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光片荧光显微镜长时间的稳定成像 被引量:7
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作者 张球 梁东 +1 位作者 白丽华 刘军 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期271-276,共6页
利用4f(f为焦距)系统和电子耦合器件相机跟踪样品的位置,通过纳米平移台对机械漂移进行了补偿,使样品始终处于光片的束腰位置,从而获得了最优图像。所提方法可以对几纳米的机械偏移进行补偿。使用自主搭建的光片荧光显微镜对直径为几微... 利用4f(f为焦距)系统和电子耦合器件相机跟踪样品的位置,通过纳米平移台对机械漂移进行了补偿,使样品始终处于光片的束腰位置,从而获得了最优图像。所提方法可以对几纳米的机械偏移进行补偿。使用自主搭建的光片荧光显微镜对直径为几微米的荧光微球进行了长时间成像,验证了所提方法的可行性。 展开更多
关键词 成像系统 光片荧光显微镜 机械偏移 4f系统 补偿 最优图像
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华龙一号应急柴油发电机组机械调速器漂移故障分析及解决方案
2
作者 欧念飞 任鹏辉 +2 位作者 阮阳 孔凡何 韩大春 《电气应用》 2024年第8期18-22,共5页
调速器作为柴油发电机组转速控制的核心部件,对核电厂应急柴油发电机组的安全运行以及全厂失电后恢复应急供电都起着至关重要的作用。结合电子调速器和机械调速器的特点,对华龙一号某核电厂应急柴油发电机组出现的机械调速器零点漂移问... 调速器作为柴油发电机组转速控制的核心部件,对核电厂应急柴油发电机组的安全运行以及全厂失电后恢复应急供电都起着至关重要的作用。结合电子调速器和机械调速器的特点,对华龙一号某核电厂应急柴油发电机组出现的机械调速器零点漂移问题,从调速系统配置、切换逻辑、定值设置、漂移事件过程及后果进行全方面的分析。按照不影响应急柴油发电机组并网以及电子调速器执行安全功能实现的原则,从优化机调定值设置、改善设备运行环境以及增加Droop模式等角度提供解决方案。 展开更多
关键词 应急柴油发电机组 电子调速器 机械调速器 零点漂移
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高强度与普通强度钢材钢框架设计对比分析 被引量:5
3
作者 施刚 陈宏宽 +2 位作者 戴国欣 王元清 石永久 《沈阳建筑大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2011年第6期1058-1063,共6页
目的研究高强度钢材钢框架的受力性能和设计方法,以及与普通强度钢材钢框架相比的优越性.方法以一个实际工程实例,利用PKPM软件分别对三种不同强度钢材(Q345、Q420、Q460)的钢框架进行设计,给出了设计结果,并对三种钢材框架结构的经济... 目的研究高强度钢材钢框架的受力性能和设计方法,以及与普通强度钢材钢框架相比的优越性.方法以一个实际工程实例,利用PKPM软件分别对三种不同强度钢材(Q345、Q420、Q460)的钢框架进行设计,给出了设计结果,并对三种钢材框架结构的经济性和受力性能进行了对比.结果随着钢材强度的提高,钢框架结构的自振周期增大,侧移和层间位移转角增大,可节约20%左右的用钢量和造价.结论随着钢材强度的提高,可以提高钢框架的经济性,减小结构的地震作用,但同时高强度钢材钢框架在地震作用下,其主要的控制因素是层间位移. 展开更多
关键词 高强度钢材 钢框架 受力性能 层间位移 设计
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机械陀螺漂移量检测系统设计
4
作者 马晨阳 白素平 +2 位作者 闫钰锋 韩佳昊 康世勋 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2023年第4期91-98,共8页
机械陀螺检测中漂移量是最主要的被测参数,其直接反映陀螺综合性能的优劣。为了实现对陀螺漂移量自动化、高精度的测量,建立陀螺漂移量检测系统。首先,运用光学知识分析光束的路径并建立多次反射式增程光路数学模型。其次,建立图像处理... 机械陀螺检测中漂移量是最主要的被测参数,其直接反映陀螺综合性能的优劣。为了实现对陀螺漂移量自动化、高精度的测量,建立陀螺漂移量检测系统。首先,运用光学知识分析光束的路径并建立多次反射式增程光路数学模型。其次,建立图像处理检测系统,对陀螺反射光斑进行识别处理,其主要工作为光斑跟踪和光斑中心定位。最后通过实验并根据实验结果调整检测系统。实验结果表明,在最佳检测条件下,机械陀螺漂移量的检测范围为±2°,其实验精度最高可达11″,符合陀螺漂移量检测稳定可靠、高精度的要求。 展开更多
关键词 机械陀螺 陀螺漂移量 检测系统 光斑检测
