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题名坡莫磁阻薄膜的热处理研究
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作者
章岚
郭懋端
徐梅娣
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机构
中科院上海冶金所
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
1993年第5期399-401,共3页
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文摘
研究了坡莫磁阻薄膜的热处理工艺对电磁性能和组织结构的影响。通过溅射样品退火处理前后的X射线和TEM分析表明退火后(111)织构加强,堆垛层错减少,晶粒长大,缺陷减少。退火后电阻率下降,各向异性磁阻提高,但软磁性能没有改善,这些是与微结构变化相联系的。
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关键词
坡莫磁阻薄膜
堆垛层错
热处理
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Keywords
(111) texture
permalloy thin films
stacking faults
soft magnetic properties
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分类号
TG162.7
[金属学及工艺—热处理]
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题名薄膜线条宽度对坡莫合金AMR性能的影响
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作者
余涛
杨黎
岑杉杉
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机构
贵州雅光电子科技股份有限公司
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出处
《传感器世界》
2022年第2期1-5,共5页
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文摘
利用半导体标准工艺,在8英寸工艺平台上,通过光刻和剥离工艺制备出不同线条宽度的坡莫合金材料Ta(5 nm)/NiFe(12 nm)/Ta(2 nm),然后再进行表面钝化、电极引出和TO-94封装以后进行测试。测试结果表明:在常温条件下,不同薄膜线宽对材料AMR值影响不大,而对薄膜材料的饱和磁感应强度影响巨大。当线宽从18μm增大到30μm时,薄膜材料的AMR测试曲线在1.2%处的宽度ΔH从6,565.408 A/m减小到2,025.024 A/m。
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关键词
坡莫合金
线条宽度
AMR
饱和磁感应强度
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Keywords
permalloy thin film
line width
AMR
saturated magnetic sensing strength
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分类号
TB34
[一般工业技术—材料科学与工程]
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