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一种新型单频激光干涉系统的研究 被引量:11
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作者 韩旭东 艾华 龙科慧 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期49-51,共3页
这种单频激光干涉系统采用共光路设计布局,通过偏振分束器以及1/4波长片等光学器件对干涉条纹进行空间移相,提取相位依次相差90°的三路干涉输出信号,进行比较放大,解决了常规单频激光干涉仪中的光强“零漂”问题。利用共模抑制技术... 这种单频激光干涉系统采用共光路设计布局,通过偏振分束器以及1/4波长片等光学器件对干涉条纹进行空间移相,提取相位依次相差90°的三路干涉输出信号,进行比较放大,解决了常规单频激光干涉仪中的光强“零漂”问题。利用共模抑制技术,提高了干涉系统的测量稳定性和重复性。采用光程差放大技术,提高了干涉系统的分辨力。 展开更多
关键词 单频激光干涉系统 激光干涉仪 偏振光移相 光程差放大 光路设计
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数控机床定位精度检测及补偿方法的研究 被引量:13
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作者 孙兴伟 张春堂 +1 位作者 张兴伟 丛龙涛 《机床与液压》 北大核心 2014年第23期93-96,共4页
为了提高数控机床的定位精度,保证加工工件质量,需辨识影响机床精度的误差源并对误差进行补偿。论述了利用激光干涉仪对数控车床定位精度进行检测的原理,建立了检测数据处理的数学模型,确定了定位精度误差补偿方法,结合具体的数控车床... 为了提高数控机床的定位精度,保证加工工件质量,需辨识影响机床精度的误差源并对误差进行补偿。论述了利用激光干涉仪对数控车床定位精度进行检测的原理,建立了检测数据处理的数学模型,确定了定位精度误差补偿方法,结合具体的数控车床实例进行了定位精度的检测与分析,根据分析结果实现了反向间隙误差与丝杠螺距误差补偿,最后对定位精度的补偿效果进行了评价。实际应用结果表明:该定位精度检测及补偿方法具有可行性,数控车床的定位精度得到了显著地提高。 展开更多
关键词 数控机床 定位精度 激光干涉仪 检测 补偿
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激光数字波面干涉仪傅里叶变换移相干涉术 被引量:5
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作者 王晓辉 曹根瑞 梅文辉 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第4期52-55,共4页
讨论了一种新的干涉图处理方法,能实时快速准确地提取干涉图信息,直接测量波面的位相分布,获得较高的位相分辨率和空间分辨率,使光学波面的检测精度达到λ/100以上,并且实现了波面的实时显示。
关键词 激光干涉仪 数字干涉仪 波面干涉仪
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多传感器激光跟踪测量精度分析 被引量:8
4
作者 张锐 李文秀 《系统仿真学报》 CAS CSCD 2002年第10期1390-1394,共5页
主要讨论了在二维空间内,利用激光干涉仪对目标进行跟踪滤波时,干涉仪的布局对跟踪精度的影响。通过理论分析得出,跟踪精度主要受目标距离干涉仪的远近以及目标与干涉仪的夹角的大小有关,与所选择的坐标系无关。目标距离干涉仪越近,跟... 主要讨论了在二维空间内,利用激光干涉仪对目标进行跟踪滤波时,干涉仪的布局对跟踪精度的影响。通过理论分析得出,跟踪精度主要受目标距离干涉仪的远近以及目标与干涉仪的夹角的大小有关,与所选择的坐标系无关。目标距离干涉仪越近,跟踪精度就越高;目标与干涉仪所形成的夹角越大,跟踪精度越高。最后的仿真结果与理论分析结果相一致。 展开更多
关键词 多传感器 激光跟踪 测量精度 分析 激光干涉仪 数据融合 目标跟踪
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纳米级二维激光外差干涉仪的设计 被引量:4
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作者 陈晓梅 曹航 +1 位作者 周自力 亓爱会 《光电工程》 EI CAS CSCD 1998年第1期18-22,共5页
提出了一种50μm测量范围内,2nm不确定度、0.5nm分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声光调制器和稳频He-Ne激光器获取频差小于200kHz的正交偏振双频激光束,X和Y二臂偏振干涉仪将采用差分干涉仪,... 提出了一种50μm测量范围内,2nm不确定度、0.5nm分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声光调制器和稳频He-Ne激光器获取频差小于200kHz的正交偏振双频激光束,X和Y二臂偏振干涉仪将采用差分干涉仪,采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。 展开更多
关键词 激光干涉仪 位移测量 纳米级技术 光学设计
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光热调制半导体激光波长降低干涉测量误差 被引量:5
6
作者 王学锋 王向朝 +3 位作者 钱锋 陈刚 陈高庭 方祖捷 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第5期1-3,共3页
在半导体激光正弦相位调制干涉仪中,光源输出光强的变化是测量误差的主要来源。本文首次将光源波长的光热调制技术用于正弦相位调制干涉仪中,消除了因直接调制激光波长引起的光强度变化对测量的影响,降低了测量误差。
关键词 半导体激光器 干涉仪 测量误差
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基于Hopkinson杆的高g值加速度计的标定 被引量:5
7
作者 董力科 代月松 +1 位作者 陈昌鑫 孙正席 《电子设计工程》 2011年第15期86-88,共3页
介绍了基于Hopkinson杆技术的激光光栅干涉法冲击加速度计的绝对校准方法。采用激光干涉仪对激励信号进行测量,实现对高g值加速度计的标定。给出了高g值加速度传感器的灵敏度标定公式,并通过比较说明了两种公式的优缺点。实验结果表明,... 介绍了基于Hopkinson杆技术的激光光栅干涉法冲击加速度计的绝对校准方法。采用激光干涉仪对激励信号进行测量,实现对高g值加速度计的标定。给出了高g值加速度传感器的灵敏度标定公式,并通过比较说明了两种公式的优缺点。实验结果表明,本文中的标定方法可满足标定的精度要求。 展开更多
