微机电系统科学与技术发展趋势 被引量：32

1

作者 王立鼎 刘冲 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2000年第5期505-508,共4页

阐明了微机电系统 (MEMS)的学科内涵与应用范畴 .着重介绍了国外MEMS的研究情况 .研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别 ;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术 .总结了国内的研究工作 ,给出了我国在基础理论、材料、工... 阐明了微机电系统 (MEMS)的学科内涵与应用范畴 .着重介绍了国外MEMS的研究情况 .研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别 ;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术 .总结了国内的研究工作 ,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研究情况 ,并提出发展我国微机电系统的几点建议 . 展开更多

关键词 传感器 微机电系统 微制造技术

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UV-LIGA技术在微型模具型腔加工中的应用研究 被引量：8

2

作者 庄俭 于同敏 +1 位作者 王敏杰 杜立群 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期106-109,共4页

为了实现微小注射模具型腔的精密加工,针对微小尺度模具型腔的加工难点,通过改良常规UV-LIGA工艺技术,选用合适的基底材料5CrNiMo,采用在基底表面上直接进行电铸生长的无背板生长方法,加工出具有50μm和100μm特征尺寸的哑铃型塑件微型... 为了实现微小注射模具型腔的精密加工,针对微小尺度模具型腔的加工难点,通过改良常规UV-LIGA工艺技术,选用合适的基底材料5CrNiMo,采用在基底表面上直接进行电铸生长的无背板生长方法,加工出具有50μm和100μm特征尺寸的哑铃型塑件微型腔.研究结果表明,无背板方法可实现在钢基底表面上直接通过电铸工艺获得微型模具型腔,省去了电铸背板步骤,既简化了工艺过程、缩短了整个工艺的制造周期,又增强了铸层与基底的结合力,可大大提高模具的形状精度. 展开更多

关键词 UV—LIGA技术 微细加工技术 微注射成型 微流道型腔

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微机电系统(MEMS)技术及其应用 被引量：2

3

作者 魏强 《泰安师专学报》 2002年第6期56-58,共3页

　微机电系统是一个新兴的技术领域.阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.

关键词 微机电系统 微机械 微传感器 微细加工技术 微电子技术 加工工艺

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基于微细加工技术的高精度荧光检测生物芯片 被引量：2

4

作者 李以贵 黄远 +1 位作者 颜平 杉山进 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第11期707-712,共6页

荧光检测生物芯片在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用。利用荧光修饰核酸探针可以在液相态中检测到c-fos mRNA致癌基因信息或病毒性核糖核酸(RNA)。通过微细加工技术分别制造了变深度微沟道和变宽度微沟道,目的是找到微生... 荧光检测生物芯片在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用。利用荧光修饰核酸探针可以在液相态中检测到c-fos mRNA致癌基因信息或病毒性核糖核酸(RNA)。通过微细加工技术分别制造了变深度微沟道和变宽度微沟道,目的是找到微生物荧光检测芯片中的最佳检测宽度和深度,并对检测装置中光学滤波片进行了优化。芯片采用最优尺寸和装置采用优化过的荧光滤波片,不仅大幅缩短了检测时间,节省了荧光探针试剂,而且还提高了芯片荧光检测灵敏度。实验结果表明:当荧光检测系统的微沟道深度为500μm、宽度为200μm,并使用(480±15)nm的带通滤波片时,荧光修饰核酸探针的探测灵敏度从通常的20 fmol(即2×10-14 mol)减低到50 amol(即5×10-17 mol),提高了约400倍,大大提高了系统的检测精度。 展开更多

关键词 微细加工技术 液相荧光检测 生物芯片 变深度微沟道 变宽度微沟道 检测灵敏度

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微型机械的研究和发展

5

作者 李雪萍 孙暄 《中国纺织大学学报》 CSCD 1999年第4期99-104,共6页

微型机械是一门综合性的新兴学科,已成为世界范围的研究热点,它的发展也极为迅速.主要介绍了微机械的概念、研究现状及其主要加工方法.最后,提出了我国在这一领域所应采取的策略.

