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薄膜型金属网栅的电磁屏蔽特性 被引量:13
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作者 冯晓国 张舸 汤洋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期686-691,共6页
为寻求准确评估薄膜型金属网栅电磁屏蔽效能的方法,探索了薄膜型金属网栅在某频段可达到的电磁屏蔽效能。首先,分析了金属网栅膜光电特性常用的计算公式,指出电特性公式中材料无限导电的假定条件与客观事实不符,故其无法准确预估薄膜型... 为寻求准确评估薄膜型金属网栅电磁屏蔽效能的方法,探索了薄膜型金属网栅在某频段可达到的电磁屏蔽效能。首先,分析了金属网栅膜光电特性常用的计算公式,指出电特性公式中材料无限导电的假定条件与客观事实不符,故其无法准确预估薄膜型金属网栅的电磁屏蔽效能。然后,根据屏蔽效能受感应电压和电阻比控制的理论,借鉴连续导电膜用方块电阻计算屏蔽效能的方法,提出了预估薄膜型金属网栅屏蔽效能的方法并给出了具体步骤。最后,采用激光直写工艺流程制备了薄膜型金属网栅,验证了理论计算结果与实验检测结果的一致性。检测结果显示:薄膜型金属网栅试片在30~1 500MHz的屏蔽效能最高为30dB;用检测方块电阻并代入连续膜经验公式计算得到的屏蔽效能为31.2dB,用金属网栅膜常用公式计算得到的屏蔽效能为75dB。数据显示用金属网栅膜常用电特性公式无法准确评估薄膜型金属网栅的电磁屏蔽效能,而本文所提方法便捷、准确、可行。 展开更多
关键词 透明导电膜 金属网栅 电磁屏蔽 方块电阻
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高通光率金属网栅屏蔽效率分析的等效折射率模型 被引量:7
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作者 陆振刚 谭久彬 +1 位作者 金鹏 刘俭 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期949-954,共6页
基于Ulrich半实验方法、LZ等效电抗模型和Kohin等效膜方法,建立了一种新型的高通光率金属网栅屏蔽效率分析的等效折射率模型。该模型精确地建立了金属网栅的等效折射率与其结构参数和边界材料折射率的关系,便于分析电磁波任意入射方... 基于Ulrich半实验方法、LZ等效电抗模型和Kohin等效膜方法,建立了一种新型的高通光率金属网栅屏蔽效率分析的等效折射率模型。该模型精确地建立了金属网栅的等效折射率与其结构参数和边界材料折射率的关系,便于分析电磁波任意入射方向时的金属网栅屏蔽效率,并可克服Chen倾斜模型在分析高通光率金属网栅屏蔽效率时的失效问题。为验证建立模型的有效性,用紫外光刻法制备了周期320μm、线宽4.5μm和周期160μm、线宽5.5μm的两种网栅,并用微波网络分析仪测试了12-18GHz波段的屏蔽效率。实验与分析表明:建立的新模型的原理计算误差〈2dB,优于Chen模型和LZ模型的8dB的原理计算误差和Ulrich模型的4dB的原理计算误差,说明新模型能更精确地分析高通光率金属网栅的屏蔽效率。 展开更多
关键词 电磁屏蔽 等效折射率模型 高通光率 金属网栅
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基于ZnS金属网栅制作工艺的改进 被引量:7
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作者 陈赟 李艳茹 张红胜 《中国光学》 EI CAS 2014年第1期131-136,共6页
为了制作基于ZnS的对雷达波高效电磁屏蔽的金属网栅,采用了一种新型的先胶后镀的光刻复制工艺。但在制作过程中,发现影响金属网栅成品率的主要因素为ZnS材料的颜色,即由于多晶ZnS的颜色和所用光刻胶的颜色相似,很难判断网栅是否显影彻底... 为了制作基于ZnS的对雷达波高效电磁屏蔽的金属网栅,采用了一种新型的先胶后镀的光刻复制工艺。但在制作过程中,发现影响金属网栅成品率的主要因素为ZnS材料的颜色,即由于多晶ZnS的颜色和所用光刻胶的颜色相似,很难判断网栅是否显影彻底,进而影响真空镀膜过程中金属网栅膜的形成。结合金属网栅的制作工艺,通过采用镀一层过渡膜的方式,即采用镀膜、涂胶、显影、腐蚀、镀膜、去胶、腐蚀的工艺,有效地解决了ZnS颜色带来的影响。实验表明,采用该工艺一次性成功制作出线宽为8μm、周期为400μm的金属网栅。该工艺使基于ZnS金属网栅的成品率在90%以上。 展开更多
关键词 金属网栅 多晶ZnS 光刻复制工艺 光刻胶
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金属丝网透明电磁屏蔽层材料制备与性能研究 被引量:5
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作者 张宇民 朱虹 +1 位作者 韩杰才 张立刚 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期8-11,共4页
