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电弧离子镀薄膜中的颗粒尺寸及其影响的扫描电镜观察 被引量:7
1
作者 李成明 孙晓军 +4 位作者 张勇 李桂英 曹尔妍 唐伟忠 吕反修 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期252-256,共5页
用扫描电镜对比分析了电弧离子镀增加直线磁场过滤对沉积TiN和TiAlN薄膜中颗粒的密度和尺寸的影响。结果表明,TiN薄膜中颗粒的最大直径,从14μm减小到3μm,颗粒密度从109 cm2降低到105 cm2。TiAlN薄膜由于靶材中含有低熔点金属Al,因而... 用扫描电镜对比分析了电弧离子镀增加直线磁场过滤对沉积TiN和TiAlN薄膜中颗粒的密度和尺寸的影响。结果表明,TiN薄膜中颗粒的最大直径,从14μm减小到3μm,颗粒密度从109 cm2降低到105 cm2。TiAlN薄膜由于靶材中含有低熔点金属Al,因而发射出更大的颗粒,有的颗粒集团达到20μm,磁场过滤后颗粒尺寸减小,颗粒密度降低到106 cm2。分析了脉冲叠加直流偏压对TiCrZrN复合薄膜相组成的影响。颗粒可使电弧离子镀TiN CrN多层膜的结合力降低,并使针孔产生遗传。使用直线型磁场过滤及脉冲叠加直流偏压不仅使颗粒密度和尺寸显著降低和减小,而且多层化对小颗粒产生了包覆作用。 展开更多
关键词 电弧离子镀薄膜 扫描电镜 磁场过滤 颗粒密度 氮化钛薄膜
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探讨电弧离子镀中“大颗粒”净化方法 被引量:2
2
作者 胡双丽 《真空》 CAS 2012年第4期72-74,共3页
传统电弧离子镀存在着大颗粒污染、沉积温度相对较高和易引发微弧击穿效应等诸多不足,制约其在精细薄膜、低温沉积和功能薄膜等方面的应用。本文简要介绍了电弧离子镀中大颗粒的形成机理,旨在探讨用磁场控制、脉冲电弧、磁过滤及脉冲偏... 传统电弧离子镀存在着大颗粒污染、沉积温度相对较高和易引发微弧击穿效应等诸多不足,制约其在精细薄膜、低温沉积和功能薄膜等方面的应用。本文简要介绍了电弧离子镀中大颗粒的形成机理,旨在探讨用磁场控制、脉冲电弧、磁过滤及脉冲偏压等方法来减少大微粒污染及其作用机理。 展开更多
关键词 电弧离子镀 “大颗粒”污染 脉冲电弧源 磁过滤 脉冲偏压
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油田注水QCGL-Ⅲ型磁性过滤器的研制与应用
3
作者 孟海军 黄绍业 +1 位作者 王兴元 蒋珍 《石油矿场机械》 2011年第9期72-74,共3页
由于管道不断锈蚀导致油田注水污染,严重影响了注水效果。QCGL-Ⅲ型磁性过滤器将磁分离技术应用于油田注水领域,利用高矫顽力NeFeB永磁体做磁场源,采用特殊的磁路结构,能方便地实现过滤和排污2种状态的转换。现场试验表明:QCGL-Ⅲ型磁... 由于管道不断锈蚀导致油田注水污染,严重影响了注水效果。QCGL-Ⅲ型磁性过滤器将磁分离技术应用于油田注水领域,利用高矫顽力NeFeB永磁体做磁场源,采用特殊的磁路结构,能方便地实现过滤和排污2种状态的转换。现场试验表明:QCGL-Ⅲ型磁性过滤器磁性杂质去除率达到80%,能明显改善水质,提高注水量。 展开更多
关键词 注水 磁性过滤 永磁体 磁性杂质
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用弯曲磁过滤提高弧离子镀TiN薄膜质量 被引量:6
4
作者 瞿全炎 曾德长 +1 位作者 史新伟 刘正义 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期36-40,共5页
采用弯曲磁过滤真空阴极放电弧离子镀法制备高质量TiN薄膜。用场致发射电子扫描显微镜观察薄膜表面与截面形貌。分析弯曲磁过滤对膜表面质量与晶粒尺寸、膜基结合形态的影响。磁过滤能有效减少大颗粒数量,减小大颗粒尺寸,形成光滑的TiN... 采用弯曲磁过滤真空阴极放电弧离子镀法制备高质量TiN薄膜。用场致发射电子扫描显微镜观察薄膜表面与截面形貌。分析弯曲磁过滤对膜表面质量与晶粒尺寸、膜基结合形态的影响。磁过滤能有效减少大颗粒数量,减小大颗粒尺寸,形成光滑的TiN薄膜表面,细化TiN晶粒,形成结合紧密的膜基结构。 展开更多
关键词 TIN薄膜 弯曲磁过滤 薄膜质量 粗大柱状晶 细小柱状晶
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弯曲磁过滤电流对TiN膜质量的影响 被引量:4
