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常用间隔层材料软X射线多层膜的设计 被引量:3
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作者 雷洁红 段浩 +1 位作者 邢丕峰 唐永建 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期415-417,共3页
为了研究常用间隔层材料的软X射线多层膜的材料设计,利用Lawrence-Livermore国家实验室提供的软X射线多层膜设计程序进行模拟计算,得到了软X射线波段内的具有高反射率的膜系。结果表明,Mo在相当大的波段范围内具有良好的光学特性;除了在... 为了研究常用间隔层材料的软X射线多层膜的材料设计,利用Lawrence-Livermore国家实验室提供的软X射线多层膜设计程序进行模拟计算,得到了软X射线波段内的具有高反射率的膜系。结果表明,Mo在相当大的波段范围内具有良好的光学特性;除了在12.44nm是首选膜系外(除4.36nm外),其它波长都有较高的反射率;U作为吸收层材料,在相当大的波段范围内,与其它间隔层材料配对的多层膜也具有较高的反射率。这对多层膜膜系的材料选择有一定的指导意义。 展开更多
关键词 薄膜 软X射线多层膜 多层膜设计 间隔层材料
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极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备 被引量:2
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作者 匡尚奇 李硕 +2 位作者 杨海贵 霍同林 周洪军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期2395-2406,共12页
极紫外(EUV)宽带多层膜的光谱性能对膜厚控制精度要求较高,仅由时间控制膜厚的镀膜系统难以满足其精度控制要求。本文提出了基于进化算法的宽带EUV多层膜离散化膜系设计方法,与传统膜系设计相比,离散化膜系所制备多层膜具有更为优良的EU... 极紫外(EUV)宽带多层膜的光谱性能对膜厚控制精度要求较高,仅由时间控制膜厚的镀膜系统难以满足其精度控制要求。本文提出了基于进化算法的宽带EUV多层膜离散化膜系设计方法,与传统膜系设计相比,离散化膜系所制备多层膜具有更为优良的EUV反射光谱性能。为验证离散化膜系设计在宽带EUV多层膜研制中的优越性,采用磁控溅射方法对具有离散化膜系的宽带多层膜反射镜进行了制备和测试。测试结果表明:研制的宽角度多层膜反射镜可实现入射角带宽为0°~17°,高于41%的反射率;研制的堆栈宽角度多层膜反射镜可实现入射角带宽为0°~18.5°,高于35%的反射率;研制的宽光谱多层膜反射镜可实现波长带宽为12.9~14.9 nm,高于21%的反射率。 展开更多
关键词 多层膜设计 极紫外 离散化设计 宽带多层膜
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多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性 被引量:1
3
作者 李慧 闫连山 +3 位作者 潘炜 罗斌 温坤华 郭振 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2012年第1期152-155,共4页
结合等离子金属光栅原理和多层膜理论,提出一种金属-介质-金属多层光栅结构以增强透射光的聚焦效应。利用时域有限差分(FDTD)法对该多层结构的聚焦特性进行模拟仿真,得到多层结构的聚焦特性随金属-介质膜层数和凹槽数目的变化特性。结... 结合等离子金属光栅原理和多层膜理论,提出一种金属-介质-金属多层光栅结构以增强透射光的聚焦效应。利用时域有限差分(FDTD)法对该多层结构的聚焦特性进行模拟仿真,得到多层结构的聚焦特性随金属-介质膜层数和凹槽数目的变化特性。结果表明,通过控制金属-介质层层数或者凹槽数目,焦距明显改善,焦距可达9.15μm,最大焦深约为26.38μm,相对于传统金属光栅,聚焦效应得到了明显增强。 展开更多
关键词 薄膜 表面等离子 亚波长结构 多层膜设计
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基于multi-Agent技术的海洋数据智能采集与传输系统 被引量:1
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作者 胡涛 丁永生 +2 位作者 曾献辉 许武军 郝矿荣 《智能系统学报》 2009年第6期508-512,共5页
基于multi-Agent技术研究了海洋数据采集与传输系统的体系结构、协调机制等关键技术,阐述了其中的A-gent行为模型设计,包括任务分解原则、通信机制及开发路线的选择等,以解决多握手协议、多发送地址的复杂环境中数据传输问题.系统采用... 基于multi-Agent技术研究了海洋数据采集与传输系统的体系结构、协调机制等关键技术,阐述了其中的A-gent行为模型设计,包括任务分解原则、通信机制及开发路线的选择等,以解决多握手协议、多发送地址的复杂环境中数据传输问题.系统采用分层设计思想和多线程技术,实验结果显示了这种方法的可行性.基于multi-Agent的智能数据采集与传输系统提高了系统的自组织、自适应能力,具有较好的通用性和可扩展性. 展开更多