采用金属丝网与PET膜复合结构作为电磁屏蔽结构,对该结构在可见光波段、近红外波段透过率以及微波段的屏蔽效果进行了研究。结果表明,采用金属丝网与PET膜复合结构可以制备可见光透明的屏蔽性能优良的电磁屏蔽层;可见光波段透过率超过5... 采用金属丝网与PET膜复合结构作为电磁屏蔽结构,对该结构在可见光波段、近红外波段透过率以及微波段的屏蔽效果进行了研究。结果表明,采用金属丝网与PET膜复合结构可以制备可见光透明的屏蔽性能优良的电磁屏蔽层;可见光波段透过率超过50%,微波衰减为25~46dB;在1000~5000MHz屏蔽效果好,可达到45dB以上。 展开更多
关键词 电磁屏蔽 金属丝网 制备 性能 透过率 衰减
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金属网栅电磁屏蔽薄膜在红外空空导弹上的应用研究 被引量:5
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作者 张运强 潘国庆 李福巍 《红外技术》 CSCD 北大核心 2010年第7期395-398,共4页
研究了金属网栅用于红外空空导弹电磁屏蔽的相关理论,分析了金属网栅结构参数对电磁屏蔽效果的影响。结合应用需求,采用激光直写法在一个蓝宝石整流罩内表面上制作了线宽为8μm,周期为450μm的金属网栅,并测试了金属网栅薄膜对电磁波的... 研究了金属网栅用于红外空空导弹电磁屏蔽的相关理论,分析了金属网栅结构参数对电磁屏蔽效果的影响。结合应用需求,采用激光直写法在一个蓝宝石整流罩内表面上制作了线宽为8μm,周期为450μm的金属网栅,并测试了金属网栅薄膜对电磁波的屏蔽效果。试验表明金属网栅对电磁波有很强的屏蔽作用,而且对红外信号的衰减极小。 展开更多
关键词 金属网栅 电磁屏蔽 空空导弹 红外透明
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Electrohydrodynamic lithography of metallic mesh for optically transparent flexible and conformal antennas 被引量:1
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作者 YE Dong XIE Han +5 位作者 TIAN Yu WEN JunMin SHI ZeYing AN Kang ZHANG YuPeng HUANG YongAn 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第1期2-12,共11页
The optically transparent antenna is becoming a very attractive proposition for various applications, such as wearable devices and vehicle radars. The fabrication of transparent flexible/conformal antennas is a long-l... The optically transparent antenna is becoming a very attractive proposition for various applications, such as wearable devices and vehicle radars. The fabrication of transparent flexible/conformal antennas is a long-lasting interest in academia and industry.However, the preparation of radio-frequency radiators with excellent conductivity and optical transmittance is still quite challenging. Herein, we introduce a facile approach to directly fabricate optically transparent flexible and conformal coplanar waveguide-fed antennas using programmable electrohydrodynamic lithography. Metallic meshes with transmittance above 90%have been successfully created based on the conformal electrohydrodynamic printing of high-viscosity photoresist masks, and the corresponding sheet resistance can be