5
作者 瞿全炎 邱万奇 +2 位作者 曾德长 钟喜春 刘正义 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期690-694,共5页
为研究弯曲磁过滤弧离子镀工艺的磁过滤电流变化对薄膜质量的影响,用弯曲磁过滤弧离子镀工艺在3.0~4.5A内变化磁过滤电流制备了TiN薄膜样品,用扫描电子显微镜观察了薄膜表面与截面形貌,用X射线衍射研究了薄膜的组织结构,从等离子体角... 为研究弯曲磁过滤弧离子镀工艺的磁过滤电流变化对薄膜质量的影响,用弯曲磁过滤弧离子镀工艺在3.0~4.5A内变化磁过滤电流制备了TiN薄膜样品,用扫描电子显微镜观察了薄膜表面与截面形貌,用X射线衍射研究了薄膜的组织结构,从等离子体角度分析了磁过滤电流对薄膜表面质量、结晶质量等薄膜质量及生长速率的影响.结果表明,引入磁过滤后,因去除大颗粒的结果使薄膜表面均很光滑,且表面大颗粒的尺寸与磁过滤电流的大小关系不大.当磁过滤电流为4.0A时,TiN薄膜结晶良好、膜基结合紧密,生长速率达到最大的1.1μm/h,且具有很强的[200]择优取向.在4.0A磁过滤电流下制备的TiN薄膜所呈现的质量特性是由于此电流下等离子体密度与能量高、基体的位置又正好处于聚集的等离子体区域中心. 展开更多
关键词 弯曲磁过滤电流 TiN膜质量 等离子体
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磁过滤器电流对非晶碳薄膜摩擦学特性影响的研究 被引量:3
6
作者 韩亮 杨立 +2 位作者 杨拉毛草 王炎武 赵玉清 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期530-534,共5页
研究了过滤阴极真空电弧技术中,不同的磁过滤器电流下(5—13A),制备的四面体非晶碳(ta-C)薄膜对摩擦学特性的影响.通过对薄膜厚度,薄膜结构以及薄膜表面粗糙度随磁过滤电流的变化结果进行了测试,结果表明,随着磁过滤器电流的增大,薄膜的... 研究了过滤阴极真空电弧技术中,不同的磁过滤器电流下(5—13A),制备的四面体非晶碳(ta-C)薄膜对摩擦学特性的影响.通过对薄膜厚度,薄膜结构以及薄膜表面粗糙度随磁过滤电流的变化结果进行了测试,结果表明,随着磁过滤器电流的增大,薄膜的sp3键含量逐渐减少,表面粗糙度从0.13增大到0.38.磁过滤器电流在5A时,薄膜的摩擦系数最小约为0.08,当电流增大到7A时,摩擦系数显著增大,磁过滤器电流从7A增大到13A时,薄膜的摩擦系数再次减小约为0.1. 展开更多
关键词 四面体非晶碳 过滤阴极真空电弧 磁过滤器电流 摩擦系数
原文传递
The Properties of the Rectangular Arc Ion Plating with Magnetic Filtering Shutter
7
作者 石中兵 童洪辉 +5 位作者 刘小波 熊涛 李勇 严复秀 赵燕 杨作贵 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第6期2581-2584,共4页
A major obstacle to the broad application of cathodic arc plasma deposition is the presence of macroparticles. In this paper, the properties of the large rectangular arc ion plating with a magnetic filtering shutter s... A major obstacle to the broad application of cathodic arc plasma deposition is the presence of macroparticles. In this paper, the properties of the large rectangular arc ion plating with a magnetic filtering shutter system to filter macroparticles are studied. It is proposed that the macroparticles in the plasma beam are effectively removed with the magnetic filtering shutter system, and the quality of the deposited films is improved. 展开更多
