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金属薄膜加热器的研究 被引量:10
1
作者 闫卫平 朱剑波 +1 位作者 马灵芝 杜立群 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第4期615-618,共4页
采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80 % ,Cr :2 0 % )金属薄膜 ,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。在一定直流电压条件下 ,Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到 10 0℃ ,且升温速率皆大于 0 5 0 C/... 采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80 % ,Cr :2 0 % )金属薄膜 ,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。在一定直流电压条件下 ,Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到 10 0℃ ,且升温速率皆大于 0 5 0 C/s。通过测量微加热器的电阻温度曲线 ,表明所制备的金属薄膜式微型加热器具有较好的稳定性和重复性 ,能够满足PCR生物芯片和硅基热分布式微流量传感器的要求。 展开更多
关键词 微型加热器 TCR Cr和Ni-Cr薄膜 PCR生物芯片 微流量传感器
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含需求响应的微网经济优化运行 被引量:8
2
作者 何虹历 杨秀 +3 位作者 劳长石 邱摇摇 徐磊 夏惠 《电网与清洁能源》 北大核心 2016年第12期39-46,共8页
为追求更高的经济效益和能源的合理利用,提出一种含需求响应的微网经济调度模型。该模型将直接负荷控制策略纳入优化调度模型,同时充分考虑居民负荷中的空调负荷和热水器负荷的使用规律和用电特性,分别进行负荷中断操作,对2种负荷使用... 为追求更高的经济效益和能源的合理利用,提出一种含需求响应的微网经济调度模型。该模型将直接负荷控制策略纳入优化调度模型,同时充分考虑居民负荷中的空调负荷和热水器负荷的使用规律和用电特性,分别进行负荷中断操作,对2种负荷使用不同的控制策略和赔偿机制,最大限度地平缓负荷曲线。以一个典型居民小区微网为例,通过基于混沌优化的改进遗传算法进行分析计算。结果表明,所提模型可以削峰填谷,具有较好的经济性和有效性。 展开更多
关键词 微网 控制策略 可中断负荷 空调 热水器
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微桥膜换能元结构设计及电阻计算方法 被引量:6
3
作者 褚恩义 刘卫 +4 位作者 薛艳 张蕊 解瑞珍 刘兰 任小明 《火工品》 CSCD 北大核心 2017年第6期1-5,共5页
针对微结构换能元设计的规范化问题,从解析几何的基本原理出发,建立微结构换能元参数化结构设计方法,获得不同结构微换能元上、下边界的数学表达式。同时借助于单元离散的基本思想,将微结构换能元离散成有限数量个近似方形的微小单元,... 针对微结构换能元设计的规范化问题,从解析几何的基本原理出发,建立微结构换能元参数化结构设计方法,获得不同结构微换能元上、下边界的数学表达式。同时借助于单元离散的基本思想,将微结构换能元离散成有限数量个近似方形的微小单元,依据串、幵联电阻值计算方法,建立微结构换能元电阻值分析计算模型,幵验证了模型准确性。结果表明,菱形和圆弧边界换能元的电阻值随宽度w、特征角度β或特征半径Rc增加呈幂函数形式减小,随长度l增加呈幂函数形式增加。本研究为换能元的结构设计提供技术支撑。 展开更多
关键词 MEMS技术 换能元 结构设计 参数化 电阻
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硅基热流式微流量传感器研究 被引量:3
4
作者 席文柱 闫卫平 +1 位作者 马灵芝 牛德芳 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第3期446-448,394,共4页
采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ,分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ,硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0~ 80 0 ... 采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ,分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ,硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0~ 80 0 μL/min之间。 展开更多
关键词 微流量传感器 微加热器 温度传感器 微机械电子系统
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PCR扩增芯片中微加热器结构优化分析 被引量:5
5
作者 罗伟栋 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期627-630,共4页
