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制造玻璃微流控芯片的简易加工技术 被引量:69
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作者 殷学锋 沈宏 方肇伦 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期116-119,共4页
报道了在普通化学实验室中设计和加工玻璃微流控芯片的方法。用AdobeIllustrator 8.0软件设计微流控芯片图形 ,通过高分辨率激光照排机在照相底片上制得光刻掩模。用商品匀胶铬板表面的 14 5nmCr 5 70nmAz 180 5光胶层作为保护层 ,在 5 ... 报道了在普通化学实验室中设计和加工玻璃微流控芯片的方法。用AdobeIllustrator 8.0软件设计微流控芯片图形 ,通过高分辨率激光照排机在照相底片上制得光刻掩模。用商品匀胶铬板表面的 14 5nmCr 5 70nmAz 180 5光胶层作为保护层 ,在 5 0℃刻蚀液 (1mol LHF +1mol LNaF)中 ,刻蚀速度为 2 μm min。通过彻底洗净加工好的玻璃基片 ,提高了芯片热键合的质量和成品率。制得的芯片已成功地用于氨基酸分离和PCR扩增。 展开更多
关键词 玻璃微流控芯片 微加工技术 掩模 湿法刻蚀 键合 光刻
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微流控分析芯片的加工技术 被引量:27
2
作者 殷学锋 方群 凌云扬 《现代科学仪器》 2001年第4期10-14,共5页
综述了微流控分析芯片的加工技术和材质性能。光刻和蚀刻技术常用于加工硅、玻璃和石英芯片。有机聚合物由于品种多、易加工 ,是代替玻璃和石英的芯片材料。本文总结和讨论了各种芯片材料和它们的加工方法 ,如光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀... 综述了微流控分析芯片的加工技术和材质性能。光刻和蚀刻技术常用于加工硅、玻璃和石英芯片。有机聚合物由于品种多、易加工 ,是代替玻璃和石英的芯片材料。本文总结和讨论了各种芯片材料和它们的加工方法 ,如光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀、模塑法、软刻蚀、热压法、激光切蚀法、LIGA技术和键合技术。引用文献 展开更多
关键词 微流控分析芯片 微制备 光刻 蚀刻 软刻蚀 键合
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液滴喷射技术的应用进展 被引量:26
3
作者 高琛 黄孙祥 +3 位作者 陈雷 刘磁辉 刘小楠 鲍骏 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期714-722,共9页
液滴喷射技术具有结构简单、成本低、定位精度高等优势,除喷墨打印外,在无模具成形、微机械和微器件制造、生物芯片、材料合成等领域有广泛的应用前景,本文综述这些进展,并简要介绍本课题组设计研制的8喷头组合溶液喷射合成仪及其性能... 液滴喷射技术具有结构简单、成本低、定位精度高等优势,除喷墨打印外,在无模具成形、微机械和微器件制造、生物芯片、材料合成等领域有广泛的应用前景,本文综述这些进展,并简要介绍本课题组设计研制的8喷头组合溶液喷射合成仪及其性能、应用。 展开更多
关键词 液滴喷射 无模具成形 微制造 并行合成
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微细切削加工技术 被引量:20
4
作者 曹自洋 何宁 李亮 《微细加工技术》 EI 2006年第3期1-5,9,共6页
介绍了微细切削加工技术的研究背景,并对其研究现状进行了评述,分析了微细切削加工技术在研究与发展过程中存在的主要问题,提出了将来的研究方向。
关键词 微细加工 微细切削 MEMS 微米尺度
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微型真空电子器件和太赫兹辐射源技术进展 被引量:25
5
作者 廖复疆 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期1361-1364,共4页
微加工技术为真空电子技术的发展提供了新的领域和新的应用 .场致发射阵列阴极 (FEA)是最突出的代表 .本文综述了FEA近年来的发展 ,特别给出了我所在FEA研究方面的新进展 .已经获得 5A/cm2 左右的电流密度 ,为进一步的应用奠定了良好的... 微加工技术为真空电子技术的发展提供了新的领域和新的应用 .场致发射阵列阴极 (FEA)是最突出的代表 .本文综述了FEA近年来的发展 ,特别给出了我所在FEA研究方面的新进展 .已经获得 5A/cm2 左右的电流密度 ,为进一步的应用奠定了良好的基础 .国际上正在开展微型真空电子器件研究 ,该项研究将导致微波管体积、重量、成本的降低和工作频率、可靠性的进一步提高 .微型真空电子器件可为太赫兹频域提供 1W的大功率发射源 . 展开更多
关键词 微加工 真空微电子 太赫兹技术
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微细加工新技术—LIGA技术 被引量:13
6
作者 伊福廷 吴坚武 冼鼎昌 《微细加工技术》 EI 1993年第4期1-7,共7页
LIGA技术是近几年才开展起来的一门新技术,是微细加工的一种新方法。本文对这一技术,从简单工艺过程到每个具体工序环节都详细、深入地进行了介绍。LIGA技术是由光刻、电铸、塑铸三个环节组成,尤刻以同步辐射深度X光曝光为主。由于同步... LIGA技术是近几年才开展起来的一门新技术,是微细加工的一种新方法。本文对这一技术,从简单工艺过程到每个具体工序环节都详细、深入地进行了介绍。LIGA技术是由光刻、电铸、塑铸三个环节组成,尤刻以同步辐射深度X光曝光为主。由于同步辐射X光有非常好的平行性、极高的辐射强度、连续的光谱,使这项技术能够制造出高宽比大到100、厚度可达几百微米、结构侧壁平行线偏差在亚微米范围内的微米级三维立体结构。通过电铸、塑铸就可将这一结构转换成金属或塑料的微结构产品。 这项技术在短短几年的发展过程中,已制造出电机、齿轮、发动机、涡轮、联杆、单色器、光纤联接器、电联接器、喷嘴、泵、阀、加速度传感器等微型结构与器件,被认为是将对下一世纪带来重大影响的一门新技术。 展开更多
关键词 同步辐射爆光 电铸 塑铸 光刻 微器件
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仿生复眼成像系统设计与制作的研究进展 被引量:22
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作者 巩宪伟 鱼卫星 +3 位作者 张红鑫 卢振武 孙强 沈宏海 《中国光学》 EI CAS 2013年第1期34-45,共12页
