相位测量轮廓术中随机相移误差的校正算法 被引量：20

1

作者 王立无 苏显渝 周利兵 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期614-618,共5页

在相位测量轮廓术 (PMP)中 ,随机相移误差是导致测量误差的重要因素 ,提出一种新的随机相移误差的校正算法 ,在五步相移的基础上不需要求解相位分布 ,通过近似处理可以直接求解相移过程中存在的随机相移误差 ,在保证精度的情况下 ,能大... 在相位测量轮廓术 (PMP)中 ,随机相移误差是导致测量误差的重要因素 ,提出一种新的随机相移误差的校正算法 ,在五步相移的基础上不需要求解相位分布 ,通过近似处理可以直接求解相移过程中存在的随机相移误差 ,在保证精度的情况下 ,能大大减少迭代次数和计算量。推导了新算法的计算公式 ,详细说明了随机相移误差的求解过程。计算机模拟和实验证实了新的算法的有效性。与In bokKong的算法相比较 ,新算法能大大减少迭代次数和计算量。该新算法也同样适用于相移干涉计量。 展开更多

关键词 信息光学 相移算法 相位测量轮廓术 相位误差 相移误差

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光斑矩参量阵列测试法的测量不确定度 被引量：6

2

作者 高学燕 苏毅 +2 位作者 何均章 周殿华 关有光 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1411-1416,共6页

为计算和评估光斑矩参量阵列测试法的测量不确定度 ,以光斑矩参量积分表达式为出发点 ,推导了零阶近似下光斑矩参量的离散表达式 ,初步分析了光强分布数据中单元位置及探测光功率的测量不确定度。在此基础上 ,根据不确定度传递律 ,推导... 为计算和评估光斑矩参量阵列测试法的测量不确定度 ,以光斑矩参量积分表达式为出发点 ,推导了零阶近似下光斑矩参量的离散表达式 ,初步分析了光强分布数据中单元位置及探测光功率的测量不确定度。在此基础上 ,根据不确定度传递律 ,推导了阵列测试法下光斑矩参量测量不确定度的一般表达式。进一步得到了数种常用简化条件下的矩参量不确定度表达式 ,并进行了相应的分析。由此建立了光斑矩参量计算及其不确定度评定的一套完整方法。利用简化公式 ,对自行研制的激光光斑分析仪和通用的CCD面阵探测器的光斑矩参量测量不确定度进行了分析 ,给出了计算表达式。 展开更多

关键词 光学技术与仪器 光学测量 光斑矩参量 测量不确定度 激光光斑分析仪 CCD

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小F数标准球波面透镜组的F′C重合误差分析 被引量：5

3

作者 高志山 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期793-796,共4页

标准球波面透镜组是光干涉计量测试凸、凹球面面形质量的重要测量器具 ,它能产生 P V值优于λ/2 0 (λ=0 6 32 8μm)的标准球面波 ,透镜组中末球面为标准球面。其使用特点要求透镜组的焦点 F′与末面球心C重合 ;如果存在重合误差 ,则... 标准球波面透镜组是光干涉计量测试凸、凹球面面形质量的重要测量器具 ,它能产生 P V值优于λ/2 0 (λ=0 6 32 8μm)的标准球面波 ,透镜组中末球面为标准球面。其使用特点要求透镜组的焦点 F′与末面球心C重合 ;如果存在重合误差 ,则用于球面面形检验时会引入测量系统误差。推导分析了F′C的允许重合误差与透镜组F数等参量的关系 ,运用ZEMAX光学设计软件模拟给出系列小F数标准球波面透镜组允许的F′C重合误差 ,并设计实验测试方案 ,得到反映标准球波面透镜组F′C重合误差的干涉图 ,它们的波像差均小于 5λ。由理论分析与实验测试结果可知 ,F数很小 (如F/1 5 ,F/0 75 )的标准球面透镜组 ,F′C重合误差小于 0 0 3mm ,甚至达到微米量级。 展开更多

关键词 光学技术与仪器 误差分析 光学设计 球波面 干涉仪

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用劳埃德镜干涉原理进行圆度误差测量 被引量：5

4

作者 花世群 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期1013-1017,共5页

提出一种应用线阵CCD自动测量圆度误差的新方法。论述了系统利用劳埃德镜干涉装置 ,通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的工作原理及过程设计。测量结果表明 ,新的测量方法实现了圆度误差的实时精确在线测量。