针对PCR扩增芯片中微加热器的传热问题进行有限元分析,用计算机模拟了不同形状微加热器的温度分布,通过对比分析,得出了提高温度分布均匀性的加热器结构和布置规律;根据分析结果,设计出双螺旋环形微加热器,这种结构能在一定范围内提供... 针对PCR扩增芯片中微加热器的传热问题进行有限元分析,用计算机模拟了不同形状微加热器的温度分布,通过对比分析,得出了提高温度分布均匀性的加热器结构和布置规律;根据分析结果,设计出双螺旋环形微加热器,这种结构能在一定范围内提供均匀的温度分布,为完成高质量的片上PCR扩增提供所需的温度环境;同时该结构还能有效减小微加热器本身的自感效应,提高加热效率。 展开更多
关键词 PCR芯片 微加热器 温度模拟
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微加热器热传导试验与计算 被引量:5
6
作者 刘泽文 田昊 刘冲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期612-619,共8页
为了研究微加热膜下方的结构与微加热器性能的关系,利用数值计算与有限元仿真,研究了微加热膜下方空气隙厚度的变化对加热器性能的影响。首先,通过微加热器试验确定了对流换热系数等关键热学计算参数,建立了一维Fourier导热微分方程组,... 为了研究微加热膜下方的结构与微加热器性能的关系,利用数值计算与有限元仿真,研究了微加热膜下方空气隙厚度的变化对加热器性能的影响。首先,通过微加热器试验确定了对流换热系数等关键热学计算参数,建立了一维Fourier导热微分方程组,计算了Biot数并以此为依据对模型进行了薄壁简化,使用有限差分法对微分方程进行了数值计算。然后,使用ANSYS有限元分析软件对模型进行了电热耦合仿真,并对在对流换热边界下硅衬底(无空气隙),100,200,300,400μm气隙以及加热膜(完全贯通)6种模型的瞬态温度响应及稳态热分布的结果进行了对比。计算结果表明,相比硅衬底,目前的微加热膜结构在同样边界条件下可以将最高温度提高约17%。空气隙为200μm时,在+5 V驱动电压和空气对流边界条件下,微加热器可以达到390 K,稳态功耗为134 mW,起到了改善最高温度性能,降低功耗的作用。 展开更多
关键词 微加热器 Biot数 Fourier传热
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新型共平面微气体传感器微热板的优化设计 被引量:4
7
作者 官修龙 刘丽 +1 位作者 何越 王连元 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第9期17-19,23,共4页
利用金属铂良好的热敏、热阻特性,以及Si O2良好的绝热、绝缘性能,设计了以铂为加热电极、以Si O2为绝缘材料的新型共平面微结构气体传感器。为了使该传感器获得高且均匀的温度分布,利用有限元软件ANSYS对该传感器的电极和基底进行仿真... 利用金属铂良好的热敏、热阻特性,以及Si O2良好的绝热、绝缘性能,设计了以铂为加热电极、以Si O2为绝缘材料的新型共平面微结构气体传感器。为了使该传感器获得高且均匀的温度分布,利用有限元软件ANSYS对该传感器的电极和基底进行仿真分析,并进一步优化该传感器的基底以及电极参数。仿真结果表明:传感器基底形状设计为方形结构,基底的前Si O2层、中间Si层、后Si O2层的厚度依次为1、199、100μm,且加热电极的宽度及间距均为20μm、信号电极宽度为40μm时,传感器上获得了最佳的温度分布,此时的磁场分布也较好,有利于传感器整体性能的提高。 展开更多
关键词 微气体传感器 ANSYS 微加热器 温度分布
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具有模式保持功能的片上模式分离器
8
作者 廖莎莎 张伍浩 +2 位作者 赵帅 赵薪程 唐亮 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期211-221,共11页
提出一种具有模式保持功能的片上模式分离器方案。该方案基于多模干涉耦合器(MMI),通过在MMI多模区加入微型热电极,并通过合理设计热电极的位置和精确控制热电极的加热温度,实现TE0、TE1和TE2三种模式的分离,其插入损耗均低于1.06 dB,... 提出一种具有模式保持功能的片上模式分离器方案。该方案基于多模干涉耦合器(MMI),通过在MMI多模区加入微型热电极,并通过合理设计热电极的位置和精确控制热电极的加热温度,实现TE0、TE1和TE2三种模式的分离,其插入损耗均低于1.06 dB,模式串扰均低于-15.38 dB。该方案具有模式分离数量多和可扩展的优势,可被广泛用于信号处理系统和通信系统中。 展开更多
关键词 集成光学 模式保持 多模干涉耦合器 模式分离器 微型热电极
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基于铝基含能配合物及CL-20含能微芯片的制备及表征
9
作者 孟珂娟 马小霞 +1 位作者 李宇翔 张开黎 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期438-444,I0004,共8页
