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MEMS技术的现状和发展趋势 被引量:32
1
作者 刘光辉 亢春梅 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第1期52-56,共5页
MEMS技术是一门新兴的技术 ,近年来 ,越来越受到世界各国的重视。主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点。
关键词 微电子机械系统 传感器 执行器
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微型飞行器的研究现状与关键技术 被引量:32
2
作者 肖永利 张琛 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期26-32,共7页
微型飞行器目前在国际上是一个研究热点 ,它突破了传统常规飞行器的设计和制作概念 ,是随着微米纳米科技和微电子机械系统 ( MEMS)的蓬勃兴起而发展起来的一个新的研究领域。本文介绍了国内外各种微型飞行器当前的研究发展状况 ,分析了... 微型飞行器目前在国际上是一个研究热点 ,它突破了传统常规飞行器的设计和制作概念 ,是随着微米纳米科技和微电子机械系统 ( MEMS)的蓬勃兴起而发展起来的一个新的研究领域。本文介绍了国内外各种微型飞行器当前的研究发展状况 ,分析了微型飞行器研制中的一些关键技术 ,并对其未来发展前景作了展望。 展开更多
关键词 微型飞行器 微飞行机器人 微电子机械系统 扑翼 mems
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MEMS技术的现状及发展趋势 被引量:14
3
作者 李志信 罗小兵 过增元 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第9期58-60,共3页
主要介绍了MEMS的研究和应用现状 ,分别从市场和技术的角度分析了MEMS的发展趋势。还根据国内研究现状 。
关键词 微电子机械系统 微电子 微加工
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Accuracy improvement of GPS/MEMS-INS integrated navigation system during GPS signal outage for land vehicle navigation 被引量:15
4
作者 Honglei Qin Li Cong Xingli Sun 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 2012年第2期256-264,共9页
To improve the reliability and accuracy of the global po- sitioning system (GPS)/micro electromechanical system (MEMS)- inertial navigation system (INS) integrated navigation system, this paper proposes two diff... To improve the reliability and accuracy of the global po- sitioning system (GPS)/micro electromechanical system (MEMS)- inertial navigation system (INS) integrated navigation system, this paper proposes two different methods. Based on wavelet threshold denoising and functional coefficient autoregressive (FAR) model- ing, a combined data processing method is presented for MEMS inertial sensor, and GPS attitude information is also introduced to improve the estimation accuracy of MEMS inertial sensor errors. Then the positioning accuracy during GPS signal short outage is enhanced. To improve the positioning accuracy when a GPS signal is blocked for long time and solve the problem of the tra- ditional adaptive neuro-fuzzy inference system (ANFIS) method with poor dynamic adaptation and large calculation amount, a self-constructive ANFIS (SCANFIS) combined with the extended Kalman filter (EKF) is proposed for MEMS-INS errors modeling and predicting. Experimental road test results validate the effi- ciency of the proposed methods. 展开更多
关键词 functional coefficient autoregressive (FAR) global po- sitioning system (GPS) micro electromechanical system mems inertial navigation system (INS) self-constructive adaptive neuro- fuzzy inference system (SCANFIS).
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微机电系统的发展现状和应用 被引量:9
5
作者 胡雪梅 吕俊霞 《机电设备》 2005年第6期I0041-I0044,共4页
微机电系统是一项20世纪末兴起、21世纪初开始快速发展起来的高新技术,该文介绍了微机电系统的起源和特点,对微机电系统的加工技术、封装技术、测试技术、应用、国内发展现状及发展前景进行了较全面的论述.