关键词 微机械 研究现状 加工技术 微型机械

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MEMS技术在微型热泵中的应用

6

作者 钟晓晖 周树光 翟玉玲 《河北理工大学学报（自然科学版）》 CAS 2010年第3期51-55,共5页

微型热泵是指特征尺寸为"厘米级"的热泵,可用于建筑物、交通工具、衣服或其它装置的供暖或制冷。微电子机械系统(MEMS)的迅速发展,使过程机械装置的微型化和轻量化成为可能,将MEMS技术应用于热泵,其体积和传统装置相比可以缩... 微型热泵是指特征尺寸为"厘米级"的热泵,可用于建筑物、交通工具、衣服或其它装置的供暖或制冷。微电子机械系统(MEMS)的迅速发展,使过程机械装置的微型化和轻量化成为可能,将MEMS技术应用于热泵,其体积和传统装置相比可以缩小到60倍以上。对几种微制造技术进行了比较,并介绍了MEMS技术在微型热泵中的应用。 展开更多

关键词 MEMS技术 微型热泵 微细加工技术 微型化

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光刻亚微米线条研究

7

作者 赵友洲 《微电子学》 CAS CSCD 1991年第3期10-13,21,共5页

本文根据惠更新-菲涅耳原理,研究了提高光刻分辨率,提高光刻套准精度和在制版困难的条件下光刻亚微米线条的几种方法;并用实验证实了结论。

关键词 光刻 集成电路 亚微米线条

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微机械及微细加工技术 被引量：14

8

作者 苑伟政 李晓莹 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第3期503-508,共6页

介绍了微机械的概念，微机械的研究内容以及目前微机械产品的发展现状，特别着重介绍了目前微机械微细加工的方法。

关键词 微机械 微细加工

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微径铣刀及微细铣削技术的研究进展 被引量：8

9

作者 童利东 白清顺 +2 位作者 赵岩 王波 梁迎春 《工具技术》 北大核心 2006年第12期3-7,共5页

介绍了微径铣刀在制造工艺、刀具性能、刀具材料和涂层技术方面的研究进展;讨论了微细铣削技术在表面粗糙度及毛刺、切削力、刀具磨损及寿命等切削机理以及对微小零件加工能力的研究成果和发展前景。

关键词 微径铣刀 微细铣削 微细加工技术

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集成真空电子学 被引量：15

10

作者 冯进军 《真空电子技术》 2010年第2期1-7,共7页

本文简述了集成真空电子学的基本概念和研究内容,综述了国内外集成真空电子学,利用微加工的太赫兹真空器件的发展状况,对相关的技术进行了分析和评述。

关键词 太赫兹 集成真空电子学 微加工 真空微电子学 微波管 LIGA技术

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以PZT薄膜为驱动和传感的微型陀螺研制 被引量：5

11

作者 马薇 李世玮 虞吉林 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2001年第1期18-22,共5页

利用压电陶瓷 PZT的正反压电效应 ,将 PZT薄膜同时作为驱动及传感材料 ,设计并制造了两种新颖的以 IC兼容技术制作在硅片上的压电薄膜微型陀螺。高质量的 PZT薄膜是在 Pt/ Ti/ Si O2 / Si基底上以溶胶 -凝胶技术铺设的。基于反压电效应 ... 利用压电陶瓷 PZT的正反压电效应 ,将 PZT薄膜同时作为驱动及传感材料 ,设计并制造了两种新颖的以 IC兼容技术制作在硅片上的压电薄膜微型陀螺。高质量的 PZT薄膜是在 Pt/ Ti/ Si O2 / Si基底上以溶胶 -凝胶技术铺设的。基于反压电效应 ,微型陀螺在其谐振频率上被输入的交流信号驱动 ,由其正压电效应 ,可检测到与转动角速度成正比的输出信号。文章分别介绍了两种微型陀螺的设计原理 ,详述了制作方法 ,并对制出的压电微型陀螺进行了检测 。 展开更多

关键词 微型陀螺 PZT薄膜 压电陶瓷 驱动 传感

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微机电系统技术的研究现状和展望 被引量：11

12

作者 严宇才 张端 《电子工业专用设备》 2011年第4期1-8,46,共9页

微机电系统(MEMS)是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统。介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程,着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用,其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究,最后就MEMS技术... 微机电系统(MEMS)是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统。介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程,着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用,其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究,最后就MEMS技术的前景和研究方向进行了探讨和展望。 展开更多

关键词 微机电系统 微加工技术 片上系统 加速度计

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生物芯片技术及其在基础生物科学研究中的应用 被引量：6

13

作者 朱杰 王国栋 《生物信息学》 2006年第3期135-138,共4页

回顾了生物芯片的发展历史,重点介绍了生物芯片技术的两大技术基础:分子生物技术和微细加工生物技术;阐述了生物芯片技术的核心内容,总结了生物芯片的三大类型,并对生物芯片技术在生命科学基础研究中的应用进行了深入探讨和展望。