关键词 MULTI-AGENT 海洋数据传输 分层设计 多线程
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多层介质高反膜界面电场强度调控与光散射特性 被引量:1
5
作者 杨伟荣 潘永强 郑志奇 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期16-22,共7页
为了降低高精密使用场合下多层介质高反射薄膜的表面散射,首先从多层介质薄膜双向反射分布函数(BRDF)出发,理论分析了双向反射分布函数与薄膜界面电场强度的关系。在入射光为正入射且中心波长632.8nm处的反射率大于99%的要求下,采用SiO_... 为了降低高精密使用场合下多层介质高反射薄膜的表面散射,首先从多层介质薄膜双向反射分布函数(BRDF)出发,理论分析了双向反射分布函数与薄膜界面电场强度的关系。在入射光为正入射且中心波长632.8nm处的反射率大于99%的要求下,采用SiO_(2)、Ta_(2)O_(5)两种材料设计了膜系G/(HL)8/A和膜系G/(HL)8 H/A,并分析了两种膜系界面的电场强度分布。然后以膜系G/(HL)8 H/A界面的电场分布为基础对场强进一步优化,得到了膜系G/(HL)60.4L1.6H1.5L0.5H/A。理论计算了正入射条件下三种膜系的双向反射分布函数,发现当散射角为-45°~45°时,膜系G/(HL)6 H0.4L1.6H1.5L0.5H/A表面的BRDF小于膜系G/(HL)8/A和膜系G/(HL)8 H/A。同时计算了三种膜系表面的总散射损耗(S),与膜系G/(HL)8/A和膜系G/(HL)8 H/A相比,优化膜系G/(HL)6 H0.4L1.6H1.5L0.5H/A的S降低了91.44%、37.98%。实验验证了利用膜层界面电场强度调控薄膜表面散射的有效性。 展开更多
关键词 薄膜 多层设计 光散射 双向反射分布函数 总散射损耗
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多通带荧光滤光片的膜系设计 被引量:1
6
作者 任少鹏 高鹏 +3 位作者 赵帅锋 王瑞生 王忠连 班超 《真空》 CAS 2020年第5期14-18,共5页
针对多色荧光检测的应用需求,本文提出一种多通带滤光片膜系的设计方法,该方法以传统的Fabry-Perot模型为基础,采用带通膜系嵌套的方式构成基础膜系,计算调整其峰位因子和带宽匹配系数,可以实现对基础膜系通带位置、通带带宽的连续调节... 针对多色荧光检测的应用需求,本文提出一种多通带滤光片膜系的设计方法,该方法以传统的Fabry-Perot模型为基础,采用带通膜系嵌套的方式构成基础膜系,计算调整其峰位因子和带宽匹配系数,可以实现对基础膜系通带位置、通带带宽的连续调节,通过Essential Macleod软件优化计算,在保证背景深截止的同时能够得到矩形化良好的波形。 展开更多
关键词 荧光滤光片 多通带滤光片 多层膜设计 通带带宽
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X射线超反射镜鲁棒性膜系设计
7
作者 陶保全 郭祥帅 +2 位作者 李博涵 匡尚奇 李超逸 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2021年第5期6-11,共6页
为降低X射线超反射镜镀膜误差导致的光谱性能退化、提高其可制备性,提出了基于多目标遗传算法的X射线超反射镜鲁棒性设计方法,将X射线超反射镜的反射带性能和膜厚随机误差引起的反射带偏差作为两个优化目标进行优化。考虑到X射线光学系... 为降低X射线超反射镜镀膜误差导致的光谱性能退化、提高其可制备性,提出了基于多目标遗传算法的X射线超反射镜鲁棒性设计方法,将X射线超反射镜的反射带性能和膜厚随机误差引起的反射带偏差作为两个优化目标进行优化。考虑到X射线光学系统掠入射反射的特殊性,在优化求解的计算过程中加入了入射光发散角对多层膜反射率的影响,进而分别设计了具有掠入射角度带宽和能量带宽的两种X射线多层膜反射镜鲁棒性膜系。结果表明,相比只优化光学性能的传统优化设计方法,鲁棒性设计方法能够得到反射性能良好且对膜厚随机误差不敏感的超反射镜膜系设计。 展开更多
关键词 多层膜设计 X射线超反射镜 鲁棒性设计 发散角
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基于Fabry-Peror腔共振的吸收增强型膜系设计
8
作者 顾殿雨 王玉良 郭云超 《应用物理》 CAS 2020年第10期441-449,共9页
利用特征矩阵方法,研究基于Fabry-Peror腔共振原理设计膜系的吸收增强效应。研究发现这种结构可以实现特定波段激光的吸收增强,通过调整膜系结构、吸收介质的位置等因素实现较宽光谱的高吸收率,结果表明吸收介质对应波长的吸收率提高了... 利用特征矩阵方法,研究基于Fabry-Peror腔共振原理设计膜系的吸收增强效应。研究发现这种结构可以实现特定波段激光的吸收增强,通过调整膜系结构、吸收介质的位置等因素实现较宽光谱的高吸收率,结果表明吸收介质对应波长的吸收率提高了一个数量级。 展开更多