关键词 微机电系统(mems) 微加工技术 应用 前景
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串联MEMS开关的一种等效电路模型 被引量:6
6
作者 张万里 彭斌 +2 位作者 张文旭 蒋洪川 杨仕清 《微波学报》 CSCD 北大核心 2002年第4期45-48,共4页
本文建立了串联悬臂梁MEMS开关的一个等效电路模型 ,利用该模型研究了开关的微波传输性能 ,并与有限元方法仿真的结果进行比较 ,结果表明 。
关键词 微机电系统 微波开关 等效电路
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MEMS传感器的标准化现状与发展对策 被引量:9
7
作者 陈勤 范树新 张维波 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第8期6-8,共3页
随着MEMS传感器在各个领域的广泛应用,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状,并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题、与现有半导体标准的关系进行了分... 随着MEMS传感器在各个领域的广泛应用,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状,并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题、与现有半导体标准的关系进行了分析探讨,同时,对我国MEMS传感器标准的发展对策提出了建议。 展开更多
关键词 微电子机械系统 传感器 标准 半导体
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基于β辐射伏特效应的同位素微电池理论模型研究 被引量:8
8
作者 褚金奎 朴相镐 吴红超 《核动力工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期113-118,共6页
随着微型机械电子系统(MEMS)的发展,微能源逐渐成为MEMS应用中的一个非常关键的问题。在同时考虑了同位素的选择及其衰变类型、粒子能谱、放射粒子能量损失率、半导体特性、载流子的产生与复合等因素的基础上,提出了一个基于β辐射伏特... 随着微型机械电子系统(MEMS)的发展,微能源逐渐成为MEMS应用中的一个非常关键的问题。在同时考虑了同位素的选择及其衰变类型、粒子能谱、放射粒子能量损失率、半导体特性、载流子的产生与复合等因素的基础上,提出了一个基于β辐射伏特效应的同位素微电池的理论模型。可以用该模型计算出微电池的短路电流和开路电压。得到的模拟结果比引用文献结果稍高,还得到了表面掺杂浓度、结深以及放射粒子活度对电池输出参数的影响。 展开更多
关键词 微同位素电池 微型机械电子系统 理论模型
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MEMS红外光源研究及其应用 被引量:7
9
作者 田英 熊继军 +3 位作者 关新锋 李佩青 孟青 丑修建 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第9期607-612,共6页
首先介绍了红外光源的类型,从波长范围、调制频率、输出功率以及制作成本等方面比较了三种不同类型红外光源的优缺点。分析了基于微机电系统(MEMS)加工技术的红外光源工作原理和类型。系统综述了MEMS红外光源的国内外研究现状,包括不同... 首先介绍了红外光源的类型,从波长范围、调制频率、输出功率以及制作成本等方面比较了三种不同类型红外光源的优缺点。分析了基于微机电系统(MEMS)加工技术的红外光源工作原理和类型。系统综述了MEMS红外光源的国内外研究现状,包括不同辐射层材料和不同结构的MEMS红外光源。详细描述了MEMS红外光源在红外气体传感器、目标识别装置、红外通信装置中的应用。讨论了其在结构设计和加工过程中存在的高辐射率发光材料的制作、红外光源薄膜热应力的释放以及机械强度低等技术瓶颈问题,并简单展望了MEMS红外光源的未来发展趋势。 展开更多
关键词 红外光源 微机电系统(mems) 辐射强度 电光转换效率 工业安全生产 大气环境监测
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高敏感度微机械陀螺阵列的设计 被引量:5
10
作者 郝燕玲 刘博 周广涛 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期42-46,51,共6页
提出了一种新型的四自由度陀螺设计方式,结构设计基于科罗奥利效应采用多敏感模态振动单元组合阵列的形式.与传统二自由度陀螺比较,该陀螺阵列在提高增益的同时保持了本身具有的鲁棒性.在四自由度陀螺的设计中,两个具备固有中心频率差... 提出了一种新型的四自由度陀螺设计方式,结构设计基于科罗奥利效应采用多敏感模态振动单元组合阵列的形式.与传统二自由度陀螺比较,该陀螺阵列在提高增益的同时保持了本身具有的鲁棒性.在四自由度陀螺的设计中,两个具备固有中心频率差值的完全二自由度振动单元被应用在敏感模态中.通过设定中心频率差值,综合考虑了提高陀螺敏感度和稳定性的因素.陀螺阵列通过联合两个敏感模态振动单元的输出,达到提高敏感模态增益和增强系统敏感度的目的.仿真结果表明:与单个敏感模态振动单元相比,陀螺阵列的增益增加了8dB;而且在敏感模态和驱动模态分别产生了220和160Hz范围内的3dB带宽;两个模态的带宽彼此高度匹配,并且为整个系统提供了160Hz的带宽.陀螺阵列对于结构参数的变化和制造误差都有很强的鲁棒性,从而说明该设计能满足实际需求. 展开更多