关键词 magnetic filtering shutter cathodic vacuum arc macroparticles removal plasma
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钢厂除尘废水磁场净化法研究
8
作者 蒋朝澜 雷国元 +1 位作者 赵烈胜 余英武 《金属矿山》 CAS 北大核心 1997年第1期43-45,51,共4页
钢厂除尘废水常用重力沉降或絮凝—沉降法净化。由于尘粒微细,自然沉降缓慢。固体悬浮物(简称SS)具有强磁性,故用复合絮凝-磁滤或絮凝-磁滤净化法能改善固液分离效果。本文在系统研究净化工艺基础上,对磁分离过程的数学模型进... 钢厂除尘废水常用重力沉降或絮凝—沉降法净化。由于尘粒微细,自然沉降缓慢。固体悬浮物(简称SS)具有强磁性,故用复合絮凝-磁滤或絮凝-磁滤净化法能改善固液分离效果。本文在系统研究净化工艺基础上,对磁分离过程的数学模型进行了较详细的探讨。 展开更多
关键词 废水 磁场净化法 除尘 炼钢厂
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油液中磨粒分析磁滤谱仪的设计 被引量:1
9
作者 周新聪 杨朋 +1 位作者 陈闽杰 黄清城 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期100-103,110,共5页
针对滤谱法中滤膜上磨粒分布不规则,不易区分铁磁性颗粒和非铁磁性颗粒的问题,设计一种磁滤谱仪,它在原油液检测滤谱仪的基础上,通过引入自动运动控制机构,提高了工作效率;同时在下过滤端安装永磁铁,使油样中的铁磁性颗粒能在滤膜上沿... 针对滤谱法中滤膜上磨粒分布不规则,不易区分铁磁性颗粒和非铁磁性颗粒的问题,设计一种磁滤谱仪,它在原油液检测滤谱仪的基础上,通过引入自动运动控制机构,提高了工作效率;同时在下过滤端安装永磁铁,使油样中的铁磁性颗粒能在滤膜上沿磁力线方向分布。通过有限元方法确定该磁滤谱仪的磁场强度和磁场方向。实验结果表明,磁滤谱仪制备的滤膜上的铁磁性颗粒沿磁力线分布,能很快地区分出铁磁性颗粒和非铁磁性颗粒,提高了铁磁性颗粒和非铁磁性颗粒区分的准确度,提高了工作效率和可信度。 展开更多
关键词 磨粒 铁磁性颗粒 磁滤谱仪 结构设计
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直管磁过滤弧离子镀Cr+CrN复合涂层提高304不锈钢耐磨损特性研究
10
作者 杨发展 王世庆 +3 位作者 唐德礼 杨作贵 金凡亚 沈丽如 《真空》 CAS 北大核心 2010年第4期43-45,共3页
采用直管磁过滤弧离子镀在304不锈钢表面沉积Cr+CrN复合涂层,分别运用XRD、光学显微镜、显微硬度计、摩擦磨损仪测试分析了其组成结构及表面机械性能。结果表明:直管磁过滤弧离子镀Cr+CrN复合涂层呈现出致密、均匀的表面形貌,且具有高... 采用直管磁过滤弧离子镀在304不锈钢表面沉积Cr+CrN复合涂层,分别运用XRD、光学显微镜、显微硬度计、摩擦磨损仪测试分析了其组成结构及表面机械性能。结果表明:直管磁过滤弧离子镀Cr+CrN复合涂层呈现出致密、均匀的表面形貌,且具有高硬度、低摩擦系数等优异的表面机械性能,显著提高了304不锈钢表面的耐摩擦磨损特性。 展开更多
关键词 直管磁过滤 Cr+CrN复合涂层 耐磨损特性
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磁场效应在水处理中的作用与研究 被引量:32
11
作者 马伟 萧锦 郭丽燕 《工业水处理》 CAS CSCD 1997年第6期1-3,6,共4页
分述了磁场效应于水处理中的作用及机理研究成果,阐明了磁场效应与各种水处理技术共同作用下实现多种功能的技术前景。
关键词 磁场效应 絮凝 水处理
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电弧离子镀TiN薄膜中的缺陷及其形成原因 被引量:22
12
作者 史新伟 邱万奇 刘正义 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2006年第1期43-46,共4页