tuned down to ~2 Ω/□. Then, the geometrical structure of the proposed transparent antenna has been systematically optimized because of the basic radio frequency components, including the radiator, feeder line,ground plane, and size of metallic meshes. Optically transparent flexible and conformal antennas are finally obtained, presenting an optical transmittance of 92% and 55%, respectively. The simulated and measured results demonstrate that the transparent antennas with a good optoelectronic performance indeed exhibit a nice electromagnetic behavior. We believe that this newly developed conformal electrohydrodynamic lithography method can be utilized to fabricate a variety of other transparent electronic devices, such as transparent electromagnetic shielding meshes on aircraft canopies, in the future. 展开更多
关键词 electrohydrodynamic lithography flexible/conformal metallic mesh transparent antenna ultra-wideband
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倾斜入射条件下衬底对金属网栅屏蔽特性的影响 被引量:5
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作者 陆振刚 谭久彬 +2 位作者 刘永猛 刘俭 张慧 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期360-367,共8页
提出了双层膜系分析方法,该方法采用独立网栅等效薄膜模型,将网栅对衬底干涉的影响引入分析,克服了Kohin方法仅考虑衬底干涉的不精确性,并避免了其分析独立网栅的透波率公式在高频和大入射角时存在的不准确性。用紫外光刻在石英衬... 提出了双层膜系分析方法,该方法采用独立网栅等效薄膜模型,将网栅对衬底干涉的影响引入分析,克服了Kohin方法仅考虑衬底干涉的不精确性,并避免了其分析独立网栅的透波率公式在高频和大入射角时存在的不准确性。用紫外光刻在石英衬底上制备了周期为320μm,线宽为4.5μm的网栅,测得S波30°入射时12~18GHz的屏蔽效率大于16dB,略低于理论值但变化趋势一致,证实了双层膜法的有效性。进而分析衬底影响表明:入射为S波及小于衬底布儒斯特角θB的P波时屏蔽效率降低,而入射为大于θB的P波时屏蔽效率反常增加;屏蔽效率变化最大值随入射角变化;优化衬底厚度可在不影响网栅透光能力的同时获得最佳屏蔽效果。 展开更多
关键词 电磁屏蔽 透明导电膜 衬底 倾斜入射 金属网栅
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具有雷达波隐身功能的红外窗口的研制 被引量:5
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作者 钱纁 滕祥红 +1 位作者 杜洪兵 马天翼 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期1162-1165,共4页
介绍了一种既高效透过红外光,同时又能有效屏蔽电磁干扰的金属网栅薄膜的基本原理和制备工艺。分析了网栅参数对其光学及电磁性能的影响,推导了金属网栅结构参数对雷达波屏蔽效率和透红外关系式。理论研究表明,金属网栅的周期选择在... 介绍了一种既高效透过红外光,同时又能有效屏蔽电磁干扰的金属网栅薄膜的基本原理和制备工艺。分析了网栅参数对其光学及电磁性能的影响,推导了金属网栅结构参数对雷达波屏蔽效率和透红外关系式。理论研究表明,金属网栅的周期选择在200~400μm之间,线宽不大于10μm,是较为理想的网栅参数。通过使用光刻和镀膜技术,在红外基片上制作线条宽度小于10μm,周期约350μm的金属网栅。 展开更多
关键词 雷达波隐身 红外窗口 金属网栅 导电薄膜
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光学透明频率选择表面的衍射特性 被引量:5