基于仿生复眼光学成像系统体积小、重量轻、视场大、灵敏度高等优点,对其研究现状和发展前景进行了综述。简要介绍了生物复眼的结构与分类;分别从平面型和曲面型仿生复眼成像系统的设计概述了仿生复眼的研究进展,给出了国内外典型复眼... 基于仿生复眼光学成像系统体积小、重量轻、视场大、灵敏度高等优点,对其研究现状和发展前景进行了综述。简要介绍了生物复眼的结构与分类;分别从平面型和曲面型仿生复眼成像系统的设计概述了仿生复眼的研究进展,给出了国内外典型复眼成像系统的结构、模型和成像功能;总结了仿生复眼成像系统应用于不同领域的特点和优势。最后,分析了目前仿生复眼的工艺现状,指出仿生复眼的功能主要受微器件制作工艺的限制,而超精密加工技术是一种革新的、综合的微细加工方法,具有制作更高精度透镜阵列,提高人工仿生复眼应用能力的潜力。 展开更多
关键词 仿生复眼 成像系统 微透镜阵列 光学设计 微细加工
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21世纪化工发展趋势 被引量:14
8
作者 黄仲涛 李雪辉 王乐夫 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期1-4,11,共5页
从化学工程学的多尺度化、化工过程的绿色化、化工生产的逐步微型化和过程参数的极限化等 4个方面介绍了 2 1世纪化学工程发展的趋势。
关键词 21世纪 化学工程 多尺度化 微型化 极限条件化
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太赫兹行波管的研究进展 被引量:22
9
作者 张章 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期250-257,共8页
太赫兹行波管具有输出功率高、频带宽、紧凑轻便等优点,是一种理想的太赫兹辐射源,可望在军事、民用领域得到广泛应用。本文对国内外太赫兹行波管的研究现状进行了较详细的介绍和归纳总结,并对其发展趋势做了论述分析。
关键词 行波管 太赫兹源 高功率 微加工
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微流控芯片的材料与加工方法研究进展 被引量:21
10
作者 郑小林 鄢佳文 +2 位作者 胡宁 杨静 杨军 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第6期1-4,7,共5页
综述了微流控芯片的制作材料及其加工方法的研究进展。在介绍了传统硅质材料,如硅、玻璃、石英等的基础上,着重描述了高分子聚合物材料在微流控芯片的应用趋势。针对不同材料,详叙了其材料特性、应用范围及加工方法。特别介绍了一些新... 综述了微流控芯片的制作材料及其加工方法的研究进展。在介绍了传统硅质材料,如硅、玻璃、石英等的基础上,着重描述了高分子聚合物材料在微流控芯片的应用趋势。针对不同材料,详叙了其材料特性、应用范围及加工方法。特别介绍了一些新的加工方法,如激光刻蚀法、软光刻、LIGA方法在该领域的应用。针对微流控芯片的材料与加工做了一个简要而系统的回顾,对微流控芯片和其他微型全分析系统的研究者有重要参考价值。 展开更多
关键词 微流控芯片 材料 微加工 高分子聚合物
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聚焦离子束(FIB)技术及其在微电子领域中的应用 被引量:11
11
作者 刘立建 谢进 王家楫 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期19-24,44,共7页
FIB是一种将微分析和微加工相结合的新技术,在亚微米级器件的设计、工艺控制和失效分析等诸多领域发挥着非常重要的作用。本文将对聚焦离子束技术及其分析、加工的机理和性能作一介绍,并对该技术在微电子领域中的应用及发展作一综述。
关键词 集成电路 微细加工 聚焦离子束 微电子
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In-channel integration of designable microoptical devices using flat scaffold-supported femtosecond-laser microfabrication for coupling-free optofluidic cell counting 被引量:19
12
作者 Dong Wu Jian Xu +3 位作者 Li-Gang Niu Si-Zhu Wu Katsumi Midorikawa Koji Sugioka 《Light(Science & Applications)》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第1期569-576,共8页
The high-precision integration of three-dimensional(3D)microoptical components into microfluidics in a customizable manner is crucial for optical sensing,fluorescence analysis,and cell detection in optofluidic applica... The high-precision integration of three-dimensional(3D)microoptical components into microfluidics in a customizable manner is crucial for optical sensing,fluorescence analysis,and cell detection in optofluidic applications;however,it remains challenging for current microfabrication technologies.This paper reports the in-channel integration of flexible two-dimensional(2D)and 3D polymer microoptical devices into glass microfluidics by developing a novel technique:flat scaffold-supported hybrid femtosecond laser microfabrication(FSS-HFLM).The scaffold with an optimal thickness of 1–5 μm is fabricated on the lower internal surface of a microfluidic channel to improve the integration of high-precision microoptical devices on the scaffold by eliminating any undulated internal channel surface caused by wet