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光场相干测量及其在计算成像中的应用 被引量：10
1
作者 张润南 蔡泽伟 +7 位作者 孙佳嵩 卢林芃 管海涛 胡岩 王博文 周宁 陈钱 左超 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2021年第18期57-116,共60页
光场的相干性是定量衡量其产生显著的干涉现象所具备的重要物理属性。尽管高时空相干性的激光已成为传统干涉计量与全息成像等领域不可或缺的重要工具,但在众多新兴的计算成像领域(如计算摄像、计算显微成像),降低光源的相干性,即部分... 光场的相干性是定量衡量其产生显著的干涉现象所具备的重要物理属性。尽管高时空相干性的激光已成为传统干涉计量与全息成像等领域不可或缺的重要工具,但在众多新兴的计算成像领域(如计算摄像、计算显微成像),降低光源的相干性,即部分相干光源在获得高信噪比、高分辨率的图像信息方面具有独特优越性。因此,部分相干光场的“表征”与“重建”两方面问题的重要性日益凸显,亟需引入光场相干性理论及相干测量技术来回答计算成像中“光应该是什么”和“光实际是什么”的两大关键问题。在此背景下,系统地综述了光场相干性理论及相干测量技术,从经典的关联函数理论与相空间光学理论出发,阐述了对应的干涉相干测量法与非干涉相干恢复法的基本原理与典型光路结构;介绍了由相干测量所衍生出的若干计算成像新体制及其典型应用,如光场成像、非干涉相位复原、非相干全息术、非相干合成孔径、非相干断层成像等;论述了相干测量技术现阶段所面临的问题与挑战,并展望了其未来的发展趋势。 展开更多
关键词 成像系统 相干与统计光学 相干成像 部分相干成像 计算成像
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部分相干分数域滤波改善光刻分辨率新方法 被引量：3
2
作者 杜惊雷 张怡霄 +4 位作者 杨静 刘世杰 肖啸 郭永康 杜春雷 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期892-895,共4页
基于部分相干成像和分数傅里叶变换 ,提出在投影光刻系统中 ,利用分数域滤波改善光刻图形质量的新方法 理论和模拟分析表明 :在曝光成像系统中的适当位置加入分数域滤波器 ,能增强滤波操作的灵活性和效果 ,可更有效地改善光刻图形质量 。
关键词 分数傅里叶域滤波 光学光刻 部分相干成像 瞳孔滤波
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部分相干成象的模拟计算方法
3
作者 唐波 王效才 邢廷文 《光电工程》 CAS CSCD 1996年第2期20-27,共8页
介绍了一种模拟计算部分相干光成象的实用化方法。根据部分相干理论，推导出数值计算模型，并采用各种方法简化，减少了计算量。根据计算公式编制出了部分相干成象模拟计算软件，可模拟数值孔径、波长、相干因子、离焦、波象差、物体的... 介绍了一种模拟计算部分相干光成象的实用化方法。根据部分相干理论，推导出数值计算模型，并采用各种方法简化，减少了计算量。根据计算公式编制出了部分相干成象模拟计算软件，可模拟数值孔径、波长、相干因子、离焦、波象差、物体的线宽、光瞳的中心遮拦等因素对光刻成象质量的影响。 展开更多
关键词 光刻 部分相干成象 象质评价 计算机模拟 光学
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相干光对共聚焦显微镜轴向强度响应的影响
4
作者 刘勇 陈家璧 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期105-108,共4页
在共聚焦显微镜中,光源和探测器是有限大小的,成像过程是部分相干的,有必要分析光源对系统分辨能力的影响。首次利用部分相干成像理论分析了共聚焦显微镜成像过程,得到在相干光是点光源、均匀光源和高斯光源的情况下系统轴向光强。给出... 在共聚焦显微镜中,光源和探测器是有限大小的,成像过程是部分相干的,有必要分析光源对系统分辨能力的影响。首次利用部分相干成像理论分析了共聚焦显微镜成像过程,得到在相干光是点光源、均匀光源和高斯光源的情况下系统轴向光强。给出模拟结果,发现当光源和探测器都小于会聚透镜的艾利斑,且它在样品空间的数值孔径增大时,系统轴向分辨能力会提高且不受光源大小及光强分布的影响。 展开更多
关键词 部分相干成像 共聚焦显微镜 点扩散函数 强度响应
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