期刊文献+
共找到35篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
新型大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描镜的研制 被引量:4
1
作者 穆参军 张飞岭 吴亚明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期583-587,共5页
设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为6mm×4mm的电磁驱动MEMS光学扫描镜.这种背面为微型铜驱动线圈的MEMS硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中,当电流信号通过驱动线圈时,MEMS光学扫描镜绕着扭转梁发生了大角度... 设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为6mm×4mm的电磁驱动MEMS光学扫描镜.这种背面为微型铜驱动线圈的MEMS硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中,当电流信号通过驱动线圈时,MEMS光学扫描镜绕着扭转梁发生了大角度的扫描运动.采用MEMS体硅加工工艺和电镀技术制作的器件显示出了优良的性能,实验获得的扫描镜静态转角斜率为0.03°/mA,当器件进行动态扫描时,在381Hz的谐振频率下获得了最大±10.2°的光学扭转角度,空气中的Q因子为221,相应的功耗为13μW,与此同时MEMS光学扫描镜具备了出色的镜面粗糙度、光学反射率和镜面平整度.实验证明该器件完全适合于微型光谱仪和可调光滤波器的应用. 展开更多
关键词 MEMS 大尺寸光学扫描镜 电磁驱动 大角度转动 光学反射率
下载PDF
基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺
2
作者 王权岱 段玉岗 +2 位作者 丁玉成 卢秉恒 张亚军 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期946-949,共4页
针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性... 针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法. 展开更多
关键词 压印光刻 分层制造 微电子机械系统 对正
下载PDF
基于二元混合自组装包裹纳米颗粒的微传感器抗体固定方法 被引量:2
3
作者 薛茜男 边超 +3 位作者 佟建华 孙楫舟 张虹 夏善红 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期804-808,共5页
采用二元混合自组装膜修饰纳米金颗粒,在经自组装单分子层修饰的金电极上阵列式排布,并通过共价键固定抗体形成生物敏感膜。采用原子力显微镜、扫描电镜和阻抗谱分别对电极表面的修饰过程进行了表征。纳米粒子在微电极表面均匀分布,没... 采用二元混合自组装膜修饰纳米金颗粒,在经自组装单分子层修饰的金电极上阵列式排布,并通过共价键固定抗体形成生物敏感膜。采用原子力显微镜、扫描电镜和阻抗谱分别对电极表面的修饰过程进行了表征。纳米粒子在微电极表面均匀分布,没有明显的团聚,并且可实现抗体有效固定。基于标准互补金属氧化物半导体(Complementary metal oxide semiconductor,CMOS)工艺和微加工技术,利用该抗体固定化方法,制备了糖化血红蛋白免疫微传感器,可同时检测血液中的糖化血红蛋白和血红蛋白含量,其对糖化血红蛋白和血红蛋白的检测范围分别为14~170μg/L和167~570μg/L。 展开更多
关键词 纳米金 互补金属氧化物半导体 微加工 糖化血红蛋白 集成芯片
下载PDF
平板类微小零件装配控制策略与软件架构研究 被引量:7
4
作者 郝永平 王永杰 +1 位作者 董福禄 路超 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期193-198,205,共7页