关键词 HOPKINSON杆 激光光栅干涉法 高G值 标定 灵敏度
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高精度数控机床的导轨平行度测试方法研究
8
作者 司卫征 卫紫君 +3 位作者 罗良传 刘建华 陈启愉 唐健豪 《机床与液压》 北大核心 2024年第15期128-136,共9页
基于平面度、直线度、平行度的测量及评价原理,对有效行程2 000 mm精密导轨平行度进行测量,并对导轨工作台单个滑块及组合滑块的角度偏差、直线度及导轨平行度进行理论分析和实验验证。结果表明:在相同的环境和装配工艺等条件下,水平面... 基于平面度、直线度、平行度的测量及评价原理,对有效行程2 000 mm精密导轨平行度进行测量,并对导轨工作台单个滑块及组合滑块的角度偏差、直线度及导轨平行度进行理论分析和实验验证。结果表明:在相同的环境和装配工艺等条件下,水平面内滑块的角度偏转方向和趋势基本一致,滑块的最大角度偏差相近;组成导轨工作台的4个滑块在水平面内直线度曲线趋势相同均为中间凹,竖直平面内直线度受装配锁紧力和角度偏差的影响,角度偏差的转动方向相同,但趋势稍微有差异;组合滑块直线度的方向与单个滑块直线度的方向一致,因滑块组合后受力的平均效应作用,在竖直面和水平面内组合滑块直线度比单个滑块直线度好;以基准导轨与副导轨的直线度斜度代数运算的绝对值评价导轨间平行度的方法,可为精密导轨平行度的测量提供依据。 展开更多
关键词 数控机床 平行度 直线度 精密导轨 激光干涉仪
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半导体激光端点测长干涉仪实验系统 被引量:2
9
作者 侯德胜 周明宝 +2 位作者 杜春雷 杨代明 邓启凌 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第2期5-8,共4页
半导体激光端点干涉测长法是利用半导体激光频率调制特性的一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法。本文介绍基于这种测长方法研制的半导体激光端点测长干涉仪实验系统的基本原理、构成、定标方法和测量结果。
关键词 激光干涉仪 半导体激光器 长度测量 频率调制
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影响激光外差高精度计量的几个关键因素 被引量:3
10
作者 赵慧洁 张广军 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期221-224,共4页
共光路外差干涉仪具有很高的分辨率 ,但因为安装、调试误差会产生非线性误差 ,影响系统的测量精度 .所以着重分析了影响激光外差计量精度的 4个关键因素 ,即频率混叠、不同被测金属的相位跳变、被测表面的倾斜及物镜的数值孔径 ;利用激... 共光路外差干涉仪具有很高的分辨率 ,但因为安装、调试误差会产生非线性误差 ,影响系统的测量精度 .所以着重分析了影响激光外差计量精度的 4个关键因素 ,即频率混叠、不同被测金属的相位跳变、被测表面的倾斜及物镜的数值孔径 ;利用激光外差及矢量分析理论 ,深入研究了频率混叠误差和相位跳变误差的成因、变化规律 ,并讨论了提高测量系统精度的有效措施 .对正确设计和调试激光外差测试系统、提高测量系统精度具有重要意义 . 展开更多
关键词 计量精度 共光路外差干涉系统 激光外差 影响因素 频率混叠
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Frequency-locked tunable LD laser with a broad bandwidth 被引量:1
11
作者 常宏 武海斌 +1 位作者 谢常德 王海 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第12期710-712,共3页
Using lock-in amplifer and proportional, integral, and derivative (PID) electric circuit, the frequency of diode laser is stabilized on a highly mechanical stable Fabry-Perot (FP) cavity transmission peak. When the fr... Using lock-in amplifer and proportional, integral, and derivative (PID) electric circuit, the frequency of diode laser is stabilized on a highly mechanical stable Fabry-Perot (FP) cavity transmission peak. When the frequency locking system is on, the frequency tunable range of the laser is about 4 GHz around the D1 transition of Rb. The laser frequency tuning is implemented by scanning the FP cavity length. The fluctuation of frequency of the output laser is less than 1 MHz, and the drift of the center frequency is less than 1.5 MHz in 1.5 min. This system has great potential of the application in the experimental investigation of the interaction between light and atoms, especially, for the case of far off the atomic resonance. 展开更多
关键词 Cavity resonators FABRY Perot interferometers laser tuning Three term control systems
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Investigation on characteristics of self-organization Mach-Zehnder erbium-doped fiber laser cavity 被引量:1
12
作者 刘丰年 刘波 +3 位作者 黄榜才 开桂云 袁树忠 董孝义 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第3期186-188,共3页
