-
题名基于变步长局域电沉积法的纺锤形微铜柱制备
- 1
-
-
作者
坎标
徐盛松
丁建宁
顾迪
韩建
-
机构
常州大学机械工程学院
江苏省光伏科学与工程协同创新中心
常州市模具先进制造高技术研究重点实验室
江苏大学微纳米科学技术研究中心
-
出处
《电加工与模具》
2019年第3期54-58,共5页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(51105046,51335002)
江苏省研究生科研创新计划项目(KYCX17_2087)
-
文摘
针对变截面微柱的局域电沉积制备开展了实验与仿真模拟,采用直径100μm的阳极针尖,通过改变连续提拉的步长制备了平均直径从92~293μm不等的自支撑微铜柱,探讨了提拉步长与铜柱直径的关系,进而提出了一种变步长局域电沉积方法,并成功制备了中部最大直径为164μm的变截面纺锤形微铜柱,同时利用COMSOL软件建立了数值仿真模型,分析了纺锤形铜柱形成的原因,可为基于局域电沉积法的复杂微结构制备提供参考。
-
关键词
局域电沉积
纺锤形微铜柱
变步长
-
Keywords
local electrochemistry deposition
spindle-shaped copper micropillar
variable step
-
分类号
TG662
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
-