针对不同尺寸的平板类微小零件装配问题,将视觉技术引入到微装配作业中,对微装配控制策略和软件架构进行分析研究。根据微小零件结构特点、尺寸与装配精度要求,提出'Look and move+Visual servo'相结合的微装配控制模式,采用由... 针对不同尺寸的平板类微小零件装配问题,将视觉技术引入到微装配作业中,对微装配控制策略和软件架构进行分析研究。根据微小零件结构特点、尺寸与装配精度要求,提出'Look and move+Visual servo'相结合的微装配控制模式,采用由界面层、数据层和逻辑层组成的分层软件架构,建立基于视觉的真空吸附式微装配系统平台。围绕集成化、可复用性要求,进行软件框架类继承关系的分析,采用基于动态链接库和VC++的MFC应用程序框架编程方法,集成Halcon视觉算法库,应用数据驱动模式,最终实现微装配控制软件设计。基于控制方法对由5个不同平板类微小零件组成的微组件采用三种不同装配方式,分别进行8组装配试验,并对其关键精度指标进行测量与分析,其测量结果表明,三种装配方式中姿态调整自动装配方式装配效果最佳,微组件的同轴度和平行度误差基本满足装配精度要求,微装配的适用性有明显改善。此控制方法可以有效的用于其他微装配系统,且具有良好的鲁棒性、可复用性和人机交互性。 展开更多
关键词 微机电系统 软件架构 人机交互 机器视觉
下载PDF
基于非线性技术的AUV组合导航新方法 被引量:1
5
作者 董渊科 刘明雍 胡俊伟 《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2011年第12期95-98,共4页
针对小型AUV对低成本、微小型、高性能导航系统的需求,提出了一种基于M EM S技术的IMU/DVL组合导航新方法。分析了低成本惯性导航系统的特点和误差模型,为有效提高系统的导航精度引入多普勒测速仪与微机械惯性测量单元相组合,并采用无... 针对小型AUV对低成本、微小型、高性能导航系统的需求,提出了一种基于M EM S技术的IMU/DVL组合导航新方法。分析了低成本惯性导航系统的特点和误差模型,为有效提高系统的导航精度引入多普勒测速仪与微机械惯性测量单元相组合,并采用无迹卡尔曼滤波(UKF)算法设计组合导航系统的滤波器。仿真结果表明,基于UKF滤波的M EM S-IMU/DVL组合导航新方法具有较高的导航精度,且有效降低了系统成本,具有广阔的工程应用前景。 展开更多
关键词 水下航行器 无迹卡尔曼滤波 组合导航 微机械惯性测量单元 多普勒测速仪
下载PDF
微流体力学几个问题的探讨 被引量:15
6
作者 钟映春 谭湘强 杨宜民 《广东工业大学学报》 CAS 2001年第3期46-48,共3页
微电子机械系统 (MEMS)的发展对流体力学的研究提出了许多新的课题 本文讨论了固体边界、表面张力等因素对微流体运动状态的影响 ,且微观尺度等级不同影响程度不同
关键词 微流体力学 微电子机械系统 MEMS 微流体器件 表面张力 固体边界 微流体运动状态
下载PDF
MEMS的设计方法与系统模拟 被引量:10
7
作者 孟为民 李伟华 黄庆安 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第10期57-60,共4页
随着MEMS产业重点从单个的MEMS器件向MEMS系统产品的转移 ,MEMS系统级模拟变得日益重要 .文中主要介绍了MEMS系统的一些结构化、标准化的设计方法以及MEMS系统建模与模拟的分级 ,重点阐述了MEMS器件级与系统级模拟之间的桥梁———宏模... 随着MEMS产业重点从单个的MEMS器件向MEMS系统产品的转移 ,MEMS系统级模拟变得日益重要 .文中主要介绍了MEMS系统的一些结构化、标准化的设计方法以及MEMS系统建模与模拟的分级 ,重点阐述了MEMS器件级与系统级模拟之间的桥梁———宏模型的建立及系统级模拟的实现。 展开更多
关键词 微电子机械系统 结构化设计 系统模拟
下载PDF
微机电系统技术的实际应用——微型仪器 被引量:12
8
作者 丁衡高 袁祖武 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 2000年第2期90-94,共5页
微机电系统被普遍认为是一项面向 2 1世纪的可以广泛应用的新兴技术 ,作为其实际应用的微型仪器 ,具有传统仪器无可比拟的优势。从微型仪器入手 ,分别介绍了其概念、特点和市场应用 ,并在最后阐述了对微型仪器的几点认识。
关键词 微机电系统 微型仪器 应用 MEMS
下载PDF
超微型电动机实用化的关键技术及应用前景 被引量:11
9
作者 张琛 赵小林 +1 位作者 杨春生 肖永利 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期430-432,共3页