The characteristics of coherent coupling in Mach-Zehnder erbium-doped fiber laser cavity are experimentally studied. By virtue of a seemly controlling of length difference between two interferometric arms, the obtaine... The characteristics of coherent coupling in Mach-Zehnder erbium-doped fiber laser cavity are experimentally studied. By virtue of a seemly controlling of length difference between two interferometric arms, the obtained comb-like spectrum of interferometer resonator with a period of 0.06 nm commendably agrees with the theory of self-organization coherence. The coherent output exits from the output mirror of a fiber Bragg grating with 4.5% reflectivity. A high coherent combining efficiency of 94% is obtained. Investigation on characteristics of the leak power opens out self-organization mechanism in Mach-Zehnder composite cavity. 展开更多
关键词 Coherent light Fiber Bragg gratings interferometers laser resonators Light reflection Mirrors
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亚微米电子束曝光机激光工件台系统 被引量:3
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作者 刘业异 田桐 钱进 《光电工程》 EI CAS CSCD 1998年第3期37-44,48,共9页
介绍了正在现场使用的亚微米电子束曝光机激光工件台系统,详细论述了它的技术特征,分析了影响重复测量精度的误差因素,给出了系统各部分实际检测达到的技术指标。
关键词 电子束曝光机 精密定位 工件台 激光干涉仪
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Amplitude measurement of weak sinusoidal water surface acoustic wave using laser interferometer 被引量:1
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作者 张烈山 张晓琳 唐文彦 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期29-33,共5页
To determine the amplitude of weak sinusoidal water surface acoustic wave (WSAW), a method based on the spectrum analysis of the phase-modulated interference signal is developed. Calculated from the amplitude spec- ... To determine the amplitude of weak sinusoidal water surface acoustic wave (WSAW), a method based on the spectrum analysis of the phase-modulated interference signal is developed. Calculated from the amplitude spec- trum of the detection signal, a characteristic ratio indicates that the phase-modulation depth of a WSAW is suggested by determining the amplitude of a WSAW according to their functional relationship. Experimental investigations for a 4 kHz WSAW evaluate the measurement's precision with an amplitude measurement stan- dard deviation of 0.12 nm. The measurement accuracy also is demonstrated by the experimental investigations. The theory of this method is briefly described, and the experimental setup is presented. 展开更多
关键词 Acoustic surface wave devices interferometers laser interferometry Phase modulation Spectrum analysis
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摆角铣头的动态误差及补偿技术 被引量:2
15
作者 蔡春刚 任志辉 +2 位作者 李东旭 冯金龙 杜长林 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2011年第11期105-106,共2页
介绍了摆角铣头定位精度和重复定位精度的定义以及发生动态误差的原因。同时也介绍了定位精度和重复定位精度的检测原理方法以及检测工具,检测的最终目的是更好地对机构本身进行补偿使之提高自身精度。
关键词 动态误差 定位精度 重复定位精度 动态误差的补偿 激光干涉仪
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一种新型STM纳米计量仪
16
作者 李艳宁 饶志军 +4 位作者 唐洁 宋晓辉 胡晓东 付星 胡小唐 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1069-1072,共4页