关键词 微机电系统 陀螺阵列 多自由度 模态匹配 增益增强
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基于MEMS技术的电容式微型真空传感器 被引量:5
11
作者 张丹 林雁飞 冯勇建 《微纳电子技术》 CAS 2008年第2期104-108,共5页
介绍了一种以MEMS技术为基础的电容式硅微真空传感器。该传感器主要采用p+硅自停止腐蚀技术和阳极键合技术制作,形成了玻璃-硅-玻璃的三明治结构。传感器的传感元是经过浓硼扩散的硼硅膜,方形硼硅膜的应用使传感器具有更高的灵敏度;感... 介绍了一种以MEMS技术为基础的电容式硅微真空传感器。该传感器主要采用p+硅自停止腐蚀技术和阳极键合技术制作,形成了玻璃-硅-玻璃的三明治结构。传感器的传感元是经过浓硼扩散的硼硅膜,方形硼硅膜的应用使传感器具有更高的灵敏度;感应耦合等离子体刻蚀硼硅膜引出金属电极的方法使传感器的制作更为简单。该真空微传感器具有结构简单、灵敏度高等优点,其尺寸为5mm×6.4mm。该真空传感器的测量范围为5×10-3~6×10-2Pa,其线性度为5.9%,灵敏度比较稳定。 展开更多
关键词 微机电系统 传感器 自停止 阳极键合 三明治结构
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基于数据仓库和数据挖掘的人体信息传感/记录/诊断/预测微系统 被引量:3
12
作者 李众 董海峰 王彬 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期119-123,共5页
在分析介绍了微机电系统(MicroElectroMechenicalSystem,MEMS)技术、人体传感器网络技术(Body Sensor Networks)、微型数据存储技术、数据仓库与挖掘技术、网格计算技术的基础上,提出了人体信息传感/记录/诊断/预测微系统(Human body se... 在分析介绍了微机电系统(MicroElectroMechenicalSystem,MEMS)技术、人体传感器网络技术(Body Sensor Networks)、微型数据存储技术、数据仓库与挖掘技术、网格计算技术的基础上,提出了人体信息传感/记录/诊断/预测微系统(Human body sensing/recording/diagnostics/prediction microsystem,SRDP)的概念,其核心思想是利用MEMS技术、人体传感网络技术和数据存储技术对人体生理参数进行长期检测和记录,通过数据仓库、数据挖掘技术和网格计算技术对这些超量数据进行聚类、存储和分布式并行信息挖掘,实现对疾病发生累计机制的量化认知和对人体健康状况的实时判断和预测。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 人体传感器网络(BSN) 微型数据存储 数据挖掘 网格计算
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一种用于MEMS动态测量的最优盒计数分形维数算法 被引量:3
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作者 罗元 蒋秋照 张毅 《重庆邮电大学学报(自然科学版)》 北大核心 2012年第2期231-235,共5页
在微机电系统(micro electromechanical system,MEMS)的动态测量中,利用分形插值法可以提高MEMS器件面内位移测量的精度,利用图像边缘的分形特征,还可以实现离面位移和旋转角度的测试。而分形维数(fractal di-mension)的计算又是这些方... 在微机电系统(micro electromechanical system,MEMS)的动态测量中,利用分形插值法可以提高MEMS器件面内位移测量的精度,利用图像边缘的分形特征,还可以实现离面位移和旋转角度的测试。而分形维数(fractal di-mension)的计算又是这些方法的关键。在研究目前最常用的分形维数计算方法-差分盒计数法(difference box counting,DBC)的基础上,提出了一种对"空盒子"不予计数的最优盒计数分形维数算法,克服了差分盒计数法存在"空盒子"被计数的缺陷。理论分析和实验结果表明,该算法获得的分形维数更接近于理论维数。 展开更多
关键词 分形维数 最优盒计数法 mems 动态测量
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PC认证的MEMS强链控制系统设计(英文) 被引量:1
14
作者 Sheng-yong LI 《机床与液压》 北大核心 2016年第6期62-68,共7页