分析了电弧离子镀(AIP)TiN薄膜中的主要缺陷-熔滴、孔洞和疏松等。结果表明:这些缺陷存在于晶内、晶界或者贯穿于整个薄膜;缺陷的存在极大地影响了薄膜的性能;缺陷密度与镀膜方法及具体的工艺参数有密切关系;使用磁过滤器镀制薄膜可显... 分析了电弧离子镀(AIP)TiN薄膜中的主要缺陷-熔滴、孔洞和疏松等。结果表明:这些缺陷存在于晶内、晶界或者贯穿于整个薄膜;缺陷的存在极大地影响了薄膜的性能;缺陷密度与镀膜方法及具体的工艺参数有密切关系;使用磁过滤器镀制薄膜可显著减少上述缺陷,从而提高薄膜的各种性能。认为使用磁过滤器镀制TiN及其各种复合或多层薄膜是一种切实有效的方法,是今后制备高性能TiN及其复合膜的发展方向,另外,缩短脉冲电弧在高值时的时间,用人工来减少薄膜缺陷也是一种行之有效的方法。 展开更多
关键词 电弧离子镀 TIN薄膜 缺陷 磁过滤器
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磁过滤阴极真空弧沉积薄膜研究 被引量:15
13
作者 吴瑜光 张通和 +2 位作者 张荟星 张孝吉 王广甫 《微细加工技术》 2001年第1期45-49,共5页
采用磁过滤阴极真空孤沉积技术对从弧源引出离子束中的大颗粒进行过滤后 ,在硅和聚合物表面进行离子注入和低能离子束沉积 ,可获得特性优异的沉积金属膜、超硬膜 (类金刚石 ,CN膜 )、陶瓷膜 (TiN ,TiC)等。电子显微镜观察表明 ,大颗粒... 采用磁过滤阴极真空孤沉积技术对从弧源引出离子束中的大颗粒进行过滤后 ,在硅和聚合物表面进行离子注入和低能离子束沉积 ,可获得特性优异的沉积金属膜、超硬膜 (类金刚石 ,CN膜 )、陶瓷膜 (TiN ,TiC)等。电子显微镜观察表明 ,大颗粒已被过滤 ,表面结构致密。由于先进行离子注入 ,在基体表面预先形成了过渡层 ,从而改善了沉积膜的粘合特性 ,膜与基体的粘合特性有了明显提高。测量结果表明 ,沉积膜的硬度、抗磨损和抗腐蚀特性均有了明显提高。非晶金刚石薄膜表面硬度可达到5 展开更多
关键词 磁过滤 离子沉积 聚合物 类金刚石膜
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真空阴极弧离子镀的发展及应用 被引量:7
14
作者 樊勇 《新技术新工艺》 2008年第4期93-96,共4页
叙述了真空阴极弧离子镀技术的原理,种类,宏观颗粒的产生以及磁过滤器的应用。重点分析了系统效率,等离子体传输影响因素和真空阴极电弧离子镀技术在薄膜研究和制造中的应用。
关键词 真空阴极弧离子镀 磁过滤器 系统效率 等离子体传输
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无中和器射频离子推力器原理研究 被引量:9
15
作者 夏广庆 徐宗琦 +2 位作者 王鹏 朱雨 陈茂林 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2016年第1期1-8,共8页
在电推力器的广泛应用中,大部分都采用加速正离子的方式产生推力,且需要安装中和器发射电子对喷射出的正离子进行中和,否则会导致航天器自充电,对其通信及电子器件造成损害。因此,中和器的性能成为制约电推力器工作状态和寿命的重要因... 在电推力器的广泛应用中,大部分都采用加速正离子的方式产生推力,且需要安装中和器发射电子对喷射出的正离子进行中和,否则会导致航天器自充电,对其通信及电子器件造成损害。因此,中和器的性能成为制约电推力器工作状态和寿命的重要因素。为了克服该缺点,介绍了一种基于同时加速正、负离子的无中和器射频离子推力器,阐述了其结构组成及推进原理,分析了离子-离子的产生、正负离子的加速过程,指出了关键技术包括电负性工质气体放电特性、磁场过滤电子束缚效能,以及可周期性交替加速正、负离子的栅极偏置电压加载方式。分析表明,该推力器在低轨航天器及深空探测器中具有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 电推进 负离子 射频离子推力器 电负性气体 离子-离子推力器 磁过滤 交变电压
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磁过滤弯管的金属等离子体传输研究 被引量:8
16
作者 张涛 侯君达 +1 位作者 张荟星 张孝吉 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期49-51,共3页
测定了磁过滤弯管出口离子电流与阴极弧流的关系 .磁过滤弯管内表面中 ,靠近大径中心一侧的表面 (内侧面 )和远离大径中心一侧的表面 (外侧面 )与等离子体的相互作用是独立的 .整个磁过滤弯管偏压较仅仅Bilek板偏压有更高的离子传输效率 .