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New digital drive phase control for improving bias stability of silicon MEMS gyroscope 被引量:3
5
作者 夏国明 杨波 王寿荣 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 2011年第1期47-51,共5页
In order to improve the bias stability of the micro-electro mechanical system(MEMS) gyroscope and reduce the impact on the bias from environmental temperature,a digital signal processing method is described for impr... In order to improve the bias stability of the micro-electro mechanical system(MEMS) gyroscope and reduce the impact on the bias from environmental temperature,a digital signal processing method is described for improving the accuracy of the drive phase in the gyroscope drive mode.Through the principle of bias signal generation,it can be concluded that the deviation of the drive phase is the main factor affecting the bias stability.To fulfill the purpose of precise drive phase control,a digital signal processing circuit based on the field-programmable gate array(FPGA) with the phase-lock closed-loop control method is described and a demodulation method for phase error suppression is given.Compared with the analog circuit,the bias drift is largely reduced in the new digital circuit and the bias stability is improved from 60 to 19 °/h.The new digital control method can greatly increase the drive phase accuracy,and thus improve the bias stability. 展开更多
关键词 silicon micro-electro mechanical system(MEMS) gyroscope bias drift drive phase control field-programmable gate array(FPGA)
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材料力学性能纳米压入测试仪器发展综述 被引量:2
6
作者 宋仲康 马德军 陈伟 《装甲兵工程学院学报》 2010年第4期45-49,共5页
综述了材料力学性能纳米压入测试仪器的发展现状。阐述了纳米压入测试技术的发展历程;从驱动、载荷测量和位移测量3方面对目前材料力学性能纳米压入测试仪器的基本结构进行了比较分析;介绍了材料力学性能纳米压入测试仪器集成技术,包括... 综述了材料力学性能纳米压入测试仪器的发展现状。阐述了纳米压入测试技术的发展历程;从驱动、载荷测量和位移测量3方面对目前材料力学性能纳米压入测试仪器的基本结构进行了比较分析;介绍了材料力学性能纳米压入测试仪器集成技术,包括影响压入深度测量精度的集成技术、观测技术、大载荷模块和高温试验模块等;最后,对未来材料力学性能纳米压力测试仪器的发展趋势作了展望。 展开更多
关键词 纳米压入 力学性能 柔度 热漂移 温度控制
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大型试件的精确定位方法与调控系统的研究 被引量:1
7
作者 谭久彬 李东升 +1 位作者 强锡富 王伟杰 《计量学报》 CSCD 1995年第2期121-127,共7页