为提高含能微芯片的能量特性和燃烧特性,推进其在微推进器、微驱动器、微毁伤器等装置中的应用,通过在铜箔上原位生长含能配位聚合物(ECP)、电子束沉积n-Al及重结晶CL-20的方法制备了ECP@Al@CL-20的含能阵列,采用SEM、XRD、TG/DSC及高... 为提高含能微芯片的能量特性和燃烧特性,推进其在微推进器、微驱动器、微毁伤器等装置中的应用,通过在铜箔上原位生长含能配位聚合物(ECP)、电子束沉积n-Al及重结晶CL-20的方法制备了ECP@Al@CL-20的含能阵列,采用SEM、XRD、TG/DSC及高速摄影等表征方法对其微观形貌、物相组成、热分解特性、燃烧性能及贮存寿命进行了测试与分析。在此基础上,将其与微机电系统(MEMS)集成制得了功能性的ECP@Al@CL-20含能微芯片,并对含能微芯片进行了电容点火测试。结果表明,由于ECP的导热系数低,使ECP@Al@CL-20含能阵列从外到内的传热效率降低,导致放热峰温相比纯CL-20提高了8.5℃,从而提高了ECP@Al@CL-20的热稳定性;ECP@Al@CL-20含能阵列具有优异的燃烧性能,自持燃烧时间(340 ms)远大于ECP@Al的自持燃烧时间(120 ms),含能微芯片可在15 mJ的输入能量下激发。 展开更多
关键词 含能配位聚合物 微机电系统 纳米铝 CL-20 微加热器 含能微芯片 ECP MEMS
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共面式MEMS气体传感器微热板设计与仿真
10
作者 周晓斌 王玫 王旭丹 《河南科技》 2024年第8期18-22,共5页
【目的】常见膜式结构和悬浮式结构的MEMS气体传感器在垂直方向上存在寄生电场,会对气体传感器的检测信号造成一定影响。为了降低寄生电场对气体传感器性能的影响,提出了一种共面结构的MEMS气体传感器,并对其微热板进行了建模仿真及优... 【目的】常见膜式结构和悬浮式结构的MEMS气体传感器在垂直方向上存在寄生电场,会对气体传感器的检测信号造成一定影响。为了降低寄生电场对气体传感器性能的影响,提出了一种共面结构的MEMS气体传感器,并对其微热板进行了建模仿真及优化。【方法】利用SolidWorks对共面式MEMS气体传感器进行建模,并通过有限元分析方法从热稳定性、机械稳定性等方面对微热板进行了仿真。【结果】仿真结果表明:共面结构的微热板可以在整个气体传感器的测量区域内提供稳定、均匀的热分布,并且可以避免高温工作时微热板加热电极和气体传感器测量电极之间相互连通,为MEMS气体传感器提供优异的测量环境。【结论】共面式MEMS气体传感器不仅可以有效降低垂直方向上的寄生电场对传感器性能的影响,而且可以简化气体传感器的工艺流程。仿真结果也证明了共面结构的可行性,为实际MEMS气体传感器的设计和制备提供参考依据。 展开更多
关键词 共面结构 MEMS 气体传感器 微热板 有限元仿真
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热气泡式微流体驱动器的研究进展 被引量:2
11
作者 刘本东 孙建闯 +2 位作者 侯岳鹏 苏彦强 李德胜 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1129-1137,共9页
热气泡式微流体驱动器是微驱动的一个研究分支,是微流控器件的重要组成部分.热气泡式微流体驱动器没有机械可动部件和机械变形,结构简单、容易加工制造、可靠性高,在航空航天、生物医学和化学等领域具有广阔的应用前景.目前,热气泡式微... 热气泡式微流体驱动器是微驱动的一个研究分支,是微流控器件的重要组成部分.热气泡式微流体驱动器没有机械可动部件和机械变形,结构简单、容易加工制造、可靠性高,在航空航天、生物医学和化学等领域具有广阔的应用前景.目前,热气泡式微流体驱动器主要采用4种加热方式:电阻加热、电磁感应加热、激光加热和电火花加热.对以上4种热气泡式微驱动器的研究进展进行了总结,分析了不同加热驱动方式的工作原理、结构组成、微加工制作方法、实验测试结果和驱动特点,并对今后热气泡式微驱动器的发展趋势及研究方法进行了分析. 展开更多
关键词 微驱动器 热气泡 微流体 微加热器
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Experimental study on the new type of electrical storage heater based on flat micro-heat pipe arrays 被引量:3
12
作者 wang zeyu diao yanhua +2 位作者 zhao yaohua liang lin wang tengyue 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第2期219-231,共13页
A new type of electrical storage heater that utilizes latent heat storage and flat micro-heat pipe arrays (FMHPAs) was developed. The thermal characteristics of the heater were tested through experimentation. The st... A new type of electrical storage heater that utilizes latent heat storage and flat micro-heat pipe arrays (FMHPAs) was developed. The thermal characteristics of the heater were tested through experimentation. The structure and operating principle of the storage heater were