电磁型超微型电动机是微机电系统中的关键部件.论述了直径1~3mm电磁型超微型电动机设计中的若干关键问题,如微型电动机的结构设计、磁路设计,以及微型电动机中的发热、温升和微摩擦问题等.简要地讨论了电磁型微型电动机的应用前景,例... 电磁型超微型电动机是微机电系统中的关键部件.论述了直径1~3mm电磁型超微型电动机设计中的若干关键问题,如微型电动机的结构设计、磁路设计,以及微型电动机中的发热、温升和微摩擦问题等.简要地讨论了电磁型微型电动机的应用前景,例举了它在医学内窥镜、微泵。 展开更多
关键词 电磁型微电动机 微电子机械 超微型电动机
下载PDF
一种微捷联惯导系统姿态角最优估计算法研究 被引量:5
10
作者 刘瑞华 《系统仿真学报》 CAS CSCD 2004年第1期142-145,共4页
回顾了捷联惯导系统姿态角的传统解法,分析了这种算法在基于MEMS-IMU的捷联惯导系统中导致姿态角计算误差过大的基本原因。针对MEMS陀螺具有较大漂移的特点,引入了一种新的基于卡尔曼滤波器的姿态角最优估计算法,并对算法进行了数值仿... 回顾了捷联惯导系统姿态角的传统解法,分析了这种算法在基于MEMS-IMU的捷联惯导系统中导致姿态角计算误差过大的基本原因。针对MEMS陀螺具有较大漂移的特点,引入了一种新的基于卡尔曼滤波器的姿态角最优估计算法,并对算法进行了数值仿真。结果表明,该方法能极大提高姿态角的计算精度。 展开更多
关键词 捷联惯导系统 姿态角 微机电系统 惯性测量元件 最优估计
下载PDF
微机电惯性测量元件在导航系统的应用研究 被引量:3
11
作者 刘瑞华 《中国民航学院学报》 2003年第3期30-34,共5页
介绍了微机电(MEMS)惯性测量元件(IMU)的基本情况,总结了误差主要来源,根据公开文献介绍的性能测试参数,建立了动态误差模型,并与GPS测量的速度和位置组合,进行了导航系统的数学仿真。仿真结果表明,MEMS-IMU尚不能独立构成导航系统,但与... 介绍了微机电(MEMS)惯性测量元件(IMU)的基本情况,总结了误差主要来源,根据公开文献介绍的性能测试参数,建立了动态误差模型,并与GPS测量的速度和位置组合,进行了导航系统的数学仿真。仿真结果表明,MEMS-IMU尚不能独立构成导航系统,但与GPS组合,则可满足低精度的导航要求。 展开更多
关键词 微机械电子系统 惯性测量元件 误差 仿真
下载PDF
改进的内框架驱动式硅MEMS陀螺温度误差模型 被引量:5
12
作者 房建成 李建利 盛蔚 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1277-1280,1303,共5页
温度误差是MEMS(M icro E lectronic Mechanical System)陀螺仪的主要误差源之一,为了消除温度对内框架驱动式硅MEMS陀螺仪性能的影响,提出了一种改进的温度误差模型.基于硅材料的赛贝克(Seebeek)效应,结合表头温度变形,分析了陀螺仪零... 温度误差是MEMS(M icro E lectronic Mechanical System)陀螺仪的主要误差源之一,为了消除温度对内框架驱动式硅MEMS陀螺仪性能的影响,提出了一种改进的温度误差模型.基于硅材料的赛贝克(Seebeek)效应,结合表头温度变形,分析了陀螺仪零偏误差;利用温度引起的干扰力矩,分析了陀螺仪输出与比力及角加速度有关项误差;针对温度引起系统谐振频率的变化,分析了陀螺仪标度因数误差.试验结果表明:在温度变化过程中,比力引起的干扰力矩是导致陀螺仪温度误差的主要因素,验证了改进的温度误差模型的正确性,补偿后陀螺仪的零偏稳定性提高了53.75倍,标度因数精度提高了19.6倍,改进的温度误差模型也适用于其它MEMS陀螺仪. 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 陀螺仪 温度误差 零偏 与比力有关项误差 标度因数
下载PDF
微机械惯性开关的非线性动力学特性分析与设计(英文) 被引量:8
13
作者 赵剑 贾建援 +1 位作者 张文波 王洪喜 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2006年第4期314-319,共6页
