大小和位置。通过在正向压力的加载试验,验证了电路的可行性。 展开更多
关键词 信号处理 压阻特性 阵列 触觉传感器
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碳纤维三维角联锁机织复合材料弯曲作用下力阻响应 被引量：3
14
作者 薛有松 薛凌明 +1 位作者 孙宝忠 顾伯洪 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期1468-1476,共9页
电阻法在碳纤维复合材料结构健康监测(SHM)中具有巨大应用前景。本文研究了碳纤维三维角联锁机织复合材料经向和纬向试件在弯曲作用下力-电阻响应,探究电阻变化与复合材料结构损伤的相关性。试验结果表明:经向和纬向试件在弯曲作用下电... 电阻法在碳纤维复合材料结构健康监测(SHM)中具有巨大应用前景。本文研究了碳纤维三维角联锁机织复合材料经向和纬向试件在弯曲作用下力-电阻响应,探究电阻变化与复合材料结构损伤的相关性。试验结果表明:经向和纬向试件在弯曲作用下电阻变化与试件主要承载纱线损伤情况具有相关性。准静态三点弯曲加载下,试件电阻变化可以反映试件承载能力变化:在最大载荷点之前,试件电阻基本不变;主要承载纱线发生断裂损伤时,电阻增加。弯曲疲劳加载下,试件电阻变化可以反映试件承载能力退化情况:在弯曲疲劳加载前期,三维角联锁机织复合材料呈现负压阻效应;随着循环次数增加,基体裂纹、界面脱粘等不可逆损伤不断累积,电阻缓慢增大;在弯曲疲劳加载后期,主要承载纱线断裂,电阻显著增加;试件最终疲劳失效时,电阻急剧增加。 展开更多
关键词 三维角联锁复合材料 三点弯 力阻响应 结构健康监测 碳纤维
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基于Ag/CNTs-PDMS的高灵敏度柔性压力传感器研制及性能测试 被引量：7
15
作者 赵秀华 徐伟 +1 位作者 易旺民 彭倚天 《航天器环境工程》 2019年第3期271-277,共7页
智能传感的应用对柔性压力传感器的需求量和性能提出了更高的要求,因此,需要开发一种简单、廉价、可批量化的方法实现大范围、高灵敏压力传感器的制造。文章基于压阻效应,采用浸渍-干燥法制备了一种基于镀银碳纳米管-聚二甲基硅氧烷(Ag/... 智能传感的应用对柔性压力传感器的需求量和性能提出了更高的要求,因此,需要开发一种简单、廉价、可批量化的方法实现大范围、高灵敏压力传感器的制造。文章基于压阻效应,采用浸渍-干燥法制备了一种基于镀银碳纳米管-聚二甲基硅氧烷(Ag/CNTs-PDMS)复合结构的柔性压力传感器。研究表明,所制备的压力传感器具有较高的灵敏度(0.718 kPa^-1)、较宽的工作范围(40 kPa)、较短的响应时间(1.14 s)以及良好的可重复性,有望用于在轨实时压力监测。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 镀银碳纳米管 聚二甲基硅氧烷 压阻效应 浸渍-干燥法
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一种新型硅基厚膜压力/温度传感器的设计和制作 被引量：6
16
作者 张艳红 刘兵武 +3 位作者 刘理天 张兆华 谭智敏 林惠旺 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期2376-2379,共4页
设计并制作了一种新型传感器,它包含压阻式压敏元件和热敏元件两部分.其中压敏元件采用比常规更厚的50μm硅杯薄膜(500μm×500μm),增大了体硅上高应力区的面积,在降低工艺要求的同时提高了线性测量范围和过载压力.压敏电阻设计为... 设计并制作了一种新型传感器,它包含压阻式压敏元件和热敏元件两部分.其中压敏元件采用比常规更厚的50μm硅杯薄膜(500μm×500μm),增大了体硅上高应力区的面积,在降低工艺要求的同时提高了线性测量范围和过载压力.压敏电阻设计为折线结构,采用优化的几何尺寸,并将其部分制作在高应力体硅上以获得更高灵敏度.体硅上的温敏电阻随压敏电阻利用同步注入工艺制作,减小了工艺复杂度.该器件工艺简单,成品率高,与标准IC工艺兼容.初步的测试结果表明器件具有良好的性能. 展开更多
关键词 压力/温度传感器 压阻效应 应力分布 集成工艺
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阵列式脉象传感器的设计与制作 被引量：6
17
作者 齐天华 刘继伟 高文秀 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第8期86-88,共3页
提出了一种用微机电系统(MEMS)技术应变传感器阵列探头客观细腻地采集人体脉象的新思路。探头采用直接腐蚀出电阻条的技术,具有工艺简单、成本低廉、电阻变化率高、工作可靠等优点。对设计进行了理论计算和优化,并用有限元分析软件ANSYS... 提出了一种用微机电系统(MEMS)技术应变传感器阵列探头客观细腻地采集人体脉象的新思路。探头采用直接腐蚀出电阻条的技术,具有工艺简单、成本低廉、电阻变化率高、工作可靠等优点。对设计进行了理论计算和优化,并用有限元分析软件ANSYS8.0进行了结构和电耦合场仿真,模拟悬臂梁端点位移对电阻变化的影响。当悬臂梁末端位移变化为50μm时,电阻变化率模拟结果为18.84%,与理论计算值19.67%符合得很好。 展开更多