关键词 Fabry-Peror腔共振 特征矩阵 膜系设计 吸收增强
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LiH(LiD,LiT)基软x射线多层膜的设计
9
作者 刘芸 林光会 +1 位作者 赵倩 雷洁红 《西华师范大学学报(自然科学版)》 2018年第2期185-187,共3页
利用Livermore实验室提供的软x射线多层膜设计程序,首次计算了含有U和Li H(Li D、Li T)核材料的软x射线多层膜在不同中心波长处的反射率。设计结果显示,在22.7nm波长处,Li H(Li D、Li T)基多层膜给出了特征反射峰值,说明在大于20nm波段,... 利用Livermore实验室提供的软x射线多层膜设计程序,首次计算了含有U和Li H(Li D、Li T)核材料的软x射线多层膜在不同中心波长处的反射率。设计结果显示,在22.7nm波长处,Li H(Li D、Li T)基多层膜给出了特征反射峰值,说明在大于20nm波段,Li H、Li D和Li T材料是理想的间隔层材料。 展开更多
关键词 软x射线长波段 间隔层材料 多层膜设计 反射率峰值 氢化锂
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软X光激光用多层膜反射镜的设计与性能模拟计算 被引量:12
10
作者 张俊平 曹健林 +5 位作者 马月英 高宏刚 陈斌 吕俊霞 裴舒 陈星旦 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第8期1088-1093,共6页
介绍在研制软X光激光用多层膜反射镜中发展起来的一套设计方法。给出了这类反射镜在现阶段所研究的部分X光激光波长下的设计结果。利用波动光学迭代方法模拟计算了反射镜的性能,并讨论了膜厚控制误差、表(界)面粗糙度等对性能的影响。
关键词 软X射线 多层膜 激光 反射镜 膜系设计
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工作波长短于10nm的软X射线多层膜 被引量:2
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作者 吕俊霞 马月英 +2 位作者 张俊平 王占山 曹健林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第2期19-24,共6页
本文对工作波长短于10nm的软X射线多层膜正入射反射镜的国内外现状作了简单的介绍和分析,给出选择多层膜材料的一些原则,并结合本组情况选择了Ru/B4C、Rh/B4C和MO/B4C三种材料组,在波长8.0nm附近设计并... 本文对工作波长短于10nm的软X射线多层膜正入射反射镜的国内外现状作了简单的介绍和分析,给出选择多层膜材料的一些原则,并结合本组情况选择了Ru/B4C、Rh/B4C和MO/B4C三种材料组,在波长8.0nm附近设计并计算出多层膜的结构和反射率等性能参数。 展开更多
关键词 软X射线 多层膜 反射镜 正入射 膜系
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增透膜的遗传算法设计 被引量:15
12
作者 徐江峰 陈秋灵 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1271-1275,共5页
用遗传算法设计了多层光学膜。设计时只要事先确定最大层数,算法就可自动优化选择合适的层数,同样每层的镀膜材料及厚度也由算法自动优化选择。设计中采用了不同以往的评价函数。在LBO(LiB3O5)晶体上用两种评价函数设计了1064nm,53... 用遗传算法设计了多层光学膜。设计时只要事先确定最大层数,算法就可自动优化选择合适的层数,同样每层的镀膜材料及厚度也由算法自动优化选择。设计中采用了不同以往的评价函数。在LBO(LiB3O5)晶体上用两种评价函数设计了1064nm,532nm二倍频增透膜。前一种评价函数设计的增透膜在1064nm和532nm处的透射率分别达到99.98%和99.99%,后一种评价函数设计的增透膜在两处的透射率均达到100.00%。在K9玻璃上设计了可见光宽带增透膜,450~650nm范围的宽带增透膜的透射率均超过99.91%,390~780nm范围的宽带增透膜的透射率均超过99.30%。采用的评价函数对膜系结构的变化敏感时,用遗传算法设计才有效。 展开更多
关键词 薄膜 增透膜 遗传算法 二倍频 宽带 膜系设计
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基于WEB的中石油项目管理系统研发 被引量:5
13
作者 帅训波 关新 +3 位作者 卢明 李家庆 吴兵 周相广 《天然气技术》 2008年第1期84-86,88,共4页
立足于Internet的项目管理特点,提出了建立基于WEB的多层次结构的中石油科研项目管理系统的设计思想和体系结构,阐述了系统主要功能模块划分和数据库设计,给出了数据访问、权限认证和子系统集成等关键技术的实现方法。