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作者 于淼 高劲松(指导) 徐念喜 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期309-314,共6页
基于金属网栅结构设计的光学透明频率选择表面(FSS)加载于复合制导头罩的光学窗口时,其对红外入射光的衍射作用会干扰系统的成像效果。为了能够在光学透明FSS的设计过程中减少衍射带来的干扰,基于夫琅禾费衍射理论,研究了光学透明FSS结... 基于金属网栅结构设计的光学透明频率选择表面(FSS)加载于复合制导头罩的光学窗口时,其对红外入射光的衍射作用会干扰系统的成像效果。为了能够在光学透明FSS的设计过程中减少衍射带来的干扰,基于夫琅禾费衍射理论,研究了光学透明FSS结构参数变化对其衍射特性的影响。研究发现:当金属网栅周期增大或线宽减小时,衍射光强增加但分布无变化,其中周期对于光强的影响较为显著;随着十字FSS单元缝宽和缝长的增大,衍射光强增加而分布保持不变;此外,当入射光波长增大时,光学透明FSS的总透射率增加,与实验测试结果相符。上述规律将在光学透明FSS的实际设计过程中起到十分重要的指导作用。 展开更多
关键词 薄膜 频率选择表面 金属网栅 衍射特性 复合制导
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K9基底细薄铜网上的化学镀镍 被引量:4
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作者 刘小涵 冯晓国 +1 位作者 赵晶丽 高劲松 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2185-2191,共7页
为进一步提高高通光率网栅的电磁屏蔽性能,满足其环境适应性要求,针对线宽约9μm、膜厚约0.3μm、周期为400μm×400μm的细薄铜网进行了镀镍工艺实验。首先,经涂胶、直写、显影、镀铜、去胶等工序,在K9基底上制备出细薄铜网栅试件... 为进一步提高高通光率网栅的电磁屏蔽性能,满足其环境适应性要求,针对线宽约9μm、膜厚约0.3μm、周期为400μm×400μm的细薄铜网进行了镀镍工艺实验。首先,经涂胶、直写、显影、镀铜、去胶等工序,在K9基底上制备出细薄铜网栅试件。然后,对试件超声波除油,用10%的HCl溶液浸泡试件10~15 s进行镀前活化处理。接着,将试件放入按成分要求配制好的化学镀镍溶液中,在恒温85℃条件下化学镀镍40~60 min。最后,从化学镀镍溶液中取出试件,放入烘箱烘干,缓慢冷却至室温。实验结果显示:得到的试件镀层均匀、结合力强;用同轴法测试网栅化学镀镍后的电磁屏蔽效能达到32 dBm,比未镀镍前提高了11 dBm,且试件镀镍工艺导致的在400~800 nm波段的平均透过率下降小于1%。这些结果表明,在细薄铜网上能够镀制较好的镍层,可以在基本不影响光学透过率的前提下显著提高其电磁屏蔽效能和环境适应性。 展开更多
关键词 电磁屏蔽 屏蔽效能 金属网栅 化学镀镍
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颗粒打压植骨联合金属钛网应用于中度髋臼缺损髋翻修的早期研究 被引量:4
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作者 赵吉辉 杨卿 郭风劲 《骨科》 CAS 2018年第1期7-13,共7页
目的分析颗粒松质骨打压植骨联合金属钛网应用于伴有中度髋臼骨缺损的全髋关节翻修术的早期临床效果,并比较该方法用于不同类型骨缺损的效果差异。方法回顾性分析我院2008年7月至2015年3月采用金属钛网联合颗粒骨打压植骨技术行髋臼骨... 目的分析颗粒松质骨打压植骨联合金属钛网应用于伴有中度髋臼骨缺损的全髋关节翻修术的早期临床效果,并比较该方法用于不同类型骨缺损的效果差异。方法回顾性分析我院2008年7月至2015年3月采用金属钛网联合颗粒骨打压植骨技术行髋臼骨缺损翻修重建的19例(19髋)病人的临床资料,其中男8例,女11例。骨缺损采用Paprosky分型:ⅡB型7例,ⅡC型11例,ⅢA型1例。通过术后定期复查的髋部X线片评估术后的移植骨整合情况、假体稳定性及髋关节旋转中心的位置;分析比较病人手术前后各时间点的改良髋关节Harris评分(hip Harris score,HHS)及SF-36生活质量评分;采用Kaplan-Meier法对假体进行生存分析;比较ⅡB和ⅡC型骨缺损病人在上述指标方面的差异。结果19例病人随访10~76个月,平均随访时间为4.7年。19例病人的移植骨状况良好,和宿主骨不同程度整合;1例病人因假体周围感染致假体松动行再次翻修;所有病人髋臼旋转中心均得到了良好重建;HHS评分由术前的(47.51±5.91)分提高至末次随访时的(90.30±5.53)分,差异有统计学意义(t=17.005,P=0.010);SF-36生活质量评分术后也得到了显著提高;术后4.7年以再次翻修为研究终点的假体生存率为94.7%。ⅡB和ⅡC型骨缺损病人在上述指标的差异均无统计学意义(P均>0.05)。结论金属钛网联合颗粒松质骨打压植骨用于伴有骨缺损的髋关节翻修,早期临床效果良好,且对于PaproskyⅡB和ⅡC型髋臼缺损的疗效相当。 展开更多