本文深入分析了在大型精密仪器上对大型试件精确定位时,调控系统产生机械"爬行"和机械"漂移"的机理;提出了实现精确定位的状态一致原则和功能分离原则。介绍了根据上述原则研制的自动精确定位系统,该系统在调整500kg大型试... 本文深入分析了在大型精密仪器上对大型试件精确定位时,调控系统产生机械"爬行"和机械"漂移"的机理;提出了实现精确定位的状态一致原则和功能分离原则。介绍了根据上述原则研制的自动精确定位系统,该系统在调整500kg大型试件时的定向精度可达2×10-7rad。 展开更多
关键词 定位 大型试件 测量 调控系统 机械运动
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Dynamics of Spiral Waves Induced by Periodic Mechanical Deformation with Phase Difference
8
作者 Peng-Fei Li Li-Yan Qiao +2 位作者 Ye-Hua Zhao Jiang-Xing Chen Jun Ma 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2018年第12期749-752,共4页
The dynamics of spiral waves under the influences of periodic mechanical deformation are studied. Here,the mechanical deformation propagating along the medium with phase differences are considered. It is found that we... The dynamics of spiral waves under the influences of periodic mechanical deformation are studied. Here,the mechanical deformation propagating along the medium with phase differences are considered. It is found that weak mechanical deformation may lead to resonant drift of spiral waves. The drift direction and velocity can be changed by the wave length of the deformation. Strong mechanical deformation may result in breakup of spiral waves. The characteristics of breakup are discussed. The critical amplitudes are determined by two factors, i.e. the wave length and frequency of the periodic mechanical deformation. When the wave length of mechanical deformation is comparable to the spiral wave, simulation shows that the critical amplitude is substantially increased. As the frequency of the mechanical deformation is around 1.5 times of the spiral wave, the critical amplitudes are minimal. 展开更多
关键词 drift BREAKUP of SPIRAL WAVES PERIODIC mechanical deformation phase DIFFERENCE
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大冲击测量中高频能量的影响分析 被引量:1
9
作者 何勤 张也弛 +1 位作者 张永强 陈玉叶 《遥测遥控》 2020年第4期62-67,共6页
大冲击测量时,高g值激励中存在远高于测量频率之上的分量,会造成加速度计数据零漂、非线性甚至损坏;系统分析了高频能量对加速度计的影响以及产生影响的机理,试验验证了机械滤波器可有效滤除高频能量,改善压电加速度计零漂问题,并根据... 大冲击测量时,高g值激励中存在远高于测量频率之上的分量,会造成加速度计数据零漂、非线性甚至损坏;系统分析了高频能量对加速度计的影响以及产生影响的机理,试验验证了机械滤波器可有效滤除高频能量,改善压电加速度计零漂问题,并根据分析和试验结果提出相应的解决措施。 展开更多
关键词 大冲击测量 高频能量 机械滤波器 零漂
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超声电机驱动的微夹持器的机械漂移机理研究
10
作者 耿冉冉 黄家才 +1 位作者 杨雪 李佩娟 《南京工程学院学报(自然科学版)》 2021年第1期18-23,共6页