利用倾斜支撑微梁结构大挠度后屈曲的非线性横向刚度,设计了一种新型屈曲式微机械加速度开关.该开关采用倾斜微梁支撑敏感质量块,两折叠梁固定于质量块的上下表面,保证开关动作的方向性.当外界加速度达到设定的阈值时,梁发生屈曲使开关... 利用倾斜支撑微梁结构大挠度后屈曲的非线性横向刚度,设计了一种新型屈曲式微机械加速度开关.该开关采用倾斜微梁支撑敏感质量块,两折叠梁固定于质量块的上下表面,保证开关动作的方向性.当外界加速度达到设定的阈值时,梁发生屈曲使开关迅速闭合,加速度低于截至门限值时,屈曲微梁弹性力使开关断开.开关设计中分析了气膜阻尼力和触点接触力对系统性能的影响,建立了多力耦合作用下加速度开关系统的动力学模型,并运用数值方法对含有椭圆积分的强非线性系统进行动态仿真分析,开关响应时间低于6ms.实验表明开关具有良好的阈值特性和接触可靠性,充分证实了屈曲梁结构应用于惯性微感应器件设计的可行性. 展开更多
关键词 微机电系统 非线性动力学 后屈曲 惯性开关 非线性刚度
下载PDF
单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成 被引量:5
14
作者 汪红 汤俊 +2 位作者 刘瑞 陈晖 丁桂甫 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1204-1211,共8页
为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化设计测试样片,使其能够易于夹持、准确对中,以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技... 为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化设计测试样片,使其能够易于夹持、准确对中,以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技术制备了Ni薄膜样片。根据单轴拉伸测试过程和硬件构成,以Visual Basic为平台编译了一套数据采集与分析系统。最后,应用该测试系统完成对电镀Ni薄膜材料性能的测试。实验结果表明,该系统能够精确测试试样应变,精度达到0.01μm,拉伸力精度达到mN级。得到的电镀Ni薄膜材料的杨氏模量约为94.5 GPa,抗拉强度约为1.76 GPa。该系统基本满足微米尺度材料单轴微拉伸力学性能测试的需要。 展开更多
关键词 材料力学测试 微机电系统 单轴微拉伸 有限元模拟 UV-LIGA 杨氏模量
下载PDF
用于高场非对称波形离子迁移谱系统的阵列式微法拉第筒离子检测器 被引量:6
15
作者 唐飞 王晓浩 张亮 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2597-2602,共6页
提出了一种可减小高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)系统体积的阵列式微法拉第筒离子检测器,该检测器具有结构简单、稳定性好、噪声小、量程大、可在大气压条件下工作等优点。阵列式微法拉第筒包括栅电极、敏感电极、屏蔽电极3部分,其中... 提出了一种可减小高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)系统体积的阵列式微法拉第筒离子检测器,该检测器具有结构简单、稳定性好、噪声小、量程大、可在大气压条件下工作等优点。阵列式微法拉第筒包括栅电极、敏感电极、屏蔽电极3部分,其中敏感电极由数十个直径为200μm的硅圆柱交错排列而成。通过典型的MEMS工艺制作,法拉第筒与平板型FAI MS系统的MEMS工艺完全兼容。Fluent仿真结果表明,这种阵列式的设计,气体运动阻力较小,流场分布有助于载气中离子被充分吸收。与KEITHLEY237电流表级联后,测得阵列式微法拉第筒的噪声水平在0.5 pA以下。对丙酮样本进行了实验测试,结果显示其输出信号为210 pA左右,表明该阵列式微法拉第筒满足FAIMS系统的要求。 展开更多
关键词 高场非对称波形离子迁移谱 微机电系统 法拉第筒 离子检测器 微弱电流
下载PDF
谐振原理在硅微机械加速度计中的应用 被引量:2
16
作者 钟莹 张国雄 李醒飞 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第4期1-3,共3页
将谐振原理应用于硅微机械加速度计中 ,可以改善后者输出信号的质量 ,降低检测难度。随着微机电系统工艺的发展 。
关键词 谐振原理 硅微机械加速度计 微机电系统
下载PDF
MEMS旋转调制式航姿参考系统设计及误差补偿 被引量:5
17
作者 徐烨烽 仇海涛 +1 位作者 何孟珂 孟庆季 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期691-696,共6页
