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大尺寸无导轨激光精密测量仪的研究
被引量：
4
1
作者
朱目成
周肇飞
张涛
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期80-81,共2页
介绍了一种大尺寸、无导轨激光干涉精密测量的方法与装置。该测量装置以稳定度较高和抗干扰性强的双纵模热稳频He -Ne激光器为光源 ;以拍波合成的场强信号的节点为对准标志 ;以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验测量结果...
介绍了一种大尺寸、无导轨激光干涉精密测量的方法与装置。该测量装置以稳定度较高和抗干扰性强的双纵模热稳频He -Ne激光器为光源 ;以拍波合成的场强信号的节点为对准标志 ;以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验测量结果表明 :节点定位精度小于 0 .0 5mm ,尾数测量部分分辨率为 0 .0 8μm ,整个测量系统在 2 0m范围内的测量精度达± ( 5 0 +1.5× 10 - 6 L) μm(L为被测长度 ,单位为m)。
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关键词
大尺寸测量
无导轨测量
双纵模热激光器
激光干涉仪
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职称材料
题名
大尺寸无导轨激光精密测量仪的研究
被引量：
4
1
作者
朱目成
周肇飞
张涛
机构
四川大学激光应用技术研究所
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期80-81,共2页
基金
国家自然科学基金资助项目 ( 5 0 2 75 10 1)
文摘
介绍了一种大尺寸、无导轨激光干涉精密测量的方法与装置。该测量装置以稳定度较高和抗干扰性强的双纵模热稳频He -Ne激光器为光源 ;以拍波合成的场强信号的节点为对准标志 ;以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验测量结果表明 :节点定位精度小于 0 .0 5mm ,尾数测量部分分辨率为 0 .0 8μm ,整个测量系统在 2 0m范围内的测量精度达± ( 5 0 +1.5× 10 - 6 L) μm(L为被测长度 ,单位为m)。
关键词
大尺寸测量
无导轨测量
双纵模热激光器
激光干涉仪
Keywords
double
longitudinal
modes
laser
large
size
measuring
node
laser
interferometer
measurement
without
guide
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
TN247 [机械工程—仪器科学与技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大尺寸无导轨激光精密测量仪的研究
朱目成
周肇飞
张涛
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004
4
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