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基于回波替代的毫米波矢量网络测试校准方法
被引量：
10
1
作者
苏江涛
郭庭铭
+2 位作者
杨保国
王翔
郑兴
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期77-84,共8页
毫米波频段矢量网络测试是射频半导体器件建模和电路设计中不可缺少的环节。提出了一种新型的旨在提高毫米波频段测试精度的校准方法。该方法通过反向注入回波的方式来降低毫米波频段矢量校准中传输线原始测量数据的不确定性,进而降低...
毫米波频段矢量网络测试是射频半导体器件建模和电路设计中不可缺少的环节。提出了一种新型的旨在提高毫米波频段测试精度的校准方法。该方法通过反向注入回波的方式来降低毫米波频段矢量校准中传输线原始测量数据的不确定性,进而降低了校准过程中对校准件精度的要求,获得了更具鲁棒性的校准误差模型参数。基于国产AV3672矢量网络分析仪在1～50 GHz内对该校准方法相较于传统校准方法的有效性进行了验证。采用这种方法校准后,直通校准件的S_(21)测试误差下降至0.02 dB,短路校准件S_(11)误差下降至-50 dB。实验结果证明,该方法在不依赖于昂贵的附加仪器仪表设备的同时,明显提升了毫米波矢量测试精度,而且算法复杂度并没有急剧增加,具备极强的实用性和通用性。
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关键词
校准技术
毫米波测试
在片测试系统
矢量网络分析仪
器件模型
下载PDF
职称材料
在片S参数测量系统校准技术研究
被引量：
2
2
作者
吴爱华
孙静
+2 位作者
刘晨
梁法国
郑延秋
《宇航计测技术》
CSCD
2015年第5期11-16,共6页
在片S参数测量系统在半导体行业裸芯片测量中得到了广泛的应用,但是国内在片S参数测量系统无法有效溯源的现状影响了高端裸芯片产品的研发进度。为了建立该类系统的校准能力,本文研制了微带形式的在片校准件、在片传递标准件和在片检验...
在片S参数测量系统在半导体行业裸芯片测量中得到了广泛的应用,但是国内在片S参数测量系统无法有效溯源的现状影响了高端裸芯片产品的研发进度。为了建立该类系统的校准能力,本文研制了微带形式的在片校准件、在片传递标准件和在片检验件三类标准样片,搭建了高准确度的在片S参数传递标准件定标系统,通过HFSS仿真方法使得在片S参数溯源至几何量基准,最终建立了在片S参数测量系统中传输参数的计量校准能力,为最终完成在片S参数测量系统校准奠定了技术基础。
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关键词
在片测量
S参数测量系统
散射参数
校准
裸芯片
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职称材料
题名
基于回波替代的毫米波矢量网络测试校准方法
被引量：
10
1
作者
苏江涛
郭庭铭
杨保国
王翔
郑兴
机构
杭州电子科技大学电子信息学院
电子测试技术国防科技重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期77-84,共8页
基金
浙江省自然科学基金(LY17F010016
LY17F010017
+6 种基金
LZ17F010001
LQ15F010005)
国家自然科学基金(61727804
61701147
61827806
61871161)
装备预研重点实验室基金(61420010101)项目资助
文摘
毫米波频段矢量网络测试是射频半导体器件建模和电路设计中不可缺少的环节。提出了一种新型的旨在提高毫米波频段测试精度的校准方法。该方法通过反向注入回波的方式来降低毫米波频段矢量校准中传输线原始测量数据的不确定性,进而降低了校准过程中对校准件精度的要求,获得了更具鲁棒性的校准误差模型参数。基于国产AV3672矢量网络分析仪在1～50 GHz内对该校准方法相较于传统校准方法的有效性进行了验证。采用这种方法校准后,直通校准件的S_(21)测试误差下降至0.02 dB,短路校准件S_(11)误差下降至-50 dB。实验结果证明,该方法在不依赖于昂贵的附加仪器仪表设备的同时,明显提升了毫米波矢量测试精度,而且算法复杂度并没有急剧增加,具备极强的实用性和通用性。
关键词
校准技术
毫米波测试
在片测试系统
矢量网络分析仪
器件模型
Keywords
calibration
technique
mm-wave
test
on-
wafer
measurement
system
vector
network
analysis(VNA)
device
model
分类号
TN015 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
在片S参数测量系统校准技术研究
被引量：
2
2
作者
吴爱华
孙静
刘晨
梁法国
郑延秋
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《宇航计测技术》
CSCD
2015年第5期11-16,共6页
文摘
在片S参数测量系统在半导体行业裸芯片测量中得到了广泛的应用,但是国内在片S参数测量系统无法有效溯源的现状影响了高端裸芯片产品的研发进度。为了建立该类系统的校准能力,本文研制了微带形式的在片校准件、在片传递标准件和在片检验件三类标准样片,搭建了高准确度的在片S参数传递标准件定标系统,通过HFSS仿真方法使得在片S参数溯源至几何量基准,最终建立了在片S参数测量系统中传输参数的计量校准能力,为最终完成在片S参数测量系统校准奠定了技术基础。
关键词
在片测量
S参数测量系统
散射参数
校准
裸芯片
Keywords
On-
wafer
measurement
S-parameter
measurement
system
Scattering
parameter
Calibration
Bare
chip
分类号
TB973 [一般工业技术—计量学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于回波替代的毫米波矢量网络测试校准方法
苏江涛
郭庭铭
杨保国
王翔
郑兴
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
10
下载PDF
职称材料
2
在片S参数测量系统校准技术研究
吴爱华
孙静
刘晨
梁法国
郑延秋
《宇航计测技术》
CSCD
2015
2
下载PDF
职称材料
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