expounded. Three rows of FMHPAs were applied (three rows with five assemblies each) with a mass of 28 kg of phase change material (PCM) in the heat storage tank. Electric power was supplied to the PCM in the range of 0.2-2.04 kW, and air was used as heat transfer fluid, with the volume flow rate ranging from 40-120 m3/h. The inlet temperature was in the range of 15-24~C. The effects of heating power, air volume flow rate, and inlet temperature were investigated. The electrical storage heater exhibited efficiencies of 97% and 87% with 1.98 and 1.30 kW of power during charging and discharging, respectively. Application of the proposed storage heater can transfer electricity from peak periods to off-peak periods, and the excess energy generated by wind farms can be stored as heat and released when needed. Good economic and environmental benefits can be obtained. 展开更多
关键词 flat micro-heat pipe latent heat storage electrical storage heater peak load shifting wind power utilization
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基于AIBN材料的微流体驱动用微型正压源 被引量:1
13
作者 栗大超 姬永婕 +2 位作者 于海霞 梁文帅 徐可欣 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2245-2250,共6页
针对本课题组早些时候研制的用于微量组织液透皮抽取的微流控芯片,研究了一种基于偶氮双异丁腈(azobi-sisobutyronitrile,AIBN)热分解产生气体的微型正压源,用于为微流控芯片中微量组织液的收集和输运提供驱动力。将AIBN固定到微型加热... 针对本课题组早些时候研制的用于微量组织液透皮抽取的微流控芯片,研究了一种基于偶氮双异丁腈(azobi-sisobutyronitrile,AIBN)热分解产生气体的微型正压源,用于为微流控芯片中微量组织液的收集和输运提供驱动力。将AIBN固定到微型加热器上,微型加热器加热AIBN至70℃即可产生一定的正压力。实验结果表明,设计的微型正压源压力可控、易于制造、体积小,8.7mg的AIBN在900mA加热电流下可产生182kPa的压力,满足对微流控芯片中组织液透皮抽取所需的驱动力。 展开更多
关键词 微流控芯片 微流体驱动 微型正压源 偶氮双异丁腈(AIBN) 微型加热器
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应用于微型PCR芯片的微加热器特性研究 被引量:1
14
作者 王俊强 吴次南 +2 位作者 张普 郭藏燃 刘泽文 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期442-447,455,共7页
设计制作了一种应用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的微加热器。然后按照PCR循环温度的要求,利用该加热器进行了PCR温度实验。微加热器采用与MEMS工艺兼容的溅射方法在Si基上制作,微加热器材料为金属Pt。通过控制施加电压大小及时间,进... 设计制作了一种应用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的微加热器。然后按照PCR循环温度的要求,利用该加热器进行了PCR温度实验。微加热器采用与MEMS工艺兼容的溅射方法在Si基上制作,微加热器材料为金属Pt。通过控制施加电压大小及时间,进行了变性温度、退火温度和延伸温度实验。结果表明:在25 V和32 V电压控制下的温升速度分别为0.68℃/s和1.23℃/s。在断电自然冷却下的降温速度均达到1℃/s。在一个PCR循环周期中每个反应仓的平均功耗为50 mW,最大功耗80 mW,整个10 mm×10 mm芯片的最大功耗为0.96 W。完成第一次PCR温度循环需要220 s,之后的每次循环仅需要175 s。 展开更多
关键词 微型PCR芯片 微机电系统 微加热器 Pt薄膜 对流
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硅基PCR生物芯片微型加热器及温度传感器的研究 被引量:2
15
作者 席文柱 闫卫平 +1 位作者 杜立群 郭吉洪 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期332-334,337,共4页