关键词 生命科学 生物芯片 分子生物学 微细加工技术

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基于微细加工技术的微谐振腔型滤波器 被引量：5

14

作者 宋康 李以贵 陈水良 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期659-661,共3页

　设计了一种新工艺———利用硅微结构直接作为模具来制作微小固体染料激光器谐振腔型滤波器。首先通过组合刻蚀工艺制作硅模具 ,再利用硅模具复制得到微谐振腔。组合刻蚀工艺是采用深层反应离子刻蚀 (deep RIE)再结合EPW湿法刻蚀 (一... 　设计了一种新工艺———利用硅微结构直接作为模具来制作微小固体染料激光器谐振腔型滤波器。首先通过组合刻蚀工艺制作硅模具 ,再利用硅模具复制得到微谐振腔。组合刻蚀工艺是采用深层反应离子刻蚀 (deep RIE)再结合EPW湿法刻蚀 (一种各向异性刻蚀技术 )。由于EPW湿法刻蚀对〈110〉面刻蚀速率较慢 ,可制作出具有光学镜面的侧壁〈110〉的硅模具 ,利用此模具可复制出正方形固态染料微谐振腔。以激光染料若丹明 6G掺杂的聚甲基丙烯酸甲脂 (PMMA)为工作物质 ,在调QNd∶YAG自倍频激光 5 32nm抽运下 ,得到 6 0 0nm波长的激光输出。这种谐振腔可应用在染料激光器和滤波器中 ,对其原理、设计、制作工艺和性能都作了介绍。 展开更多

关键词 激光技术 硅模具 微细加工技术 微谐振腔滤波器

原文传递

一种新颖的四梁式压电薄膜微型陀螺 被引量：2

15

作者 马薇 李世玮 虞吉林 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2000年第4期401-405,共5页

利用压电陶瓷的特性 ,采用IC兼容的技术 ,设计并制造了一种新颖的压电薄膜微型陀螺 .在Pt/Ti/SiO2 /Si基底上以sol gel技术铺设了高质量的压电陶瓷薄膜 .基于压电反效应 ,微型陀螺在其谐振频率上被 0 .3V的交流信号驱动 .由其压电正效... 利用压电陶瓷的特性 ,采用IC兼容的技术 ,设计并制造了一种新颖的压电薄膜微型陀螺 .在Pt/Ti/SiO2 /Si基底上以sol gel技术铺设了高质量的压电陶瓷薄膜 .基于压电反效应 ,微型陀螺在其谐振频率上被 0 .3V的交流信号驱动 .由其压电正效应 ,可检测到与转动角速度成正比的输出信号 .本文介绍了该微型陀螺的设计原理 .实验结果证实了理论预测 . 展开更多

关键词 压电效应 科里奥利力 微型陀螺 压电薄膜 四梁式

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基于微/纳米加工技术的微型电化学免疫传感器研究 被引量：4

16

作者 许媛媛 边超 +1 位作者 陈绍凤 夏善红 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2149-2152,共4页

生物传感器的研制越来越趋向于微型化、集成化、智能化以及无创伤的方向发展.研制基于微/纳米加工技术的电化学免疫传感器顺应了这一趋势,利用微电子机械系统(MEMS)技术在硅基芯片上制备微型三电极系统和SU-8微型池,并采用自组装单层膜... 生物传感器的研制越来越趋向于微型化、集成化、智能化以及无创伤的方向发展.研制基于微/纳米加工技术的电化学免疫传感器顺应了这一趋势,利用微电子机械系统(MEMS)技术在硅基芯片上制备微型三电极系统和SU-8微型池,并采用自组装单层膜和纳米金修饰微型电极表面用于抗体的固定化,研制出新型的电化学免疫传感器.研究表明,这种微型电化学免疫传感器易于实现批量生产,便于集成,检测过程只需要少量的样品,大大降低有毒试剂的消耗,减少环境污染,同时具有分析成本低,响应时间快,检测下限低和适用于现场快速检测等优点. 展开更多