etching.As a proof of demonstration,two types of typical microoptical devices,namely,2D Fresnel zone plates(FZPs)and 3D refractive microlens arrays(MLAs),are integrated.These devices exhibit multicolor focal spots,elongated(>three times)focal length and imaging of the characters‘RIKEN’in a liquid channel.The resulting optofluidic chips are further used for coupling-free white-light cell counting with a success rate as high as 93%.An optofluidic system with two MLAs and a W-filter is also designed and fabricated for more advanced cell filtering/counting applications. 展开更多
关键词 cell counting 3D optofluidic chips hybrid femtosecond laser microfabrication microlens arrays two-photon polymerization
原文传递
Development of Micro Selective Laser Melting:The State of the Art and Future Perspectives 被引量:15
13
作者 Balasubramanian Nagarajan Zhiheng Hu +2 位作者 Xu Song Wei Zhai Jun Wei 《Engineering》 SCIE EI 2019年第4期702-720,共19页
Additive manufacturing(AM)is gaining traction in the manufacturing industry for the fabrication of components with complex geometries using a variety of materials.Selective laser melting(SLM)is a common AM technique t... Additive manufacturing(AM)is gaining traction in the manufacturing industry for the fabrication of components with complex geometries using a variety of materials.Selective laser melting(SLM)is a common AM technique that is based on powder-bed fusion(PBF)to process metals;however,it is currently focused only on the fabrication of macroscale and mesoscale components.This paper reviews the state of the art of the SLM of metallic materials at the microscale level.In comparison with the direct writing techniques that are commonly used for micro AM,micro SLM is attractive due to a number of factors,including a faster cycle time,process simplicity,and material versatility.A comprehensive evaluation of various research works and commercial systems for the fabrication of microscale parts using SLM and selective laser sintering(SLS)is conducted.In addition to identifying existing issues with SLM at the microscale,which include powder recoating,laser optics,and powder particle size,this paper details potential future directions.A detailed review of existing recoating methods in powder-bed techniques is conducted,along with a description of emerging efforts to implement dry powder dispensing methods in the AM domain.A number of secondary finishing techniques for AM components are reviewed,with a focus on implementation for microscale features and integration with micro SLM systems. 展开更多
关键词 ADDITIVE manufacturing SELECTIVE laser MELTING microfabrication Hybrid processing Powder-bed RECOATING
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注塑型聚甲基丙烯酸甲酯多通道微流控芯片的研制及其性能考察 被引量:10
14
作者 周小棉 戴忠鹏 +4 位作者 罗勇 刘大渔 王辉 毛秀丽 林炳承 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期52-54,共3页
