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微硅陀螺性能影响因素及其对策研究 被引量:16
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作者 吴学忠 刘宗林 李圣怡 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期274-276,280,共4页
论述了微硅陀螺的发展概况 ,总结了微硅陀螺的几类典型结构 ,分析了微硅振动陀螺总体性能的影响因素。从制作工艺、材料特性、系统模型的确立及接口设计上详细分析了性能约束因子。针对这些约束因素 。
关键词 微硅陀螺 结构 性能 材料特性 接口设计 制作工艺 微机电系统
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改进型硅微振动轮式陀螺仪有限元模型与结构性能研究 被引量:1
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作者 李明 周百令 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1999年第2期46-49,74,共5页
由于改进型硅微振动轮陀螺仪的结构性能要求和特殊的制造工艺,在设计阶段必须对其进行详细的结构性能分析。本文建立了该陀螺仪的三维有限元模型,分析计算了其基本模态。通过研究其谐响应,确定了频率、振幅和灵敏度的关系。
关键词 硅微型陀螺仪 有限元 模态分析 谐分析 灵敏度
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微机械轮式陀螺仪的结构分析 被引量:1
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作者 郭宏宾 赵玉龙 蒋庄德 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期150-152,164,共4页
以轮式陀螺仪为研究对象,利用有限元方法分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响。根据驱动模态和敏感模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸;通过谐响应分析确定了频率和振幅的关系,为结构设计和制备工艺提供了理论指导。
关键词 微机电系统 硅微机械陀螺 有限元方法 模态分析 谐响应分析
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硅微陀螺信号处理方法——基于前向线性预测小波变换方法 被引量:1
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作者 吉训生^② 王寿荣 吉训生 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期151-155,共5页
为补偿漂移误差对硅微陀螺的测量精度造成的损失,针对漂移误差易受外部环境噪声影响的特点,提出了一种基于前向线性预测(FLP)的小波变换(WT)处理方法——DWT-FLP 算法,并通过硅微陀螺试验对其进行了验证。该方法利用快速小波变换算法进... 为补偿漂移误差对硅微陀螺的测量精度造成的损失,针对漂移误差易受外部环境噪声影响的特点,提出了一种基于前向线性预测(FLP)的小波变换(WT)处理方法——DWT-FLP 算法,并通过硅微陀螺试验对其进行了验证。该方法利用快速小波变换算法进行信号的小波分解和小波重构,并将 FLP 方法用于小波分解系数的重构,比较显著地提高了重构信号的精度。对于4尺度的 db4小波变换,40阶 FLP 的滤波方法可以将硅微陀螺静态漂移的标准差提高4.8倍,动态测量过程信噪比可以提高6.5dB,并且该算法的实时性也可以满足实际工程的需要。 展开更多
关键词 硅微陀螺 小波变换(WT) 前向线性预测(FLP)
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静电悬浮微硅陀螺的空气阻尼特性 被引量:5
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作者 吴黎明 董景新 +1 位作者 韩丰田 刘云峰 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1972-1975,共4页
为保证静电悬浮微陀螺在工作状态下具有期望的动态特性,需要得到微陀螺六自由度运动的空气阻尼模型。根据流体力学和分子动力学的基本理论,在考虑空气流动状态、温度和气膜可压缩性的基础上,构建了描述微陀螺压膜阻尼特性的Reynolds方程... 为保证静电悬浮微陀螺在工作状态下具有期望的动态特性,需要得到微陀螺六自由度运动的空气阻尼模型。根据流体力学和分子动力学的基本理论,在考虑空气流动状态、温度和气膜可压缩性的基础上,构建了描述微陀螺压膜阻尼特性的Reynolds方程,以及描述滑膜阻尼特性的Couette流模型。将微陀螺表头内部气膜分成了8个区,推导了气膜在大间隙振动、径向摆动和轴向旋转时的气膜阻尼系数。根据微陀螺的结构参数进行气膜阻尼仿真,结果表明:轴向压膜阻尼对微陀螺支承系统的动态特性影响最大,气膜间隙-气膜阻尼系数曲线呈抛物线型,气膜阻尼系数随温度呈线性变化。 展开更多
关键词 静电悬浮 微硅陀螺 滑膜阻尼 压膜阻尼
原文传递
静电悬浮微陀螺系统模型的研究 被引量:2
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作者 吴黎明 董景新 +1 位作者 韩丰田 刘云峰 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1804-1809,共6页
静电悬浮微陀螺需要一套支承系统将高速旋转的环形转子稳定地悬浮在电极环腔中心。在推导被控对象静电力模型的基础上,构建了静电悬浮系统的5轴闭环控制模型,利用该模型分析了悬浮微陀螺的加速度/角速率测量原理,设计了基于数字控制的... 静电悬浮微陀螺需要一套支承系统将高速旋转的环形转子稳定地悬浮在电极环腔中心。在推导被控对象静电力模型的基础上,构建了静电悬浮系统的5轴闭环控制模型,利用该模型分析了悬浮微陀螺的加速度/角速率测量原理,设计了基于数字控制的支承线路。依据敏感表头的结构参数确定了支承线路的电参数,结合悬浮系统性能指标,通过反复仿真来设计控制器参数,分析了悬浮系统的闭环动态特性、刚度特性和抗过载能力。对数字控制器的扫频结果表明:考虑采样频率引起的相位滞后,在剪切频率附近相位误差不超过15°。 展开更多
关键词 静电悬浮 转子式微陀螺 静电力 支承刚度
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