关键词 光学技术与仪器 圆度误差 激光干涉 劳埃德镜 CCD

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基于马赫曾德干涉光路的光压测量装置设计 被引量：6

5

作者 赵静 林鸿湘 +1 位作者 邱棠 陈静芳 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期68-74,共7页

基于马赫曾德干涉原理,设计搭建了可调制与放大干涉条纹的光压测量装置.由频率和功率可调制脉冲激光产生光压,使真空中两面高反镀铝薄膜产生微小形变(位移),从而使由氦氖激光器发射、经半反半透镜分束的参考光和信号光的光程差改变,即... 基于马赫曾德干涉原理,设计搭建了可调制与放大干涉条纹的光压测量装置.由频率和功率可调制脉冲激光产生光压,使真空中两面高反镀铝薄膜产生微小形变(位移),从而使由氦氖激光器发射、经半反半透镜分束的参考光和信号光的光程差改变,即干涉条纹发生改变.用CCD记录干涉条纹位移量,数据处理获得干涉条纹位移量和薄膜形变量的关系,计算出脉冲激光在薄膜处的光压.分别讨论了脉冲激光入射角度、频率等参量对检测结果的影响,并通过双角度入射方法消除了热辐射效应的影响.该检测装置可测得最小光功率为15.0mW所产生的光压大小为13.42μPa,线性工作范围为15.0mW(13.42μPa)至200mW(1179μPa),且工作稳定、灵敏度高,测量结果准确. 展开更多

关键词 应用光学 光学技术与仪器 马赫曾德干涉仪 光压测量 压力传感器 激光干涉测量 薄膜 脉冲调制

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移相器类进动现象对干涉测量的影响 被引量：1

6

作者 吴栋 朱日宏 +3 位作者 陈磊 王青 何勇 高志山 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期861-864,共4页

压电晶体 (PZT)光学移相器作为移相干涉仪 (PSI)的关键部件 ,其移相误差直接影响被测波面的相位复原精度。分析了压电晶体移相器在移相过程中导致干涉图旋转的原因———类进动 ,其本质是移相器在伸长的同时其参考镜端面法线方向绕着伸... 压电晶体 (PZT)光学移相器作为移相干涉仪 (PSI)的关键部件 ,其移相误差直接影响被测波面的相位复原精度。分析了压电晶体移相器在移相过程中导致干涉图旋转的原因———类进动 ,其本质是移相器在伸长的同时其参考镜端面法线方向绕着伸长方向产生旋转。利用典型的Hariharan五步移相算法 ,得出了类进动现象所导致的波面相位复原误差计算公式 ,给出了在测试孔径上的误差分布图。对影响误差大小的主要因素如干涉条纹的宽度、旋转的角度和测试口径等进行了具体分析 ,由此推导出在移相干涉仪光学调整过程中控制干涉图旋转误差的准则。 展开更多

关键词 光学技术与仪器 干涉测量 移相干涉仪 移相器 类进动 误差

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自触发脉冲飞行时间激光测距技术研究 被引量：34

7

作者 陈千颂 赵大龙 +2 位作者 杨成伟 潘志文 霍玉晶 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期745-748,共4页

提出了一种新型脉冲激光测距方法———自触发脉冲飞行时间激光测距方法。该方法有效解决了传统脉冲激光测距法中存在的提高测距精度和缩短测量时间两者之间的矛盾。对该方法及本质特点进行了详细描述和理论分析 ,并给出用以描述该方法... 提出了一种新型脉冲激光测距方法———自触发脉冲飞行时间激光测距方法。该方法有效解决了传统脉冲激光测距法中存在的提高测距精度和缩短测量时间两者之间的矛盾。对该方法及本质特点进行了详细描述和理论分析 ,并给出用以描述该方法的基本方程。最后 ,给出了实验装置 ,在 2 0m范围内获得了 0 5mm的测距精度。 展开更多