采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔 ,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器 ,分析了微型加热器和温度传感器的特性 ,并给出扫描电子显微镜照片。实验证明Ni比较适合做温度传感器 ,NiCr是较好... 采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔 ,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器 ,分析了微型加热器和温度传感器的特性 ,并给出扫描电子显微镜照片。实验证明Ni比较适合做温度传感器 ,NiCr是较好的微型加热器材料 。 展开更多
关键词 硅基PCR 生物芯片 微型加热器 温度传感器 聚合酶链式反应 微反应腔
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基于MEMS工艺的电极塞换能元一体化集成技术 被引量:2
16
作者 陈建华 刘兰 +3 位作者 任小明 解瑞珍 刘卫 薛艳 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期18-20,共3页
针对传统电火工品桥丝焊接存在虚焊、人工效率低等问题,开展了基于MEMS工艺的电极塞换能元一体化集成技术研究。提出了电极塞换能元一体化集成设计的方案,通过在传统电极塞中引入MEMS工艺,形成了一体化集成的电极塞换能元。所设计的电... 针对传统电火工品桥丝焊接存在虚焊、人工效率低等问题,开展了基于MEMS工艺的电极塞换能元一体化集成技术研究。提出了电极塞换能元一体化集成设计的方案,通过在传统电极塞中引入MEMS工艺,形成了一体化集成的电极塞换能元。所设计的电极塞换能元具有平面结构、无人工焊接、批量化等特点,在10μF/15V条件下能够可靠作用。本研究为新一代电火工品设计提供技术支撑。 展开更多
关键词 换能元 电极塞 MEMS技术 集成
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Transient thermal response of micro-thermal conductivity detector (μTCD) for the identification of gas mixtures:An ultra-fast and low power method 被引量:1
17
作者 Alireza Mahdavifar Milad Navaei +3 位作者 Peter J.Hesketh Melvin Findlay Joseph R.Stetter Gary W.Hunter 《Microsystems & Nanoengineering》 EI 2015年第1期52-58,共7页
Micro-thermal conductivity detector(μTCD)gas sensors work by detecting changes in the thermal conductivity of the surrounding medium and are used as detectors in many applications such as gas chromatography systems.C... Micro-thermal conductivity detector(μTCD)gas sensors work by detecting changes in the thermal conductivity of the surrounding medium and are used as detectors in many applications such as gas chromatography systems.Conventional TCDs use steady-state resistance(i.e.,temperature)measurements of a micro-heater.In this work,we developed a new measurement method and hardware configuration based on the processing of the transient response of a low thermal mass TCD to an electric current step.The method was implemented for a 100-μm-long and 1-μm-thick micro-fabricated bridge that consisted of doped polysilicon conductive film passivated with a 200-nm silicon nitride layer.Transient resistance variations of theμTCD in response to a square current pulse were studied in multiple mixtures of dilute gases in nitrogen.Simulations and experimental results are presented and compared for the time resolved and steady-state regime of the sensor response.Thermal