为了实现中精度、低成本的航姿参考系统,提出了一种基于低精度MEMS(Micro Elec-tronic Mechanical System)陀螺旋转调制技术的解决方案,研究了陀螺的刻度系数误差以及比例敏感漂移在旋转调制下的特性,分析了旋转调制技术可能引入的新误... 为了实现中精度、低成本的航姿参考系统,提出了一种基于低精度MEMS(Micro Elec-tronic Mechanical System)陀螺旋转调制技术的解决方案,研究了陀螺的刻度系数误差以及比例敏感漂移在旋转调制下的特性,分析了旋转调制技术可能引入的新误差,如旋转分解误差,涡动误差等;针对各种不同的误差源,给出了相应的误差补偿方法及补偿结果。实验结果表明,经误差补偿后,旋转调制可以将MEMS陀螺的精度提高近30倍,利用漂移为30°/h的MEMS陀螺可以实现优于1°/h的航姿保持精度。 展开更多
关键词 飞行器控制、导航技术 旋转调制 航姿参考系统 误差模型 微机电系统 陀螺
下载PDF
基于MEMS器件的旋转调制式航姿参考系统设计 被引量:4
18
作者 徐烨烽 吕妍红 仇海涛 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1343-1347,共5页
为实现中精度、低成本的航姿测量系统,提出了一种基于低精度MEMS(Mi-cro Electronic Mechanical System)陀螺旋转调制技术的解决方案.系统采用四元数及三子样法进行航姿解算,可选用全自主及快速两种对准模式.全自主对准采用基于速度观测... 为实现中精度、低成本的航姿测量系统,提出了一种基于低精度MEMS(Mi-cro Electronic Mechanical System)陀螺旋转调制技术的解决方案.系统采用四元数及三子样法进行航姿解算,可选用全自主及快速两种对准模式.全自主对准采用基于速度观测的Kalman滤波方案,利用30(°)/h的MEMS陀螺可实现优于5°的航向对准精度;快速对准时航向角由磁场计提供,经磁罗差补偿后航向精度优于0.4°.静态及动态实验结果表明:旋转调制可将MEMS陀螺的精度提高30倍左右,系统在1 h内的航姿保持精度优于1°. 展开更多
关键词 航姿参考系统 微机电系统 初始对准 磁罗盘 罗差
下载PDF
基于镀钯薄膜的微悬臂梁型光纤光栅氢传感器的设计和制备 被引量:3
19
作者 张晓晶 张博明 +1 位作者 陈吉安 武湛君 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1784-1788,共5页
利用微型机电系统(MEMS)加工工艺制备微悬臂梁,开发了一种由镀钯薄膜微悬臂梁和光纤布拉格光栅(FBG)组成的氢气敏光纤传感器,通过光栅波长的变化测量微悬臂梁吸收氢气时产生的位移,从而反映出环境中的氢浓度。应用弹性力学理论分析其工... 利用微型机电系统(MEMS)加工工艺制备微悬臂梁,开发了一种由镀钯薄膜微悬臂梁和光纤布拉格光栅(FBG)组成的氢气敏光纤传感器,通过光栅波长的变化测量微悬臂梁吸收氢气时产生的位移,从而反映出环境中的氢浓度。应用弹性力学理论分析其工作原理,建立了传感器最大波长变化量与氢浓度关系的数学模型。结果表明,改变钯膜/硅悬臂梁厚度比可以提高传感器的灵敏度,厚度比为0.4时,传感器响应量最大。通过实验研究了传感器的氢响应特性,理论模型预测的最大波长变化量与实验结果十分吻合。 展开更多
关键词 氢传感器 微悬臂梁 光纤布拉格光栅 微型机电系统 钯膜
原文传递
微流体实验技术研究 被引量:2
20
作者 冯焱颖 周兆英 +1 位作者 叶雄英 熊继军 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2002年第9期27-30,共4页
微流体实验技术的研究是微流体器件发展的迫切需要 ,它不仅可以提供测量微流体器件性能必备的工具 ,而且对于探索微观尺度流体的传输机制具有极为重要的意义。文章对微流体实验技术的难点进行了概括 ,并对几种主要的微流体实验技术进行... 微流体实验技术的研究是微流体器件发展的迫切需要 ,它不仅可以提供测量微流体器件性能必备的工具 ,而且对于探索微观尺度流体的传输机制具有极为重要的意义。文章对微流体实验技术的难点进行了概括 ,并对几种主要的微流体实验技术进行了讨论 ,指出流动显示技术由于对流动本身的干扰非常小 ,而且在一些研究人员的努力下精度得到不断提高 。 展开更多
关键词 微电子机械系统 微流体 微流体实验 流动显示技术
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部