It is proposed in this paper the control system of a MEMS strong-link for PC authentication system,which is composed of MEMS strong-link, interface card and dedicated software. The strong-link is comprised of amulti-t... It is proposed in this paper the control system of a MEMS strong-link for PC authentication system,which is composed of MEMS strong-link, interface card and dedicated software. The strong-link is comprised of amulti-try counter-meshing gears (CMG) discrimination device based on micro electromeehanical system (MEMS)technology. The control system is consist of micro-motor driving system, electrical control system and dedicatedsoftware program. The PCI-7248 DIO extending card and L6234 bmshless DC motor driven IC are applied for thecontrol of MEMS strong-link. The authentication system on PC startup is controlled by the program in BIOS chip,which gets the control during the POST of PC. The discrimination device has the function of automatic resettingwith correct code, which can be tried 3 times. The success rate in 1000 times is 100%. 展开更多
关键词 Multi-try micro electromechanical system (mems) micro-motor Driving CIRCUIT
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柔性微热剪切应力传感器阵列 被引量:3
15
作者 王文君 刘武 +4 位作者 张卫平 陈文元 杨春生 崔峰 吴校生 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期984-988,998,共6页
设计了一种基于微机电系统的、制备在柔性聚酰亚胺衬底上的双热线结构微型热剪切应力传感器阵列,可用于复杂形状物体表面所受剪切应力的矢量化测量.基于传感器的原理,用Comsol软件对传感器进行了温度场和流场的仿真,说明了传感器制作工... 设计了一种基于微机电系统的、制备在柔性聚酰亚胺衬底上的双热线结构微型热剪切应力传感器阵列,可用于复杂形状物体表面所受剪切应力的矢量化测量.基于传感器的原理,用Comsol软件对传感器进行了温度场和流场的仿真,说明了传感器制作工艺流程,用硅橡胶与聚酰亚胺在酒精中浸泡后易于剥离的特点实现柔性传感器脱膜.对传感器实物进行了温度电阻系数和响应频率的测试.实验结果表明,设计的工艺路线简单,结构参数合理,可以实现所需柔性传感器阵列. 展开更多
关键词 热剪切应力 微机电系统 柔性传感器 聚酰亚胺
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基于复合形法的低g微惯性开关结构优化设计 被引量:2
16
作者 王超 陈光焱 吴嘉丽 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第11期725-732,共8页
低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置,其设计目的包括减小体积、提高抗振性和产品间闭合阈值一致性等综合性能。针对一种基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关,在给定条件下以增大螺旋梁厚度为目标进... 低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置,其设计目的包括减小体积、提高抗振性和产品间闭合阈值一致性等综合性能。针对一种基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关,在给定条件下以增大螺旋梁厚度为目标进行优化建模,运用复合形法的MATLAB语言程序进行优化设计。结果表明,经优化设计后,管芯"弹簧-质量"结构面积为0.09cm2,与初始设计相比减少了约46.5%,满足应用环境的要求。优化模型梁厚度为36.3μm,比初始设计增大了约21%,验证了优化算法的有效性。与传统设计方法相比,复合形法具有较高的实用性和优化效率。为实现对螺旋梁厚度的精确控制,提出了基于双埋层SOI硅片的管芯"弹簧-质量"结构加工工艺方案,并进行了初步的工艺流片。 展开更多