analysis and simulation show that the sensor response is exponential in the transient state,that the time constant of this exponential variation was a linear function of the thermal conductivity of the gas ambient,and that the sensor was able to quantify the mixture composition.The level of detection in nitrogen was estimated to be from 25 ppm for helium to 178 ppm for carbon dioxide.With this novel approach,the sensor requires approximately 3.6 nJ for a single measurement and needs only 300μs of sampling time.This is less than the energy and time required for steady-state DC measurements. 展开更多
关键词 gas sensor MEMS micro-bridge micro-heater μTCD thermal conductivity sensor transient heat transfer modeling
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PCR芯片中微腔室高度及加热器结构优化设计 被引量:1
18
作者 廖红华 廖宇 +1 位作者 易金桥 徐建 《湖北民族学院学报(自然科学版)》 CAS 2009年第4期403-407,共5页
对PCR扩增芯片中微加热器的传热及微腔(DNA反应液腔)室的高度优化问题进行了有限元分析,通过ANSYS软件模拟分析了单蛇形、双蛇形以及双螺旋形等典型结构微加热器的温度场分布,分析了不同腔室高度PCR芯片的温度场分布,重点探讨了不同微... 对PCR扩增芯片中微加热器的传热及微腔(DNA反应液腔)室的高度优化问题进行了有限元分析,通过ANSYS软件模拟分析了单蛇形、双蛇形以及双螺旋形等典型结构微加热器的温度场分布,分析了不同腔室高度PCR芯片的温度场分布,重点探讨了不同微加热器结构、不同布线规律对PCR芯片微腔室温度分布均匀性的影响,PCR芯片中DNA反应液厚度与芯片上下表面温差的关系.仿真结果表明:均匀加热器比非均匀加热器温度分布均匀性更好;双螺旋形加热器较单蛇形与双蛇形加热器更能满足实际需要;DNA反应液厚度与芯片上下表面温度差之间具有良好的线性关系.同时根据分析结果得到了所设计的具有电极均匀分布双螺旋微加热器的PCR芯片微腔室最佳高度为340μm,能很好满足片上PCR芯片扩增所需的温度环境条件. 展开更多
关键词 PCR芯片 微加热器 微腔室最佳高度 温度场分布 有限元分析
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微型PCR系统及其温控特性研究 被引量:1
19
作者 国石磊 刘泽文 +2 位作者 秦健 田昊 司卫华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1204-1208,共5页
介绍了一种基于芯片的微型聚合酶链式反应(polymerase chain reaction,PCR)系统,利用该系统进行了温度控制和响应特性研究。系统由PCR芯片、封装PCB板及单片机控制系统组成。PCR芯片采用MEMS技术制作。用微型PCR系统对芯片上含有微加热... 介绍了一种基于芯片的微型聚合酶链式反应(polymerase chain reaction,PCR)系统,利用该系统进行了温度控制和响应特性研究。系统由PCR芯片、封装PCB板及单片机控制系统组成。PCR芯片采用MEMS技术制作。用微型PCR系统对芯片上含有微加热器的反应仓进行了升温降温、循环温度和液体负载对比加热等实验。结果显示:微加热器升温速度可以达到3℃/s,降温速度可以达到1℃/s,稳定后温度变化小于0.1℃。通过实验结果与理论计算的对比,分析了微加热器的最高温度与加热功率之间的对应关系及提高温控特性的关键因素。 展开更多
关键词 PCR芯片 MEMS 微加热器 温控特性
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微尺度瞬态气泡生长及湮灭的数值模拟 被引量:1
20
作者 李帆 倪明玖 李骥 《中国科学院大学学报(中英文)》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期31-37,共7页
对脉冲加热过程中,微型加热器表面气泡的生长及湮灭进行三维数值模拟.通过几何重构和界面追踪的方法获取气液相界面的移动和变化,分析气泡生长过程中整个计算区域内的温度和速度分布.数值模拟结果与同等条件下的实验结果相比,气泡的生... 对脉冲加热过程中,微型加热器表面气泡的生长及湮灭进行三维数值模拟.通过几何重构和界面追踪的方法获取气液相界面的移动和变化,分析气泡生长过程中整个计算区域内的温度和速度分布.数值模拟结果与同等条件下的实验结果相比,气泡的生长和萎缩过程具有较好的一致性. 展开更多
关键词 气液相变 微型加热器 微气泡 传热
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