关键词 全髋关节翻修术 金属钛网 髋臼 骨缺损 打压植骨
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高透光率金属网栅微波/红外二色波组合器 被引量:4
12
作者 刘永猛 谭久彬 +1 位作者 刘俭 张大庆 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期786-791,共6页
为了实现微波/红外半实物仿真技术中的信号耦合,提出了一种基于高透光率金属网栅的宽频段二色波组合器结构,并建立了金属网栅二色波组合器的微波反射特性和红外透射特性分析模型。为了验证基于高透光率金属网栅的二色波组合器的可行性... 为了实现微波/红外半实物仿真技术中的信号耦合,提出了一种基于高透光率金属网栅的宽频段二色波组合器结构,并建立了金属网栅二色波组合器的微波反射特性和红外透射特性分析模型。为了验证基于高透光率金属网栅的二色波组合器的可行性和分析模型的有效性,利用激光直写工艺在锗基底上制作了金属网栅二色波组合器样片;为了减小倾斜入射时不同极化情况下微波反射率的差异,金属网栅垂直极化和平行极化方向的周期分别设为500μm和400μm。在微波暗室中测量了金属网栅二色波组合器样片在12~18GHz频段的微波反射率,并利用傅里叶红外光谱仪测量了样片在10~12μm波段的红外透射率。计算和测量结果显示,高透光率金属网栅二色波组合器的微波反射率优于-1.5dB,红外透射率约为83%,表明高透光率金属网栅可用作一种新型的宽频段微波/红外二色波组合器。 展开更多
关键词 二色波组合器 微波 红外 金属网栅
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柔版印刷金属网栅光电性能研究 被引量:3
13
作者 李修 王瑜 +3 位作者 徐艳芳 冉军 莫黎昕 李路海 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第12期3295-3299,共5页
为满足日渐增加的电磁屏蔽要求,设计了一种透明基材上柔版印刷电磁屏蔽用金属网栅,研究了影响金属网栅透光率与电磁屏蔽特性的主要因素。首先从理论分析入手,计算并分析金属网栅结构参数(线宽、周期、占空比)等对透明导电金属网栅... 为满足日渐增加的电磁屏蔽要求,设计了一种透明基材上柔版印刷电磁屏蔽用金属网栅,研究了影响金属网栅透光率与电磁屏蔽特性的主要因素。首先从理论分析入手,计算并分析金属网栅结构参数(线宽、周期、占空比)等对透明导电金属网栅透光率及电磁屏蔽效能的影响;接下来利用柔版印刷方式制备周期为300、400μm线宽为20、30、40μm的金属网栅,测试了在7、10、13 GHz3个频点处电磁屏蔽效能以及300~1000 nm波段的紫外-可见透过率。测试与分析结果表明:金属网栅在紫外-可见光波段透过率在70%~80%之间,且随周期/线宽增大而分别增大/减小,电磁屏蔽效能最高达到了15 dB以上。结果显示,网栅的光电特性是矛盾的,线宽与周期越小电磁屏蔽效果越好。 展开更多
关键词 薄膜 金属网栅 电磁屏蔽 透明导电膜
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铝球弹丸高速正撞击金属网防护屏实验研究 被引量:3
14
作者 管公顺 张羽 蒲东东 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2014年第16期120-125,共6页
利用二级轻气炮发射2017-T4铝球弹丸高速撞击金属网,通过金属网后面观察板弹坑分布研究金属网对高速撞击铝球的破碎作用及次生碎片粒子群分布特性,分析观察板弹坑分布与铝球直径、金属网面密度关系。获得铝球弹丸高速正撞击具有不同编... 利用二级轻气炮发射2017-T4铝球弹丸高速撞击金属网,通过金属网后面观察板弹坑分布研究金属网对高速撞击铝球的破碎作用及次生碎片粒子群分布特性,分析观察板弹坑分布与铝球直径、金属网面密度关系。获得铝球弹丸高速正撞击具有不同编织参数金属网时观察板弹坑分布模式。结果表明,铝球弹丸高速正撞击金属网后在观察板上产生多条呈放射状分布近似对称的触须状弹坑簇;触须状弹坑簇数量、长度随弹丸直径、撞击位置、金属网面密度不同而不同;相同撞击条件下铝球弹丸高速正撞击网格孔中心时,观察板触须状弹坑簇数量相对较多。 展开更多
关键词 高速撞击 金属网 破碎 弹坑分布
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Comprehensive evaluation factor of optoelectronic properties for transparent conductive metallic mesh films 被引量:3
15
作者 Yilei ZHANG Jinxuan CAO +2 位作者 Zhengang LU Heyan WANG Jiubin TAN 《Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering》 SCIE EI CSCD 2021年第11期1532-1540,共9页