关键词 项目管理系统 WEB 多层次结构 设计 开发
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Adder design using a 5-input majority gate in a novel “multilayer gate design paradigm” for quantum dot cellular automata circuits 被引量:2
14
作者 Rohit Kumar Bahniman Ghosh Shoubhik Gupta 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2015年第4期95-103,共9页
This paper proposes a novel design paradigm for circuits designed in quantum dot cellular automata (QCA) technology. Previously reported QCA circuits in the literature have generally been designed in a single layer ... This paper proposes a novel design paradigm for circuits designed in quantum dot cellular automata (QCA) technology. Previously reported QCA circuits in the literature have generally been designed in a single layer which is the main logical block in which the inverter and majority gate are on the base layer, except for the parts where multilayer wire crossing was used. In this paper the concept of multilayer wire crossing has been extended to design logic gates in multilayers. Using a 5-input majority gate in a multilayer, a 1-bit and 2-bit adder have been designed in the proposed multilayer gate design paradigm. A comparison has been made with some adders reported previously in the literature and it has been shown that circuits designed in the proposed design paradigm are much more efficient in terms of area, the requirement of QCA cells in the design and the input-output delay of the circuit. Over all, the availability of one additional spatial dimension makes the design process much more flexible and there is scope for the customizability of logic gate designs to make the circuit compact. 展开更多
关键词 multilayer gate design QCA ADDERS MUX 5-input majority voter
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飞秒脉冲钛宝石激光器中的低振荡高色散镜对 被引量:3
15
作者 刘加 王胭脂 +8 位作者 赵睿睿 郭可升 陈瑞溢 齐红基 朱美萍 王丁 易葵 冷雨欣 邵建达 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期127-131,共5页
基于高反射膜层和Gires-Tournois(G-T)腔,优化设计了一对低振荡高色散镜。该色散镜对的中心波长为800 nm,能够在680~920 nm的带宽范围内提供-200 fs^2的平坦的群延迟色散。基于双离子束溅射工艺,利用Nb_2O_5和SiO_2制备了低振荡高色散... 基于高反射膜层和Gires-Tournois(G-T)腔,优化设计了一对低振荡高色散镜。该色散镜对的中心波长为800 nm,能够在680~920 nm的带宽范围内提供-200 fs^2的平坦的群延迟色散。基于双离子束溅射工艺,利用Nb_2O_5和SiO_2制备了低振荡高色散镜对,并将其应用于800 nm钛宝石激光器系统。通过高色散镜对2次,100.8 fs激光脉冲被压缩至19 fs。 展开更多