关键词 阴极弧离子源 磁过滤弯管 等离子体 传输
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脉冲偏压磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的组织结构及耐磨性研究 被引量:7
17
作者 李晓芳 张岩 +1 位作者 田林海 唐宾 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2010年第20期120-122,141,共4页
利用脉冲偏压磁过滤电弧离子镀在高速钢(M2)基底上沉积了厚约2.5μm的TiN薄膜;分别采用FESEM、GDOES、XRD和划痕试验法观察薄膜表面和断面形貌、测试薄膜成分及相结构,分析膜基结合强度,通过显微硬度计和球盘摩擦磨损试验机对比考察TiN... 利用脉冲偏压磁过滤电弧离子镀在高速钢(M2)基底上沉积了厚约2.5μm的TiN薄膜;分别采用FESEM、GDOES、XRD和划痕试验法观察薄膜表面和断面形貌、测试薄膜成分及相结构,分析膜基结合强度,通过显微硬度计和球盘摩擦磨损试验机对比考察TiN薄膜和M2高速钢基体的硬度和耐磨性。结果表明,TiN薄膜表面光滑致密,呈现致密柱状晶结构和明显的(111)择优取向,膜基结合强度大于60 N,薄膜硬度约为26 GPa;脉冲偏压磁过滤电弧离子镀制备的TiN薄膜表现出很好的减摩和耐磨性能。 展开更多
关键词 电弧离子镀 氮化钛薄膜 脉冲偏压 磁过滤 耐磨性
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电弧离子镀中大颗粒缺陷清除方法的研究现状 被引量:7
18
作者 魏永强 侯军兴 +1 位作者 蒋志强 田修波 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2016年第6期28-32,共5页
电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒缺陷是研究热点之一。本文对其清除方法进行了概述,主要包括阻挡过滤、电场抑制、工艺优化和磁场消除等方法,并对其工作原理、发展历程和未来研究的方向进行总结,比较了各种方法存在的优缺点。最终提出... 电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒缺陷是研究热点之一。本文对其清除方法进行了概述,主要包括阻挡过滤、电场抑制、工艺优化和磁场消除等方法,并对其工作原理、发展历程和未来研究的方向进行总结,比较了各种方法存在的优缺点。最终提出了多级磁场直管磁过滤装置和脉冲偏压电场组合的电弧离子镀方法。 展开更多
关键词 电弧离子镀 薄膜 大颗粒 磁过滤
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钢板锌铝镁涂镀层的新发展 被引量:7
19
作者 肖学文 杨柏松 《工业加热》 CAS 2021年第6期51-52,共2页
根据我国锌资源储量及应用现状,发现我国缺少锌资源的现状必将影响镀锌防腐技术的发展,介绍了不同镀锌防腐技术的发展历程;再通过不同类型镀层的性能对比与技术优势分析,发现不同技术类型的防腐镀膜其所适应的应用领域存在明显差异,并... 根据我国锌资源储量及应用现状,发现我国缺少锌资源的现状必将影响镀锌防腐技术的发展,介绍了不同镀锌防腐技术的发展历程;再通过不同类型镀层的性能对比与技术优势分析,发现不同技术类型的防腐镀膜其所适应的应用领域存在明显差异,并详细介绍了锌铝镁镀膜工艺中的关键设备。最后,结合工程实际情况与相关热加工技术的发展趋势,明确了防腐镀层技术未来的发展方向,并指出亟待解决的技术难题。 展开更多
关键词 维氏硬度 磁过滤器 镀后冷却器
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大梯度磁滤器对饮用水中有害物质的去除 被引量:4
20
作者 宋金璞 杨镇国 郑学玉 《现代化工》 CAS CSCD 1997年第1期22-24,共3页
介绍了大梯度磁滤处理饮用水的工作原理及工艺过程。
关键词 大梯度 磁滤器 过滤器 饮用水 有害物质
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