Finding the optimal optoelectronic properties(zero-order optical transmittance,shielding effectiveness,and stray light uniformity)of metallic mesh is significant for its application in electromagnetic interference shi... Finding the optimal optoelectronic properties(zero-order optical transmittance,shielding effectiveness,and stray light uniformity)of metallic mesh is significant for its application in electromagnetic interference shielding areas.However,there are few relevant studies at present.Based on optoelectronic properties,we propose a comprehensive evaluation factor Q,which is simple in form and can be used to evaluate the mesh with different parameters in a simple and efficient way.The effectivity of Q is verified by comparing the trend of Q values with the evaluation results of the technique for order preference by similarity to ideal solution(TOPSIS).The evaluation factor Q can also be extended to evaluate the optoelectronic properties of different kinds of metallic meshes,which makes it extremely favorable for metallic mesh design and application. 展开更多
关键词 metallic mesh Technique for order preference by similarity to ideal solution(TOPSIS) Entropy weight(EW) Comprehensive evaluation Transparent conductive films
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同心扫描法制作凹球面等距网栅的误差分析 被引量:2
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作者 冯晓国 卢俊 +1 位作者 徐峰林 孙连春 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期251-255,共5页
纬线与纬线相交可形成球面等距网栅,而采用“同心扫描”的运动方式可在凹球面上生成纬线。“同心扫描”要求直写物镜光轴、直写物镜水平转轴、工件回转轴和工件分度轴四轴交于工件凹面球心。采用两两相交误差几何分析的方法,得到了同心... 纬线与纬线相交可形成球面等距网栅,而采用“同心扫描”的运动方式可在凹球面上生成纬线。“同心扫描”要求直写物镜光轴、直写物镜水平转轴、工件回转轴和工件分度轴四轴交于工件凹面球心。采用两两相交误差几何分析的方法,得到了同心误差与离焦量和栅距误差的变化关系:随着同心误差增加,系统离焦量和栅距误差也增加,且二者的变化趋势基本一致。因为网栅线宽一般要求达到微米量级,与之匹配的栅距则往往为几百微米,所以栅距误差与栅距相比可以忽略,系统离焦量对网栅线宽的影响却必须认真考虑。采用几何光学基本公式对物镜系统的进一步分析表明,为了制作细且均匀的网栅线条,必须采用小光斑,而小光斑对应的焦深也小,从而要求离焦量小,对同心误差要求严格;反之,则可放宽对同心误差的要求。 展开更多
关键词 滤波器 电磁屏蔽 光刻 金属网栅 球面
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裂纹模板法制备的金属网栅透明导电薄膜光电性能 被引量:2
17
作者 肖宗湖 王新莲 +3 位作者 韩春 张帅旗 付爽 余玉玲 《新余学院学报》 2018年第1期1-5,共5页