关键词 微/纳米加工技术 微型电化学免疫传感器 微电子机械系统(MEMS) 抗体

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聚焦离子束组合装置及应用 被引量：2

17

作者 马向国 刘同娟 顾文琪 《微纳电子技术》 CAS 2007年第6期328-330,336,共4页

聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成分分析、薄膜淀积和无掩膜刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。对电子离子双束纳米工作站,聚焦离子束、扫描电镜和Ar离子束构成的“三束”显微镜系统的原理和应用作了详细介绍,同时也对... 聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成分分析、薄膜淀积和无掩膜刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。对电子离子双束纳米工作站,聚焦离子束、扫描电镜和Ar离子束构成的“三束”显微镜系统的原理和应用作了详细介绍,同时也对聚焦离子束-分子束外延组合装置、聚焦离子束与二次离子质谱仪(SIMS)的组合装置以及单轴聚焦离子/电子束(FIEB)装置作了简单介绍。 展开更多

关键词 聚焦离子束 组合装置 微纳加工技术

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共晶键合与减薄技术的压电能量采集器（英文） 被引量：1

18

作者 李以贵 颜平 +1 位作者 黄远 杉山进 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期62-66,共5页

采用微硅-锆钛酸铅(Si-PZT)悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块,构成可以工作于低频环境(小于1 000Hz)的微压电能量采集器,一种利用压电效应将环境振动能转换为电能的器件。利用金薄膜作为中间层的共晶键合技术和PZT研磨减薄技术制... 采用微硅-锆钛酸铅(Si-PZT)悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块,构成可以工作于低频环境(小于1 000Hz)的微压电能量采集器,一种利用压电效应将环境振动能转换为电能的器件。利用金薄膜作为中间层的共晶键合技术和PZT研磨减薄技术制备了微压电悬臂梁结构,PZT减薄实验最好结果为减薄至8μm。镍质量块(2mm×2mm×0.6mm)采用微电铸工艺制备。通过对硅片与块材PZT的共晶键合工艺与PZT减薄技术的研究,制备出总厚度约为71μm的Si-PZT悬臂梁结构,其中硅梁厚约为47μm,PZT梁厚约为24μm。制备的微压电振动能量采集器样品的测试结果表明:在谐振频率为950 Hz,1.0g加速度激励条件下,其交流输出峰值电压可达958mV。 展开更多

关键词 微制造 能量采集器 减薄技术 共晶键合 锆钛酸铅

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无机-有机复合组织器官工程材料的微纳制造 被引量：1

19

作者 仇志烨 王江林 +1 位作者 周娇娇 张胜民 《中国材料进展》 CAS CSCD 2011年第4期16-22,29,共8页

无机-有机复合组织器官工程支架的微纳制造是近年来兴起的生物材料研究领域,相对传统的生物材料与组织工程材料制造技术,微纳制造整合了微纳米技术、计算机辅助设计、数字化制造等先进技术手段,为新型生物医用材料的开发以及生物材料制... 无机-有机复合组织器官工程支架的微纳制造是近年来兴起的生物材料研究领域,相对传统的生物材料与组织工程材料制造技术,微纳制造整合了微纳米技术、计算机辅助设计、数字化制造等先进技术手段,为新型生物医用材料的开发以及生物材料制造新技术、新设备的研发提供了新的技术路线。综述了生物医用材料、特别是组织器官工程与组织修复材料微纳制造技术现状及发展趋势,主要内容包括生物材料的微纳米化及实现途径、组织器官工程支架材料的数字化设计、组织器官工程支架材料的数字化制造新技术等,对我国组织器官工程(修复)材料数字化微纳制造新技术的优先发展领域提出了展望。 展开更多

关键词 无机-有机复合材料 组织工程支架 微纳制造 数字化制造 纳米技术

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一种基于微\纳米加工技术的新型太赫兹片上螺旋天线 被引量：1

20

作者 郭林 潘杰 《电子器件》 CAS 北大核心 2017年第2期276-279,共4页

给出了一种基于微\纳米加工技术的3D片上天线结构,天线工作频率为1.5 THz。该天线结构包含圆柱形金属螺旋和衬底上的微带馈线2个部分。所提出的天线结构可以在单片晶圆上利用微\纳米加工技术实现,且方便与系统其他部分的电路集成于同一... 给出了一种基于微\纳米加工技术的3D片上天线结构,天线工作频率为1.5 THz。该天线结构包含圆柱形金属螺旋和衬底上的微带馈线2个部分。所提出的天线结构可以在单片晶圆上利用微\纳米加工技术实现,且方便与系统其他部分的电路集成于同一芯片内部。天线在1.4 THz～1.6 THz频段内具有很高的增益(11 dBi)和很宽的工作带宽(200 GHz),非常适合应用于太赫兹通信系统。 展开更多

关键词 太赫兹(THz)天线 片上螺旋天线 微/纳米加工技术 微带线

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