关键词 微惯性开关 优化设计 复合形法 参数化设计 微机电系统(mems)
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仿医蛭微机器人中SMA的布局及与偏置弹簧匹配的研究 被引量:1
17
作者 刘方湖 马培荪 +1 位作者 陈建平 王美龄 《机械设计与制造工程》 2001年第3期26-27,30,共3页
为使仿医蛭管内微机器人在管内爬行时不产生振动 ,在研究其致动机理和振动特性的基础上 ,提出了该机器人弹性足中SMA的最佳布局方式及收缩部件中SMA与偏置弹簧倔强系数之间的最佳匹配关系 。
关键词 微电子机械系统 形状记忆合金 振动特性 微驱动器 SMA 偏置弹簧 仿医蛭微型机器人
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基于菱形搜索块匹配技术的微机电系统微运动测量研究 被引量:2
18
作者 龚立雄 程双胜 刘永 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第22期2747-2752,共6页
首先,分析了块匹配运动模型和测量原理,采用最小总绝对差值设置块匹配准则,确立了菱形搜索算法的块匹配搜索路径。该算法通过大小模板块匹配进行粗定位和精定位,求解微运动最佳运动矢量。然后,设计了基于计算机微视觉的微机电系统图像... 首先,分析了块匹配运动模型和测量原理,采用最小总绝对差值设置块匹配准则,确立了菱形搜索算法的块匹配搜索路径。该算法通过大小模板块匹配进行粗定位和精定位,求解微运动最佳运动矢量。然后,设计了基于计算机微视觉的微机电系统图像获取方案,并以微机电系统谐振器为研究对象,获取24幅不同相位图像,用所提出的微运动测量方法进行分析和验证,结果表明:基于最小总绝对差值和菱形搜索算法的块匹配技术能较好地估计和测量微机电系统器件的微运动矢量。 展开更多
关键词 块匹配 菱形搜索 微运动 微机电系统 微视觉
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低阻尼MEMS加速度传感器频率特性快捷测试法 被引量:2
19
作者 张旭辉 徐爱东 卞玉民 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第2期108-112,共5页
提出了一种适合低阻尼MEMS压阻加速度传感器频率特性的测试方法,可较为快捷地获得传感器谐振频率和阻尼比等频率特性。首先介绍了该方法的理论依据和计算方法,然后介绍了典型测试系统构成和测试结果,并将该方法的测试结果与传统扫频测... 提出了一种适合低阻尼MEMS压阻加速度传感器频率特性的测试方法,可较为快捷地获得传感器谐振频率和阻尼比等频率特性。首先介绍了该方法的理论依据和计算方法,然后介绍了典型测试系统构成和测试结果,并将该方法的测试结果与传统扫频测试方法的测试结果进行了对比,本方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.58 kHz和0.015,扫频测试方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.66 kHz和0.005。结果显示,该方法所得结果具有较好的精度,并具有操作简单、快速、重复性好及系统搭建成本低等优点。该方法已应用于汽车碰撞用MEMS压阻加速度传感器的生产,作为检测和筛选的测试手段。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 压阻 加速度传感器 汽车碰撞 谐振频率 阻尼比
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基于微机械加工工艺的声子晶体器件 被引量:2
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作者 郑忱煜 徐德辉 熊斌 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第8期1418-1423,共6页
声子晶体是一种周期复合人工超材料。声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力。利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能... 声子晶体是一种周期复合人工超材料。声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力。利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能量的局域放大。设计了两种基于MEMS工艺的器件,分别用于实现功分器和谐振器的功能。内容覆盖了硅基声子晶体器件的背景、原理、设计、制造和表征等方面。 展开更多
关键词 声子晶体 微机电系统 禁带
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