关键词 薄膜 多层膜设计 干涉薄膜 脉冲压缩 钛宝石激光
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基于QCA的五输入Majority门设计及应用 被引量:2
16
作者 李俊文 夏银水 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期404-409,共6页
Majority门作为多数逻辑电路的基本逻辑单元,其性能直接影响整体电路的质量.使用量子元胞自动机(QCA)设计Majority门具有结构简单的优点.本文提出了一种三层电路实现五输入Majority门的设计,并以此设计了全加器,进一步应用于多位加法器... Majority门作为多数逻辑电路的基本逻辑单元,其性能直接影响整体电路的质量.使用量子元胞自动机(QCA)设计Majority门具有结构简单的优点.本文提出了一种三层电路实现五输入Majority门的设计,并以此设计了全加器,进一步应用于多位加法器和乘法器中,与已发表的电路设计比较表明,其版图使用面积和元胞数有明显的减少,加法器元胞数和面积改进最高可达43%和87. 2%,乘法器元胞数和面积改进最高可达48. 2%和100%. 展开更多
关键词 量子元胞自动机 多电路层设计 五输入Majority门 全加器 乘法器
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大规模环形交叉口的慢行交通解决方案 被引量:2
17
作者 严玲 《交通与运输》 2019年第1期17-20,共4页
为优化武汉光谷广场环形交叉口的慢行交通,对光谷广场综合体改造项目的优化方案进行分析。以城市大规模市政设施建设为契机,结合城市轨道交通线路和市政隧道的建设,对该交叉口的慢行交通进行了多层立体的交通设计。结果显示,光谷广场综... 为优化武汉光谷广场环形交叉口的慢行交通,对光谷广场综合体改造项目的优化方案进行分析。以城市大规模市政设施建设为契机,结合城市轨道交通线路和市政隧道的建设,对该交叉口的慢行交通进行了多层立体的交通设计。结果显示,光谷广场综合体的改造缩短了该环形交叉口的行人过街距离和过街时间,避免了该交叉口的机非混行,但是增加了非机动车的绕行距离,且局部存在人非冲突节点,需要通过一定的管理措施来规范慢行交通行为。 展开更多
关键词 大规模环形交叉口 慢行交通 多层立体交通设计 行人过街
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长焦距航空遥感器多框架复合热控设计
18
作者 刘志明 陈志超 +3 位作者 李清军 董斌 付金宝 匡海鹏 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第S01期45-51,共7页
长焦距航空遥感器对温度变化极为敏感,为了保证极端条件下航空遥感器内部的温度水平和均匀性,实现对地面景物信息的有效采集,对某型长焦距航空遥感器的热控系统进行了设计.首先,分析了温度变化及温度梯度对光学系统折射率、面型、焦平... 长焦距航空遥感器对温度变化极为敏感,为了保证极端条件下航空遥感器内部的温度水平和均匀性,实现对地面景物信息的有效采集,对某型长焦距航空遥感器的热控系统进行了设计.首先,分析了温度变化及温度梯度对光学系统折射率、面型、焦平面位置及像差的影响.然后,阐述了传统的热控设计的局限性,并对设备进行了多框架复合热控设计.最后,通过计算给出了系统的热控性能指标,通过仿真分析和实验对三种设计方式进行了比较.实验结果表明:多框架复合热控设计可以将设备内部的温度稳定在19℃±1℃范围内,基本消除了光学系统的温度变化和温度梯度,与常温环境成像分辨率60 lp/mm对比,图像分辨率无下降解决了该设备在低温环境下无法成像的技术难题. 展开更多
关键词 长焦距遥感器 航空遥感 热控 多框架复合设计
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燃油调节器试验台计算机测试系统设计
19
作者 霍武军 樊丁 缑林峰 《现代制造工程》 CSCD 2008年第6期86-89,共4页
为提高某型航空发动机机械液压式燃油调节器试验台的试验效率、测试精度及可靠性,研制一种基于面向仪器设备的PCI扩展(PCI eXtensions for Instrumentation,PXI)总线的计算机测试系统。结合PXI总线技术特点,基于测试系统的技术要求和功... 为提高某型航空发动机机械液压式燃油调节器试验台的试验效率、测试精度及可靠性,研制一种基于面向仪器设备的PCI扩展(PCI eXtensions for Instrumentation,PXI)总线的计算机测试系统。结合PXI总线技术特点,基于测试系统的技术要求和功能要求,给出系统的总体结构,详细介绍以美国NI公司PXI系统为核心的硬件设计,以及采用MicrosoftVisual Basic与NI Measurement Studio结合实现软件设计。 展开更多
关键词 面向仪器设备的PCI扩展 试验台 计算机测试系统 多层架构软件设计
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