关键词 光学技术与仪器 自触发脉冲 激光测距 飞行时间

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线结构光测量技术研究进展 被引量：27

8

作者 李玥华 周京博 刘利剑 《河北科技大学学报》 CAS 2018年第2期115-124,共10页

线结构光传感器由线激光器和相机组成,通过分析拍摄的调制光条图像获得被测对象的轮廓数据,具有结构简单、成本低、非接触、效率高、使用灵活等优点,在科研和工业生产中具有广泛的应用前景。从光条图像质量控制及中心提取、传感器标定... 线结构光传感器由线激光器和相机组成,通过分析拍摄的调制光条图像获得被测对象的轮廓数据,具有结构简单、成本低、非接触、效率高、使用灵活等优点,在科研和工业生产中具有广泛的应用前景。从光条图像质量控制及中心提取、传感器标定、多个线结构光传感器协同测量、传感器和运动坐标轴结合4个方面对线结构光测量技术进行了综述,概括了目前线结构光测量技术研究和应用中存在的问题,并指出进一步提升测量精度、增强测量的适应性,以及研制基于线结构光传感器的智能测量系统是线结构光测量技术未来的研究方向。 展开更多

关键词 光学技术与仪器 线结构光传感器 中心提取 传感器标定 协同测量 运动坐标轴

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超短脉冲激光测量的标定方法 被引量：18

9

作者 刘天夫 佘卫龙 +1 位作者 丘志仁 彭文基 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期111-114,共4页

在研究总结现有超短激光脉冲测量方法的基础上 ,对皮秒激光脉冲的测量及飞秒激光脉冲自相关二次谐波(SHG)的测量方法进行了统一的校正。实验中 ,利用迈克尔逊干涉光路的相对光程差 ,产生已知时间间隔 ,作为时间基准对皮秒。

关键词 超短激光脉冲 标定 迈克尔逊干涉仪 自相关二次谐波 条纹相机 激光测量

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光斑环围参量阵列测试法的测量不确定度 被引量：1

10

作者 高学燕 何均章 +3 位作者 袁学文 谢川林 关有光 苏毅 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1746-1752,共7页

为评定光斑环围参量(包括环围功率和环围尺寸)阵列测试法的测量不确定度,给出了环围参量一般形式的定义和连续形式的计算表达式,归纳并比较了阵列测试法下光斑环围参量的3种常用计算方法,即近似环围功率法、准确环围功率法和等效环围尺... 为评定光斑环围参量(包括环围功率和环围尺寸)阵列测试法的测量不确定度,给出了环围参量一般形式的定义和连续形式的计算表达式,归纳并比较了阵列测试法下光斑环围参量的3种常用计算方法,即近似环围功率法、准确环围功率法和等效环围尺寸法,给出了零阶近似下环围参量离散形式的计算表达式。根据不确定度传递律,推导了基于等效环围尺寸法的环围参量测量不确定度的一般表达式,讨论了常见简化条件下的环围参量测量不确定度表达式。建立了光斑环围参量计算及其不确定度评定的一套较完整的方法。以强度为高斯分布的光斑为例,得到了简化条件下的环围参量测量不确定度的解析表达式,并用数值模拟法验证了其正确性。 展开更多

关键词 光学技术与仪器 光学测量 不确定度传递律 阵列探测器 光斑环围参量 测量不确定度

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全光纤双传感臂振动传感器频率特性研究 被引量：1

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作者 吕垚 戴基智 +1 位作者 代志勇 吴兵兵 《中国测试》 CAS 2011年第3期93-96,共4页

以全光纤Mach-Zehnder(M-Z)干涉仪为基础,阐述了光纤双传感臂振动传感器的工作原理和结构设计。按照理论设计的结构采用硫化硅橡胶及金属铁块制作了传感探头,并完成全光纤双传感臂M-Z干涉仪的制作,实现干涉可见度约为95.8%。搭建实验系... 以全光纤Mach-Zehnder(M-Z)干涉仪为基础,阐述了光纤双传感臂振动传感器的工作原理和结构设计。按照理论设计的结构采用硫化硅橡胶及金属铁块制作了传感探头,并完成全光纤双传感臂M-Z干涉仪的制作,实现干涉可见度约为95.8%。搭建实验系统对不同频率的振动信号进行测试,初步测试结果表明,系统的固有频率在850～1 150 Hz之间,与理论计算相符;在固有频率以下,传感器工作频带范围是100～800 Hz,在固有频率以上工作频带范围是1.2～6.0 kHz。 展开更多

关键词 光学技术与仪器 光纤传感器 M-Z干涉仪 双传感臂 振动频率

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