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题名多探针扫描探针显微镜研究进展与应用
被引量：2
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作者
许可
邵永健
李鹏
裘晓辉
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机构
沈阳建筑大学信息与控制工程学院
国家纳米科学中心
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出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第35期3713-3726,共14页
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基金
国家自然科学基金(61604048,61327813)
辽宁省自然科学基金重点项目(20170540748)资助.
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文摘
扫描探针显微镜(SPM)是微纳尺度形貌表征、物性测量及微纳操作的重要工具之一.传统的SPM只有单一探针,功能单一,多探针扫描探针显微镜(MP-SPM)的出现拓展了SPM的应用.MP-SPM的多个探针可充当精确定位的测量电极,从而提供了一种无损探测样品微纳尺度电学输运性质的方法;也可相当于多只独立活动的"手",相互配合实现复杂的纳米操作;还可以探针成像,成像信息作为其他探针操作的先验/反馈信息,从而提高操作的效率及准确性.本文首先介绍了MP-SPM的基本仪器结构,多探针距离缩小及位置标定方法,以及使用多探针技术测量材料电阻率的原理,接着总结了近年来MP-SPM在样品微纳尺度电学输运性质测量、微纳操作、并行成像与操作以及新型力学性质测量等方面的应用,最后探讨了该技术的前沿发展以及面临的机遇与挑战.
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关键词
多探针
扫描探针显微镜
电学输运性质测量
微纳操作
并行成像与操作
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Keywords
multiple-probe
scanning probe microscopy
electrical transport properties characterization
micro/nano manipulation
parallel imaging/manipulation
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分类号
TH742
[机械工程—光学工程]
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