The microchip capillary electrophoresis devices were fabricated by using poly(methyl methacrylate)(PMMA) plastic material via an injection-molding process. The molded devices were enclosed by utilizing a mixed organic... The microchip capillary electrophoresis devices were fabricated by using poly(methyl methacrylate)(PMMA) plastic material via an injection-molding process. The molded devices were enclosed by utilizing a mixed organic solvent to another PMMA film. The channel structure was very well defined and the molded channel surfaces were very smooth. The transmissivity was in the range from 91% to 93%(at the wavelength of 400—1 000 nm). In comparison to glass microchannels, the electroosmotic flow(EOF) in native PMMA channels was low. DNA marker separation was demonstrated in these PMMA devices with a high-resolution separation of double-stranded DNA fragments, chip-to-chip and the run-to-run reproducibility was good, and the relative standard deviation(%) values were below 2.2% for run-to-run data and 2.3% for the chip-to-chip comparisons. The PCR amplification products and proteins were analyzed on the PMMA chips. Such devices lead to the production of low-cost, disposable chips suitable for a variety of separation applications, including DNA sizing, DNA sequencing, protein and medical analysis. The detection limits of Rhodamine 6G dye for the unmodified PMMA chip and the modified PMMA chips were 1.0×10 -10 and 6.67×10 -13 mol/L, respectively. 展开更多
关键词 微流控塑料芯片 毛细管电泳芯片 微加工
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Micro and Nanofabrication methods to control cell-substrate interactions and cell behavior: A review from the tissue engineering perspective 被引量:16
15
作者 Menekse Ermis Ezgi Antmen Vasif Hasirci 《Bioactive Materials》 SCIE 2018年第3期355-369,共15页
Cell-substrate interactions play a crucial role in the design of better biomaterials and integration ofimplants with the tissues. Adhesion is the binding process of the cells to the substrate through interactionsbetwe... Cell-substrate interactions play a crucial role in the design of better biomaterials and integration ofimplants with the tissues. Adhesion is the binding process of the cells to the substrate through interactionsbetween the surface molecules of the cell membrane and the substrate. There are severalfactors that affect cell adhesion including substrate surface chemistry, topography, and stiffness. Thesefactors physically and chemically guide and influence the adhesion strength, spreading, shape and fate ofthe cell. Recently, technological advances enabled us to precisely engineer the geometry and chemistry ofsubstrate surfaces enabling the control of the interaction cells with the substrate. Some of the mostcommonly used surface engineering methods for eliciting the desired cellular responses on biomaterialsare photolithography, electron beam lithography, microcontact printing, and microfluidics. Thesemethods allow production of nano- and micron level substrate features that can control cell adhesion,migration, differentiation, shape of the cells and the nuclei as well as measurement of the forces involvedin such activities. This review aims to summarize the current techniques and associate these techniqueswith cellular responses in order to emphasize the effect of chemistry, dimensions, density and design ofsurface patterns on cell-substrate interactions. We conclude with future projections in the field of cellsubstrateinteractions in the hope of providing an outlook for the future studies. 展开更多