阿贝(Abbe)误差作为纳米计量中的主要误差之一限制着测量精度的提高,故提出了一种新型STM纳米计量仪器,采用3个微型激光干涉仪与STM联用.微型激光干涉仪用来测量探针相对于样品在3个方向上空间位移.与其它STM纳米计量仪器相比,该仪器扫... 阿贝(Abbe)误差作为纳米计量中的主要误差之一限制着测量精度的提高,故提出了一种新型STM纳米计量仪器,采用3个微型激光干涉仪与STM联用.微型激光干涉仪用来测量探针相对于样品在3个方向上空间位移.与其它STM纳米计量仪器相比,该仪器扫描部分放弃了传统管式扫描器和三角架扫描器,将扫描分为Z向和X Y平面扫描两部分,Z向扫描由独立的PZT驱动,X Y扫描由两个PZT驱动的柔性平行四杆导轨完成.这种设计理论上能使Z方向上Abbe误差完全消除,X Y方向上Abbe臂缩小到扫描范围的一半,最大50μm,使Abbe误差减小至可忽略的程度.微型激光干涉仪的使用还消除了扫描器PZT的非线性、滞后、爬行和老化等误差. 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 Ahbe误差 柔性铰链 激光干涉仪
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Rapid thermal sensors with high resolution based on an adaptive dual-comb system
17
作者 Yi-zheng GUO Ming YAN +3 位作者 Qiang HAO Kang-wen YANG Xu-ling SHEN He-ping ZENG 《Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering》 SCIE EI CSCD 2019年第5期674-684,共11页
We report a high-resolution rapid thermal sensing based on adaptive dual comb spectroscopy interrogated with a phase-shifted fiber Bragg grating(PFBG). In comparison with traditional dual-comb systems, adaptive dual-c... We report a high-resolution rapid thermal sensing based on adaptive dual comb spectroscopy interrogated with a phase-shifted fiber Bragg grating(PFBG). In comparison with traditional dual-comb systems, adaptive dual-comb spectroscopy is extremely simplified by removing the requirement of strict phase-locking feedback loops from the dual-comb configuration. Instead, two free-running fiber lasers are adopted as the light sources. Because of good compensation of fast instabilities with adaptive techniques, the optical response of the PFBG is precisely characterized through a fast Fourier transform of the interferograms in the time domain. Single-shot acquisition can be accomplished rapidly within tens of milliseconds at a spectral resolution of 0.1 pm, corresponding to a thermal measurement resolution of 0.01 ℃. The optical spectral bandwidth of the measurement also exceeds 14 nm, which indicates a large dynamic temperature range. It shows great potential for thermal sensing in practical outdoor applications with a loose self-control scheme in the adaptive dual-comb system. 展开更多
关键词 interferometers FIBER SENSORS laser SPECTROSCOPY
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Study on silicon micro-resonators by using a novel optical excitation and detection apparatus
18
作者 刘英明 王向朝 王学锋 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第5期309-310,共2页
A novel optical excitation and detection apparatus was used to investigate the characteristics of silicon micro-resonators, which was activated into vibration by a laser beam irradiation. The beam diameter of the exci... A novel optical excitation and detection apparatus was used to investigate the characteristics of silicon micro-resonators, which was activated into vibration by a laser beam irradiation. The beam diameter of the excitation light was less than 10 μm. The vibration amplitude of the resonator was detected by the interferometer with high resolution of 0.1 nm and measurement repeatability of less than 3 nm. The resonant frequency of the micro-resonator was obtained to be 8.75 kHz with full-width at half-maximum (FWHM) of 0.18 kHz. It is shown that the method is useful and reliable for measuring micro-displacement and micro-vibration of minute objects with nanometer accuracy. 展开更多