针对直线超声电机驱动的微夹持器操作末端的机械漂移问题,从直线超声电机以及微夹持器整体结构出发,研究机械漂移的产生机理以及控制方法.首先通过建立电机的力学模型分析直线超声电机产生机械漂移的机理,重点讨论了电机定子左右两边弹... 针对直线超声电机驱动的微夹持器操作末端的机械漂移问题,从直线超声电机以及微夹持器整体结构出发,研究机械漂移的产生机理以及控制方法.首先通过建立电机的力学模型分析直线超声电机产生机械漂移的机理,重点讨论了电机定子左右两边弹性夹持结构在电机停止运行后发生的刚度衰减率不一致对机械漂移的影响;然后根据模型研制直梁型夹持直线超声电机,并进行试验验证,结果表明适当增大夹持元件的切向刚度对电机的机械漂移有较好的抑制效果;最后,通过试验研究了微夹持器机构的机械漂移规律,分析了微夹持器传动部件对操作末端产生机械漂移的影响,提出通过优化操作方式以及降低装配误差的方式减小机械漂移的方法,进而提高微夹持器的稳定性. 展开更多
关键词 微夹持器 直线超声电机 机械漂移 力学模型
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MEMS陀螺随机误差的建模与分析 被引量:27
11
作者 王新龙 李娜 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期170-174,共5页
为了更全面地了解微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical Systems)陀螺仪的随机漂移误差随时间变化的特性,利用动态Allan方差分析法对MEMS陀螺仪输出信号特性进行了全面分析.首先介绍了Allan方差和动态Allan方差分析法原理,然后分... 为了更全面地了解微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical Systems)陀螺仪的随机漂移误差随时间变化的特性,利用动态Allan方差分析法对MEMS陀螺仪输出信号特性进行了全面分析.首先介绍了Allan方差和动态Allan方差分析法原理,然后分别利用Allan方差分析法和动态Allan方差分析法对MEMS陀螺仪的实测数据进行了特性研究与性能分析.研究结果表明:速率斜坡、量化噪声和速率随机游走是MEMS陀螺的主要随机噪声,并且MEMS陀螺的随机漂移具有随时间变化的不稳定性.动态Allan方差不仅可以分离和辨识出MEMS陀螺的主要随机误差源,而且可以跟踪和描述信号随时间变化的稳定性,因此动态Allan方差较经典Allan方差分析法能够更全面地表征MEMS陀螺仪的性能. 展开更多
关键词 MEMS陀螺 漂移误差 ALLAN方差 动态Allan方差
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微机械陀螺测试与标定技术研究 被引量:10
12
作者 杨金显 袁赣南 徐良臣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2264-2267,共4页
参照相关国军标,按照陀螺的主要精度指标、测试方法、标准和IEEE陀螺的测试规范,完成了由美国BEI公司研发的GyroChipII微机械陀螺的标准化测试.通过在微机械陀螺标定试验中采用均匀测试方法所得到的标度因数等参数,与传统速率试验和漂... 参照相关国军标,按照陀螺的主要精度指标、测试方法、标准和IEEE陀螺的测试规范,完成了由美国BEI公司研发的GyroChipII微机械陀螺的标准化测试.通过在微机械陀螺标定试验中采用均匀测试方法所得到的标度因数等参数,与传统速率试验和漂移测试所得数据相比基本一致,却极大地减少了工作量,降低了测试成本;然后,用统计学中的t检验和F检验的方法分析了标度因数的显著性及方差,进而分析了该微机械陀螺的主要特性,验证了采用均匀设计进行测试的正确性同时为进一步的建模奠定了基础. 展开更多
关键词 微机械陀螺 速率测试 漂移测试 标定 均匀测试
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垄作喷药浅松除草机设计 被引量:9
13
作者 胡亚鲜 王晓燕 +1 位作者 李洪文 何进 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期61-66,共6页
针对甘肃河西走廊地区固定垄保护性耕作模式下,杂草种类繁多,多年生杂草根系粗大,春季较易复苏,不易喷杀,一年生杂草多为田旋藤蔓缠绕型,机械铲除不彻底等问题,设计了一台垄作喷药浅松除草机。该机采用化学喷药和机械浅松组合除草原理,... 针对甘肃河西走廊地区固定垄保护性耕作模式下,杂草种类繁多,多年生杂草根系粗大,春季较易复苏,不易喷杀,一年生杂草多为田旋藤蔓缠绕型,机械铲除不彻底等问题,设计了一台垄作喷药浅松除草机。该机采用化学喷药和机械浅松组合除草原理,由三段式可折叠机架、圆弧形防飘罩盖、化学喷药系统和机械浅松系统等组成。玉米苗期田间除草试验表明,机械浅松机构主要铲除玉米行间杂草,单独作业时杂草清除率为89.2%;化学喷药系统主要覆盖性喷杀作业区一年生杂草,单独作业时杂草清除率为94.6%;两种方式联合作业模式下杂草清除率为97.3%,说明机械浅松与化学喷药相结合的方式杂草综合防治效果最好。 展开更多
