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移相干涉测量术及其应用 被引量:35
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作者 朱日宏 陈磊 +2 位作者 王青 高志山 何勇 《应用光学》 CAS CSCD 2006年第2期85-88,共4页
为了对移相式数字干涉仪在光学元件测量中的应用有全面了解,介绍了移相干涉术的基本原理。结合激光数字波面干涉仪,阐述移相干涉术的四步重叠平均算法、压电晶体移相器(PZT)的结构、3 PZT的组合方法、移相器的标定误差和非线性误差的校... 为了对移相式数字干涉仪在光学元件测量中的应用有全面了解,介绍了移相干涉术的基本原理。结合激光数字波面干涉仪,阐述移相干涉术的四步重叠平均算法、压电晶体移相器(PZT)的结构、3 PZT的组合方法、移相器的标定误差和非线性误差的校正方法、波面相位解包的自适应种子算法、波面相位的评价指标等内容。结合移相数字波面干涉仪,叙述了移相干涉测量技术在普通光学元件、红外光学元件、大口径光学元件、非球面光学元件等测量中的应用并指出了应用过程中的注意事项。最后明确指出光干涉技术正沿着高相位分辨率、高空间分辨率、宽波段和瞬态高速测量的方向发展,并将会在瞬态波前测量、微机械的微结构动态分析等方面有着越来越广泛的应用。 展开更多
关键词 移相干涉术 光学测量 干涉仪
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基于相位测量偏折术的透镜波像差检测方法 被引量:7
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作者 赖恒 李大海 +1 位作者 高锦瑞 阮一郎 《光学与光电技术》 2021年第3期25-32,共8页
根据逆哈特曼检测原理建立了逆光线追迹模型,对透射相位测量偏折术系统进行了分析,并提出了可适用于透镜或成像镜头波像差测量的计算方法。在波像差定义的基础上,通过计算正逆模型光程差的对比在原理上验证了此方法的可行性,通过模拟计... 根据逆哈特曼检测原理建立了逆光线追迹模型,对透射相位测量偏折术系统进行了分析,并提出了可适用于透镜或成像镜头波像差测量的计算方法。在波像差定义的基础上,通过计算正逆模型光程差的对比在原理上验证了此方法的可行性,通过模拟计算验证了本方法的有效性。结合实际光线标定、系统模型追迹和N步相移算法得到了实际透镜的波像差。在实验中测量一个平凸透镜的波像差,并与干涉仪的测量结果进行对比,两者测得的波像差的RMS差仅为0.03μm,验证了此方法能够精确地测量透镜的波像差。结果表明,本方法具有装置简单、成本低、计算原理简单等优点。在无需干涉仪的前提下,为测量透镜的波像差提供了一种新的离线或在线/在位检测手段。 展开更多
关键词 相位偏折术 波像差 测量 透镜 干涉仪
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光刻投影物镜畸变检测技术 被引量:5
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作者 曹译莎 唐锋 +4 位作者 王向朝 刘洋 冯鹏 卢云君 郭福东 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2022年第9期206-222,共17页
光刻投影物镜的畸变是影响光刻机套刻精度最重要的因素之一,畸变会导致物镜的横向放大率随视场的增大而变化,曝光到硅片上的图形相对于其理想位置发生偏移,从而引起套刻误差。在物镜的装调和使用过程中都需要对畸变进行检测和优化调整,... 光刻投影物镜的畸变是影响光刻机套刻精度最重要的因素之一,畸变会导致物镜的横向放大率随视场的增大而变化,曝光到硅片上的图形相对于其理想位置发生偏移,从而引起套刻误差。在物镜的装调和使用过程中都需要对畸变进行检测和优化调整,而目前高端光刻投影物镜的畸变小于1 nm,对其进行高精度检测是该领域的难点。对三种常用的光刻机畸变检测技术(曝光检测、空间像检测和波前检测)的原理和特点进行了分析,并对其发展方向进行了展望。对于16~19 nm及16 nm以下的光刻节点,多通道检测技术是提高畸变检测精度与速度的重要发展方向。 展开更多
关键词 测量与计量 光刻术 畸变检测 曝光 空间像传感器 相位测量干涉仪
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基于FPGA的外差干涉信号处理方法 被引量:5
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作者 时颖 句爱松 乐燕芬 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期225-227,共3页
外差信号处理系统是外差干涉测量系统精度测量的重要组成部分。为了实现外差干涉的相位移测量,采用一种整数计数和小数计数相结合的外差信号相位测量方法,利用VERILOG语言编写整数计数以及小数计数模块程序,并进行了仿真验证,理论分析... 外差信号处理系统是外差干涉测量系统精度测量的重要组成部分。为了实现外差干涉的相位移测量,采用一种整数计数和小数计数相结合的外差信号相位测量方法,利用VERILOG语言编写整数计数以及小数计数模块程序,并进行了仿真验证,理论分析测量分辨率为(11π/375)rad。结果表明,该方案硬件实现电路简单、可移植性强,只需一个基于现场可编程门阵列的最小系统即可实现。 展开更多
关键词 测试与计量 相位测量 现场可编程门阵列 外差干涉仪 信号处理
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The Phase Sensitivities for Different Phase-Shift Configurations in an SU(1,1) Interferometer
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作者 Fan Wang Wei Zhong +1 位作者 Lan Zhou Yu-Bo Sheng 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2019年第12期1435-1442,共8页