关键词 microfabrication MICROPATTERN Cell-material interaction DIFFERENTIATION Cell adhesion
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玻璃微流控芯片廉价快速制作方法的研究 被引量:10
16
作者 陈强 李刚 +4 位作者 潘爱平 金庆辉 赵建龙 程建功 徐元森 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第17期1863-1868,共6页
研究了一种玻璃微流控芯片的快速、低成本制作工艺和方法.该方法采用商品化的显微载玻片(soda-lime玻璃)作为芯片基质材料,利用AZ4620光刻胶代替传统工艺中的溅射金属层或多晶硅/氮化硅层作为玻璃刻蚀的掩膜层,同时利用一种紫外光学胶... 研究了一种玻璃微流控芯片的快速、低成本制作工艺和方法.该方法采用商品化的显微载玻片(soda-lime玻璃)作为芯片基质材料,利用AZ4620光刻胶代替传统工艺中的溅射金属层或多晶硅/氮化硅层作为玻璃刻蚀的掩膜层,同时利用一种紫外光学胶键合方法代替传统熔融键合方法实现芯片的键合,整个工艺对玻璃基质材料要求低,普通微流控芯片(深度小于50μm)制作流程仅需约3.5h,可降低制作成本,缩短制作周期.还系统地研究了光刻胶厚度、光刻胶硬烘时间和玻璃腐蚀液配比对玻璃微流控芯片制作的影响,获得了优化的工艺参数. 展开更多
关键词 微流控芯片 湿法刻蚀 紫外胶键合 微加工技术
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利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究 被引量:9
17
作者 伊福廷 张菊芳 +1 位作者 彭良强 韩勇 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期126-128,141,共4页
SU 8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用 ,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一。SU 8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作 ,另一方面SU 8结构具有很好的侧面垂直结构 ,通过控制工艺参数 ,能够获得满意的SU 8胶... SU 8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用 ,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一。SU 8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作 ,另一方面SU 8结构具有很好的侧面垂直结构 ,通过控制工艺参数 ,能够获得满意的SU 8胶结构。SU 8光刻胶已应用于LIGA技术的标准化掩模制造工艺和一些器件的研究工作。在SU8胶研究过程中 ,克服了许多技术难题 ,使得这一技术能够应用到实际的需要中。 展开更多
关键词 紫外光刻 SU8光刻胶 MEMS技术 微结构
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双光子技术的应用研究进展 被引量:3
18
作者 汪国平 《物理》 CAS 2000年第9期546-549,共4页
双光子技术在未来光电子集成、生物分子探测、医学诊断等领域具有巨大应用潜力和广阔应用前景 .文章着重介绍了双光子过程在荧光显微成像、高密度数据存储以及微细加工等领域的应用研究进展 .对影响双光子技术的应用和发展的相关领域的... 双光子技术在未来光电子集成、生物分子探测、医学诊断等领域具有巨大应用潜力和广阔应用前景 .文章着重介绍了双光子过程在荧光显微成像、高密度数据存储以及微细加工等领域的应用研究进展 .对影响双光子技术的应用和发展的相关领域的研究动态也进行了简要讨论 . 展开更多
关键词 双光子技术 显微术 数据存储 微细加工
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飞秒激光倒锥微孔加工的反射式扫描装置设计 被引量:13
19
作者 赵华龙 周仁魁 +3 位作者 赵卫 杨小君 李明 贾海妮 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期98-103,共6页
基于道威棱镜扫描原理,设计了由高速旋转电机驱动三片K字形排布反射镜组成的反射式扫描装置,并分析了扫描钻孔准确度.结果表明:该扫描装置可用于飞秒激光高准确度环切钻孔系统,钻孔准确度不受光束质量影响,钻孔扫描速度二倍于电... 基于道威棱镜扫描原理,设计了由高速旋转电机驱动三片K字形排布反射镜组成的反射式扫描装置,并分析了扫描钻孔准确度.结果表明:该扫描装置可用于飞秒激光高准确度环切钻孔系统,钻孔准确度不受光束质量影响,钻孔扫描速度二倍于电机转速且钻孔效率高、兼容多光谱波段;与道威棱镜系统相比,该系统装调准确度要求低,能避免透射系统中色散引起的飞秒激光脉宽展宽现象.测试结果显示该装置可以实现直径0.05~O.2mm、加工准确度小于±2μm倒锥孔的高效率加工. 展开更多
关键词 激光加工 超短脉冲 钻孔装置 喷油嘴 微细加工 倒锥孔 道威棱镜
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基于聚焦离子束铣削的复杂微纳结构制备 被引量:13
20
作者 徐宗伟 房丰洲 +2 位作者 张少婧 韩涛 李建明 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期91-94,共4页
聚焦离子束铣削是一种灵活且高精度的微加工方法,探索通过聚焦离子来铣削进行复杂微纳米结构的加工过程.通过聚焦离子束铣削加工,利用灰度值精确控制离子束加工时间,实现闪耀光栅以及正弦结构等复杂微纳结构的加工过程.同时,利用聚焦离... 聚焦离子束铣削是一种灵活且高精度的微加工方法,探索通过聚焦离子来铣削进行复杂微纳米结构的加工过程.通过聚焦离子束铣削加工,利用灰度值精确控制离子束加工时间,实现闪耀光栅以及正弦结构等复杂微纳结构的加工过程.同时,利用聚焦离子束对原子力显微镜纳米管探针的长度进行高精度调控,其长度控制精度可以小于50nm.聚焦离子束铣削技术为制备在各种科学工程领域应用的多种复杂微结构提供了有效途径. 展开更多
关键词 聚焦离子束 微加工 铣削 碳纳米管探针 原子力显微镜
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