关键词 除草机 垄作 杂草防治 化学喷药 机械浅松 防飘罩盖
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超大断面公路隧道工法转换施工力学特征研究 被引量:7
14
作者 杨迪 钱坤 +2 位作者 童建军 桂登斌 王明年 《现代隧道技术》 CSCD 北大核心 2021年第S01期216-223,共8页
超大断面公路隧道开挖过程中围岩级别会不断变化,采用的施工方法和支护参数会有不同。其工法转换过程中围岩-支护体系复杂,是超大断面公路隧道施工的关键技术问题。基于此,文章以汕尾陆丰至深圳龙岗高速公路段改扩建项目城仔山隧道为工... 超大断面公路隧道开挖过程中围岩级别会不断变化,采用的施工方法和支护参数会有不同。其工法转换过程中围岩-支护体系复杂,是超大断面公路隧道施工的关键技术问题。基于此,文章以汕尾陆丰至深圳龙岗高速公路段改扩建项目城仔山隧道为工程背景,采用FLAC3D软件模拟分析由双侧壁导坑法施工转换为长台阶法施工过程中围岩竖向位移、收敛变形及衬砌受力的变化情况。结果表明:(1)由双侧壁导坑法转换为长台阶法的过程中,隧道拱顶沉降、收敛变形及衬砌受力满足规范要求,工法转换方案是安全可行的;(2)随着开挖的进行,隧道拱顶沉降、水平位移均缓慢减小至0.2291 cm、0.4756 mm,随后拱顶沉降值、水平位移值突然增大,开挖到工法转换断面时拱顶沉降、水平位移几乎达到峰值0.3386 cm、0.5750 mm,随后均急剧减小,直到工法转换完成;(3)工法转换过程中较大压应力出现在中隔墙两侧,最大值为20.60 MPa;转换完成后拆除中隔墙,上部围岩将形变压力传递到隧道两侧衬砌结构上,边墙底部内侧出现较大压应力,最大值为16.02 MPa。 展开更多
关键词 超大断面 公路隧道 工法转换 力学特征 双侧壁导坑法 长台阶法
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果树喷雾机防风罩对喷雾射程的影响 被引量:6
15
作者 岳学军 洪添胜 +2 位作者 李震 王万章 陆永超 《农业工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期94-98,共5页
在对果树施药中,为减少风力因素导致的雾滴漂移,经济而有效的方法是采用防风罩。该文对防风罩进行研究与设计,制作了6种防风罩。针对防护罩防风效果,在密闭实验室条件下进行喷雾试验,选用日本池内公司生产的两种喷头;喷头移动速度为:0.5... 在对果树施药中,为减少风力因素导致的雾滴漂移,经济而有效的方法是采用防风罩。该文对防风罩进行研究与设计,制作了6种防风罩。针对防护罩防风效果,在密闭实验室条件下进行喷雾试验,选用日本池内公司生产的两种喷头;喷头移动速度为:0.51、1.21、1.91、2.60、3.30、4.00 km/h;试验的内容包括喷雾射程和雾滴的沉积均匀度。试验结果表明:两种喷头在不同速度下采用防风罩#4时的喷雾射程比采用其他防风罩和无防风罩时分别平均提高了1.3%-13.2%和9.1%-17.3%。 展开更多
关键词 精确喷雾 防风罩 雾滴飘移 雾滴平均射程 雾滴沉积均匀度
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热-力-电耦合下天线罩电性能仿真及分析
16
作者 吉建民 王伟 +2 位作者 余慧龙 刘涓 陈博 《空军工程大学学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期2-11,共10页
在实际飞行工况下,热力载荷会改变高速飞行器天线罩原有的电磁特性,从而影响制导性能。提出了一种基于六面体网格划分的热-力-电耦合模型及仿真方法,可准确表征高速飞行工况下天线罩介电温漂和结构变形对电性能的影响。基于天线罩热-力... 在实际飞行工况下,热力载荷会改变高速飞行器天线罩原有的电磁特性,从而影响制导性能。提出了一种基于六面体网格划分的热-力-电耦合模型及仿真方法,可准确表征高速飞行工况下天线罩介电温漂和结构变形对电性能的影响。基于天线罩热-力-电共享网格模型,首先通过瞬态热仿真得到天线罩响应温度场,通过静力分析得到天线罩结构变形场。然后,将天线罩介电温漂和结构变形准确传递到其电磁仿真模型中,并采用三维射线跟踪法计算其电性能。最后通过一个典型算例对高速飞行工况下天线罩电性能的变化进行仿真和分析,结果表明电性能变化非常明显,也进一步说明了所提方法的可行性和研究的必要性。 展开更多
关键词 高速飞行器 天线罩 热-力-电耦合 介电温漂 结构变形 电性能
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基于微形变分析的电容式MEMS加速度计温漂误差精密估计方法
17