We theoretically study the phase sensitivities of two different phase-shift configurations in an SU(1,1)interferometer with coherent■squeezed vacuum states.According to quantum Cramér-Rao theorem,we analytically... We theoretically study the phase sensitivities of two different phase-shift configurations in an SU(1,1)interferometer with coherent■squeezed vacuum states.According to quantum Cramér-Rao theorem,we analytically obtain the ultimate phase sensitivities for two types of phase shift accumulating in one-and two-arm.Compared with the case of one-arm phase shift,the model with phase shift encoding in both arms may provide a better sensitivity when the strength of squeezed vacuum state is large enough.Furthermore,we discuss the achievable sensitivities with the homodyne measurement by invoking of error-propagation formula.In addition,we study the effect of internal and outernal photon losses on the phase sensitivity of the SU(1,1)interferometer and find that the unbalanced interferometer is helpful to improve precision even with high external losses. 展开更多
关键词 SU(1 1)interferometer quantum Fisher information one-and two-arm phase shifts Homodyne measurement
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混叠信号抗频率及角度测量特性分析
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作者 周龙建 黄秀琼 《战术导弹技术》 北大核心 2022年第5期55-61,125,共8页
为分析混叠信号环境对电子侦察参数测量的影响,基于典型的相位差分法测频和干涉仪测向原理,通过理论推导合成信号相位及通道间的相位差,并进行了数值仿真,分析了各信号频率、幅度、持续时间三个特征对频率和到达角两维参数测量结果的影... 为分析混叠信号环境对电子侦察参数测量的影响,基于典型的相位差分法测频和干涉仪测向原理,通过理论推导合成信号相位及通道间的相位差,并进行了数值仿真,分析了各信号频率、幅度、持续时间三个特征对频率和到达角两维参数测量结果的影响。理论分析与仿真结果均表明,测量的叠加信号频率及到达角测量值的波动具有周期性,且周期内的均值与幅度较大信号的频率、到达角数值相等。因此,可以通过调节分量信号的特征及持续时间,在一定程度上控制测量值按需变化。 展开更多
关键词 混叠信号 相位差分 测频 干涉仪 测向 射频隐身 分选
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次条纹积分干涉计量
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作者 王鸣 戚小平 邹春华 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第12期1613-1616,共4页
叙述了次条纹积分干涉计量的原理,仅用一幅光载频干涉条纹图获取全部位相信息。先用分段积分法求出条纹初始位相,再由最小二乘原理,迭代出信息的位相解。并讨论了条纹位相的算法,误差修正和测量面形的应用。
关键词 位相测量 次条纹积分 干涉仪
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恒光强扫描干涉光刻条纹锁定系统设计
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作者 王磊杰 罗伟文 +1 位作者 张鸣 朱煜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期938-947,共10页
为提高扫描干涉光刻机的加工效率和加工精度、扩大加工范围、降低维护成本,提出了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统方案,并着重介绍了最为关键的恒光强干涉条纹相位锁定系统的设计。首先,介绍... 为提高扫描干涉光刻机的加工效率和加工精度、扩大加工范围、降低维护成本,提出了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统方案,并着重介绍了最为关键的恒光强干涉条纹相位锁定系统的设计。首先,介绍了扫描干涉光刻中干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统原理方案,并设计实现了恒光强外差声光移频式干涉条纹相位锁定控制系统。然后,分析了控制系统理论模型,对系统实际模型进行辨识和高阶线性拟合,并设计了系统控制器。最后,在该控制器的基础上开展了调试和条纹锁定控制。实验结果显示,开启条纹锁定控制后,100 Hz以下的低频扰动成分受到明显抑制,干涉图形相位锁定的残余误差为0.0693 rad(3σ),即相位变化小于±0.01个干涉条纹周期;光束偏移调控误差达到100μm时,干涉条纹锁定性能仍能保持稳定。该系统不仅可实现不同干涉姿态下干涉条纹的高精度锁定,还具有较大的光束调控误差裕度,满足干涉条纹周期、方向和相位同步实时控制的扫描干涉光刻机的需求。 展开更多
关键词 扫描干涉光刻 条纹锁定 外差相位测量干涉仪
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