提出了一种制作金属网栅透明导电薄膜的方法。首先用溶液法制作出掩膜图案,再结合金属沉积法制作出透明导电金属网柵,主要研究了基于随机裂缝模板的透明金属导电薄膜的制备,以及成膜机理和性能的分析。实验结果表明:采用本方法制备的金... 提出了一种制作金属网栅透明导电薄膜的方法。首先用溶液法制作出掩膜图案,再结合金属沉积法制作出透明导电金属网柵,主要研究了基于随机裂缝模板的透明金属导电薄膜的制备,以及成膜机理和性能的分析。实验结果表明:采用本方法制备的金属网栅透明导电薄膜在紫外可见光波段透过率90%以上,方阻为20Ω/。相比于传统制作方法,这种方法使得制作成本更低,制作工艺更简单,光透过率高。 展开更多
关键词 透明导电膜 金属网栅 磁控溅射 透光率 导电性
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金属网栅法布里-珀罗干涉仪测量太赫兹波波长 被引量:2
18
作者 蒋呈阅 蔡瑞 +2 位作者 刘劲松 王可嘉 汪盛烈 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期152-157,共6页
设计并制作了用于测量波长大于150μm(频率低于2THz)的太赫兹波波长的金属网栅法布里-珀罗干涉仪(FPI)。采用光电子微纳制造工艺制作了五组周期不大于40μm,线宽不大于10μm的有衬底方形金属网栅,利用太赫兹时域光谱技术测量了金属网栅... 设计并制作了用于测量波长大于150μm(频率低于2THz)的太赫兹波波长的金属网栅法布里-珀罗干涉仪(FPI)。采用光电子微纳制造工艺制作了五组周期不大于40μm,线宽不大于10μm的有衬底方形金属网栅,利用太赫兹时域光谱技术测量了金属网栅的太赫兹波段光电特性,得到了各组金属网栅在感兴趣频段的反射率和金属网栅FPI的反射精细度,结果表明所制作的金属网栅FPI均可用于测量波长大于150μm的太赫兹波。实验搭建金属网栅FPI扫描测量了212μm的太赫兹波波长,与理论结果吻合。研究了金属网栅FPI对太赫兹波偏振方向的依赖性以及对FPI腔镜平行度的要求,结果表明,方形金属网栅FPI对正入射太赫兹波偏振方向不敏感,而对FPI腔镜平行度很敏感。 展开更多
关键词 光学器件 太赫兹波 金属网栅 法布里-珀罗干涉仪 时域光谱术
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降低感性网栅膜表面电阻的方法 被引量:2
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作者 刘小涵 徐念喜 +3 位作者 赵晶丽 冯晓国 申振锋 张宏胜 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第4期966-969,共4页
在线宽、周期不变(相同透光率)的前提下,增加网栅厚度才能降低网栅的表面电阻,从而进一步提高球面网栅的电磁屏蔽性能。首先推导了网栅厚度、表面电阻和电磁屏蔽效能之间的数学关系,接着开展了膜层增厚的化学镀镍工艺实验。实验结果表明... 在线宽、周期不变(相同透光率)的前提下,增加网栅厚度才能降低网栅的表面电阻,从而进一步提高球面网栅的电磁屏蔽性能。首先推导了网栅厚度、表面电阻和电磁屏蔽效能之间的数学关系,接着开展了膜层增厚的化学镀镍工艺实验。实验结果表明:球面铜网栅上可以得到厚度均匀、结合力牢固的镍磷合金镀层,面电阻由50Ω降至15Ω。经天线法测试,在200 MHz~18 GHz波段,镀镍球面金属网栅膜屏蔽效能平均达到46 dB,比未镀镍前平均提高了8 dB,而球面网栅试件镀镍前后,在400~900 nm波段透过率均为88%。镀镍前后透过率基本相同时,镀后表面电阻迅速降低,电磁屏蔽效能得到了显著提高。 展开更多
关键词 表面电阻 电磁屏蔽 屏蔽效能 表面电阻 金属网栅 化学镀镍
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基于混合周期栅网结构的频率选择表面设计研究 被引量:2
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作者 张建 高劲松 +1 位作者 徐念喜 于淼 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期326-332,共7页
在栅网结构上设计的频率选择表面能够同时实现红外高透过率和毫米波带通的物理特性.为了提高其光学透过率,降低表面电阻,抑制高次衍射能量对光学系成像质量的影响,本文通过分析基于栅网结构的频率选择表面衍射光强和表面电流,提出一种... 在栅网结构上设计的频率选择表面能够同时实现红外高透过率和毫米波带通的物理特性.为了提高其光学透过率,降低表面电阻,抑制高次衍射能量对光学系成像质量的影响,本文通过分析基于栅网结构的频率选择表面衍射光强和表面电流,提出一种新型基于混合周期栅网结构的频率选择表面.计算及实验结果均表明:在实现稳定的毫米波带通滤波的同时,基于混合周期栅网结构的频率选择表面红外透过率提高了5%以上,表面电阻平均降低了4Ω,有效地抑制了因高次衍射能量集中分布而对红外光学系统成像质量的影响. 展开更多
关键词 光电窗 双模探测 频率选择表面 栅网结构
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