作者 齐兵 程建华 +1 位作者 赵砚驰 汪籽粒 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2024年第7期2437-2445,共9页
针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构... 针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构建过程复杂繁琐的问题,提出基于微形变分析的CMA TDE精密补偿方法。首先,通过微形变分析内部结构精准溯源TDE,基于径向基函数神经网络(radial basis function neural network,RBFNN)构建改进型TDE精密估计模型;其次,基于专家经验和模糊理论提出Expert-Fuzzy辅助决策下TDE估计模型辨识方法,为改进模型提供有效的构型指导;然后,设计升温试验测试CMA,构建传统模型和改进模型并通过对比其输出偏置稳定性评估TDE估计性能。实验结果表明,改进模型构建过程大大简化,补偿后CMA偏置稳定性提升约35%。本方法能够更加精准地估计TDE,有效解耦硅基材料的温度依赖性并提升CMA的环境适应性。 展开更多
关键词 微机电系统 温漂误差估计 微形变分析 Expert-Fuzzy辅助决策 径向基函数神经网络
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基于灰色模型的微机械陀螺温度漂移建模研究 被引量:2
18
作者 杨金显 袁赣南 徐良臣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1551-1554,共4页
在微机械陀螺温度试验数据的基础上,通过灰色模型对温度漂移进行建模研究.分析传统的GM(1,1)模型的本质,给出提高模型精度的数学处理方法.采用改进的GM(1,1)模型进行建模,与传统的GM(1,1)模型建模相比,提高了光滑度,改善了模型精度.进... 在微机械陀螺温度试验数据的基础上,通过灰色模型对温度漂移进行建模研究.分析传统的GM(1,1)模型的本质,给出提高模型精度的数学处理方法.采用改进的GM(1,1)模型进行建模,与传统的GM(1,1)模型建模相比,提高了光滑度,改善了模型精度.进一步通过残差检验、后验差检验、关联度检验评估模型精度,结果验证了所建模型的准确性和实用性. 展开更多
关键词 微机械陀螺 漂移 灰色模型 漂移建模
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循环冷却塔漂水问题分析及改造 被引量:5
19
作者 高雅琼 崔石磊 +1 位作者 李猛 刘华朋 《当代化工》 CAS 2016年第12期2817-2820,共4页
针对循环水冷却塔的漂水现象进行综合分析、现场勘测,并对其结构情况进行系统分析,梳理实际运行参数找出漂水的问题所在,通过调整冷却塔内部机构,改善循环水喷淋高度和优化收水器功能,对现有循环冷却水塔的改造,调整相关参数后运行得到... 针对循环水冷却塔的漂水现象进行综合分析、现场勘测,并对其结构情况进行系统分析,梳理实际运行参数找出漂水的问题所在,通过调整冷却塔内部机构,改善循环水喷淋高度和优化收水器功能,对现有循环冷却水塔的改造,调整相关参数后运行得到了良好的效果,有效地解决了循环水冷却塔飘水问题。并从效益分析上实现了节水收益,提高了运行效率和循环水冷却塔的上回水温差,同时改善环境,节约水资源,保障设备稳定运行。 展开更多
关键词 机械通风冷却塔 漂水 收水器 填料
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一种灵敏度漂移自补偿型MEMS电场传感器 被引量:1
20
作者 储昭志 杨鹏飞 +3 位作者 闻小龙 彭春荣 刘宇涛 吴双 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第8期3040-3046,共7页
针对温度和应力变化带来的电场传感器灵敏度漂移和测量误差问题,该文提出一种具有灵敏度漂移自补偿功能的微机电系统(MEMS)谐振式电场传感器。传感器结构中,感应电极用于测量外部电场,参考电极用于监测可动结构振动信息;基于振动相位和... 针对温度和应力变化带来的电场传感器灵敏度漂移和测量误差问题,该文提出一种具有灵敏度漂移自补偿功能的微机电系统(MEMS)谐振式电场传感器。传感器结构中,感应电极用于测量外部电场,参考电极用于监测可动结构振动信息;基于振动相位和锁相环技术实现传感器谐振频率自动跟踪,利用参考电极输出信号对感应电极输出信号进行实时补偿,提高传感器灵敏度的稳定性。该文开展了敏感结构设计和理论分析,研制出传感器样机,并进行了样机标定测试。测试结果表明,在±18 kV/m电场范围内,传感器线性度达到0.21%,3个往返行程总不确定度达到1.34%;在–40℃~70℃温度范围内,灵敏度相对漂移量小于3.0%,具有良好的灵敏度漂移自补偿效果。 展开更多
关键词 微机电系统 电场传感器 灵敏度漂移 温度补偿
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