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题名一种新型微机电系统扫描镜的谐振频率研究
被引量：8
- 1
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作者
燕斌
苑伟政
乔大勇
刘耀波
吴蒙
李昭
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机构
西北工业大学微/纳米系统实验室
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期191-197,共7页
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基金
国家自然科学基金(50805123)
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0075)资助课题
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文摘
在微光机电系统(MOEMS)技术的基础上,采用绝缘体上硅(SOI)的体硅加工工艺,设计并加工制作了一种新型的静电驱动的谐振式微机电系统(MEMS)扫描镜。介绍了其基本工作原理及结构设计特点;理论计算了圆形和方形两种结构的尺寸扫描镜的谐振频率,并利用ANSYS有限元软件进行仿真;设计并搭建了一个简单易操作的光学测试系统,对研制出的MEMS扫描镜(7.1mm×5.2mm)进行扫描角度测试。利用该器件参数激励的迟滞频率特性,对其谐振频率进行实际测量。同时,为验证其所测谐振频率的准确性,利用激光多普勒测振(LDV)系统对其进行测试。在工作电压10V,方形和圆形扫描镜的驱动频率分别为556Hz和596Hz时,机械扫描角度分别可达到约6°和5°,谐振频率分别约为300Hz和277Hz。并分析误差产生的原因及其结果。
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关键词
光学器件
微光学器件
扫描镜
绝缘体上硅
谐振频率
迟滞频率响应
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Keywords
optical devices
micro-optical devices
micro scanning mirror
silicon-on-insulator
resonant frequency
hysteretic frequency responses
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分类号
TN303
[电子电信—物理电子学]
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题名一种新型谐振式微机电系统扫描镜及其利萨如图形显示
被引量：5
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作者
燕斌
苑伟政
乔大勇
刘耀波
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机构
西北工业大学微/纳米系统实验室
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第5期215-221,共7页
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基金
国家自然科学基金(50805123)
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0075)资助课题
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文摘
研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型谐振式扫描镜,该扫描镜采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺,静电梳齿驱动,利用工艺中残余应力的释放产生垂直梳齿偏差,作为启动电极。针对该器件的机电性能,设计并搭建了一套光学系统测试其性能。结果表明,该器件具有加工工艺简单、低成本、低电压和大的扫描角度等优点。此外,将所制造的两个扫描镜进行合理组合,搭建了利萨如图形的显示装置,显示图案与Matlab软件仿真结果基本一致。
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关键词
集成光学
微光机电系统
扫描镜
绝缘体上硅
利萨如图形
激光投影
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Keywords
integrated optics
micro-opto-electro-mechanical system
micro scanning mirror
silicon-on-insulator
Lissajous pattern
laser projection
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分类号
TN303
[电子电信—物理电子学]
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题名一种用于激光雷达的微振镜设计
被引量：1
- 3
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作者
陆英
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机构
徐州工业职业技术学院机电工程学院
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期900-904,共5页
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文摘
为了满足激光雷达系统高线数和远距离探测的技术要求,提出了一种用于车载激光雷达系统的电磁式激光微振镜扫描机构,反射镜直径为12 mm,微振镜采用TC4钛合金材料,提出了“工形”的机械结构方案,利用Nastran软件力学仿真分析,并搭建试验平台测试了微振镜的偏转角度和谐振频率等性能。实验结果表明:激光微振镜的一阶谐振频率为298 Hz,最大偏转角度为8.12°,满足技术要求,相比于传统MEMS振镜,在保证高扫描频率的同时,提高了通光口径,对激光雷达的进一步产业化发展有重要意义。
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关键词
激光雷达
微振镜
扫描机构
谐振频率
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Keywords
lidar
micro scanning mirror
scanning mechanism
resonant frequency
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分类号
TB872
[一般工业技术—摄影技术]
TN929.1
[电子电信—通信与信息系统]
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题名基于二维微扫描镜的平视显示系统研究
被引量：3
- 4
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作者
乔大勇
吴蒙
李昭
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机构
西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
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出处
《航空工程进展》
2013年第4期469-473,共5页
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基金
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0075)
国家自然科学基金(50805123)
+1 种基金
深圳市财政委员会2012年第四批市新一代信息技术产业发展专项资金基础研究计划(JCYJ20120614154203639)
西北工业大学基础研究基金(JCY20130119)
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文摘
平视显示系统是一种目前普遍运用于航空器上的飞行辅助器,它能使飞行员不用低头就可以看到仪表上的重要信息。针对传统平视显示系统体积大、生产成本高等不足,提出一种基于二维微扫描镜的平视显示系统。通过对二维微扫描镜的振动频率与平视显示图像的稳定性、分辨率、刷新率之间关系的分析研究,初步实现基于二维微扫描镜的平视显示系统的搭建,并成功完成一个常见标志的成像,证明基于二维微扫描镜的平视显示系统的可行性。
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关键词
二维微扫描镜
平视显示系统
频率选择
李萨如图形
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Keywords
2D micro scanning mirror
HUD
frequency selective
Lissajous figure
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分类号
V243.6
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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