关键词 脉象 压阻效应 微机电系统 ANSYS仿真
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基于压阻效应的陶瓷压力传感器 被引量：7
18
作者 邬林 陈丛 +2 位作者 钱江蓉 赵潇 胡国俊 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第6期26-28,共3页
设计制作了一种基于压阻效应的陶瓷压力传感器,采用宜弯折柔性调理电路,体积小、稳定性好、宜封装集成。在不同温度、压强环境条件下,对传感器进行了系列实验测试,其满量程综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.975%,完全符合压力... 设计制作了一种基于压阻效应的陶瓷压力传感器,采用宜弯折柔性调理电路,体积小、稳定性好、宜封装集成。在不同温度、压强环境条件下,对传感器进行了系列实验测试,其满量程综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.975%,完全符合压力传感器通用技术条件规定的综合误差要求,性能指标优良。加之陶瓷芯片具有耐腐蚀、抗磨损、成本低廉等优点,该传感器可被广泛应用在各种压力检测的场合。 展开更多
关键词 压阻效应 陶瓷 压力传感器 压力检测 柔性调理电路
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基于纳米孔的宽量程石墨烯压力传感器
19
作者 康裕 王俊强 +3 位作者 曹咏弘 董琪琪 李云飞 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期79-85,共7页
针对传统微机电系统(MEMS)压力传感器性能难以提升且结构复杂等问题,制备了一种基于纳米孔的宽量程石墨烯压力传感器结构。在Si_(3)N_(4)薄膜上刻蚀了阵列纳米孔作为压力腔,使用单层石墨烯夹在氮化硼薄膜间作为敏感结构,平铺于纳米孔阵... 针对传统微机电系统(MEMS)压力传感器性能难以提升且结构复杂等问题,制备了一种基于纳米孔的宽量程石墨烯压力传感器结构。在Si_(3)N_(4)薄膜上刻蚀了阵列纳米孔作为压力腔,使用单层石墨烯夹在氮化硼薄膜间作为敏感结构,平铺于纳米孔阵列上,由金布线层导出信号。测试表明,在0~20 MPa压力范围内,该压力传感器的灵敏度为9.35×10^(-5) MPa^(-1),重复性误差为满量程输出(FSO)的5.70%,迟滞为1.91%FSO,线性度为2.43%FSO,其重复性与线性度良好且迟滞较小。设计的宽量程石墨烯压力传感器能够实现0~20 MPa以内的压力测量,且器件加工一致性高、测量误差小、制备方法相对简单,有助于降低生产成本和提高生产效率,在压力测试领域展现出良好的应用前景。 展开更多
关键词 纳米孔 石墨烯 压力传感器 微机电系统(MEMS) 压阻效应
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基于SOI的MEMS高温压阻式压力传感器 被引量：6
20
作者 单存良 梁庭 +4 位作者 王文涛 雷程 薛胜方 刘瑞芳 李志强 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第4期325-331,共7页
基于高温环境下压力实时监测的广泛需求,设计并制备了一种最大量程为1.5 MPa的绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了传感器力学结构和电学性能的设计,采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺完成了敏感... 基于高温环境下压力实时监测的广泛需求,设计并制备了一种最大量程为1.5 MPa的绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了传感器力学结构和电学性能的设计,采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺完成了敏感芯片的制备,并使用了一种可耐300℃高温的封装技术。实验中采用了常温压力测试平台和压力-温度复合测试平台进行测试,测试结果表明,封装后的传感器在常温环境下具有良好的非线性误差、迟滞性和重复性,其灵敏度可达到0.082 8 mV/kPa,同时在300℃高温环境中其灵敏度仍可达0.063 8 mV/kPa。 展开更多
关键词 高温压力传感器 微电子机械系统(MEMS) 压阻效应 灵敏度 倒装封装
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