关键词 EXCITONS interferometers IRRADIATION laser beams Optical variables measurement Resonators SILICON Vibrations (mechanical)
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Polarization Fizeau interferometer based on birefringent thin film
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作者 朱玲琳 曾爱军 +1 位作者 李凡月 黄惠杰 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第6期34-36,共3页
A polarization Fizeau interferometer based on birefringent thin film is presented.The interferometer adopts a birefringent thin film to obtain orthogonally polarized and strictly common-path reference and test beams.A... A polarization Fizeau interferometer based on birefringent thin film is presented.The interferometer adopts a birefringent thin film to obtain orthogonally polarized and strictly common-path reference and test beams.Advantages include ease of implementation on large-aperture interferometer,measuring test optics from long distance,and achieving high fringe visibility.The phase shift is obtained by combining a quarterwave plate and an analyzer.The concepts illustrated are verified experimentally. 展开更多
关键词 interferometers laser optics POLARIZATION Thin films
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Investigation on the properties of high reflective mirror prepared by ion-beam sputtering
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作者 黄建兵 田光磊 +1 位作者 邵建达 范正修 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第11期676-678,共3页
The single-sided and dual-sided high reflective mirrors were deposited with ion-beam sputtering (IBS). When the incident light entered with 45°, the reflectance of p-polarized light at 1064 nm exceeded 99.5%. S... The single-sided and dual-sided high reflective mirrors were deposited with ion-beam sputtering (IBS). When the incident light entered with 45°, the reflectance of p-polarized light at 1064 nm exceeded 99.5%. Spectrum was gained by spectrometer and weak absorption of coatings was measured by surface thermal lensing (STL) technique. Laser-induced damage threshold (LIDT) was determined and the damage morphology was observed with Lecia-DMRXE microscope simultaneously. The profile of coatings was measured with Mark III-GPI digital interferometer. It was found that the reflectivity of mirror exceeded 99.9% and its absorption was as low as 14 ppm. The reflective bandwidth of the dual-sided sample was about 43 nm wider than that of single-sided sample, and its LIDT was as high as 28 J/cm^2, which was 5 J/cm^2 higher than that of single-sided sample. Moreover, the profile of dual-sided sample was better than that of substrate without coatings. 展开更多
关键词 Coatings interferometers Ion beams laser damage Light polarization MICROSCOPES Reflection SPUTTERING
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