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利用一维光栅标样校准扫描电子显微镜方法的研究 被引量：6
1
作者 钱进 石春英 +4 位作者 谭慧萍 刘忠有 陈方毓 陈晓霞 黄晓蓉 《计量学报》 CSCD 北大核心 2010年第4期299-302,共4页
提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测... 提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测量对象。实验结果表明，有8台扫描电镜的标尺的准确度在5％的范围内与标准值符合，其余2台在6．5％的范围内与标准值符合。 展开更多
关键词 计量学 扫描电子显微镜 纳米光栅 线距标准装置 一维光栅 长度基准
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原子光刻大面积纳米光栅
2
作者 殷聪 张彤 +2 位作者 王建波 钱进 石春英 《计量技术》 2020年第5期31-35,共5页
原子光刻光栅的研制存在光栅上纳米周期结构覆盖面积小和纳米条纹高度不一致的问题,限制了原子光刻光栅的应用。本文介绍通过椭圆光斑激光汇聚铬原子沉积大面积一维光栅的技术,将纳米周期结构的覆盖范围扩大到1.5mm×1.5mm,同时,沉... 原子光刻光栅的研制存在光栅上纳米周期结构覆盖面积小和纳米条纹高度不一致的问题,限制了原子光刻光栅的应用。本文介绍通过椭圆光斑激光汇聚铬原子沉积大面积一维光栅的技术,将纳米周期结构的覆盖范围扩大到1.5mm×1.5mm,同时,沉积条纹高度的一致性得到有效改善。用椭圆光斑驻波场进行原子光刻研究对实验装置调整的精细度和对准提出了更高的要求。并分析了影响大范围原子沉积的几个关键因素。 展开更多
关键词 原子光刻 纳米间距 光栅 大面积 椭圆光斑
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