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基于光纤布拉格光栅与长周期光栅并联的集成光学传感器(英文) 被引量:16
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作者 梁居发 敬世美 +3 位作者 孟爱华 陈超 刘云 于永森 《中国光学》 EI CAS CSCD 2016年第3期329-334,共6页
为了提高光纤传感器的性能和进一步缩小传感器的尺寸,通过实验制备出一种基于光纤布拉格光栅(FBG)与长周期光栅(LPG)并联的新型集成光学传感器。该传感器中的FBG和LPG是利用飞秒激光直写技术直接在普通单模光纤中刻写的。FBG和LPG是并... 为了提高光纤传感器的性能和进一步缩小传感器的尺寸,通过实验制备出一种基于光纤布拉格光栅(FBG)与长周期光栅(LPG)并联的新型集成光学传感器。该传感器中的FBG和LPG是利用飞秒激光直写技术直接在普通单模光纤中刻写的。FBG和LPG是并联关系,因此很大程度地缩小了传感器的长度。外界的温度和折射率的变化会引起FBG和LPG的谐振峰波长位置发生变化,据此对该集成传感器进行温度和折射率测量。实验结果表明:FBG谐振峰对折射率和温度的灵敏度分别为0 nm/RIU和12.98 pm/℃,而LPG在1 555 nm附近谐振峰对折射率和温度的灵敏度为196.46 nm/RIU和10.93 pm/℃。因此,根据双参数传感矩阵,该传感器可以对温度和外界折射率进行同时传感。 展开更多
关键词 集成光学传感器 光学布拉格光栅(FBG) 长周期光栅(LPG) 飞秒激光
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基于凹型谐振光栅的高性能光学折射率传感器 被引量:4
2
作者 包益宁 刘秀红 +4 位作者 胡劲华 韩海燕 朱巧芬 席思星 余九州 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期217-222,共6页
基于导模共振效应的光栅传感器因具有无需荧光标记、易于集成、能实时检测等优点在生物医学传感领域得到了广泛应用。然而,该类型传感器存在品质因子和灵敏度相互制约的问题。为此提出一种凹型光栅结构,也就是在周期性光栅的每一个单元... 基于导模共振效应的光栅传感器因具有无需荧光标记、易于集成、能实时检测等优点在生物医学传感领域得到了广泛应用。然而,该类型传感器存在品质因子和灵敏度相互制约的问题。为此提出一种凹型光栅结构,也就是在周期性光栅的每一个单元中引入凹型微结构,增强光场与检测物质的相互作用,进而提升传感器的品质因数。利用严格耦合波算法设计了器件结构,分析器件的本征模式,阐明其物理机理。仿真结果表明,该器件的品质因数可达到6562.5。本研究工作将为研制基于微纳结构的高性能集成光学传感器提供研究基础。 展开更多
关键词 集成光学 集成光学传感器 品质因数 导模共振光栅 严格耦合波分析
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分段电极集成光波导电场传感器的研究 被引量:4
3
作者 孙豹 陈福深 杨拥军 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第S1期898-900,912,共4页
针对电磁兼容测试中对小尺寸大带宽电场传感器的需求,用x切y传iNbO3晶体的M-Z干涉仪结构, 设计并制作了一种实用的集成光波导电场传感器.器件含有10段电极,尺寸为60min×6mm×0.5 mm.在入射场强为120dBμV/m,试验结果显示传... 针对电磁兼容测试中对小尺寸大带宽电场传感器的需求,用x切y传iNbO3晶体的M-Z干涉仪结构, 设计并制作了一种实用的集成光波导电场传感器.器件含有10段电极,尺寸为60min×6mm×0.5 mm.在入射场强为120dBμV/m,试验结果显示传感器的3dB响应带宽为2.2GHz. 展开更多
关键词 集成光波导 电场传感器 分段电板 电磁兼容
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高精度纳秒强电磁脉冲集成光学电场传感器性能分析 被引量:3
4
作者 徐福华 丁凤建 +2 位作者 陈玲 刘麟 曹永盛 《半导体光电》 CAS 北大核心 2019年第6期793-795,共3页
基于铌酸锂(LiNbO3)结构研制了一种采用马赫-曾德尔干涉仪与领结天线的、可用于纳秒强电磁脉冲测量的高精度电场传感器。通过实验对传感器性能进行了验证,结果表明:该传感器在对纳秒电磁脉冲上升时间、下降时间与脉冲宽度的测量中,最大... 基于铌酸锂(LiNbO3)结构研制了一种采用马赫-曾德尔干涉仪与领结天线的、可用于纳秒强电磁脉冲测量的高精度电场传感器。通过实验对传感器性能进行了验证,结果表明:该传感器在对纳秒电磁脉冲上升时间、下降时间与脉冲宽度的测量中,最大误差分别仅为3.9%、4.3%与0.3%,测量数据线性度达到0.999 1,最小/最大可测电场强度分别达到3kV/m和50kV/m。 展开更多
关键词 集成光学传感器 电场传感器 纳秒电磁脉冲测量 领结天线
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中红外片上集成光电子综述(特邀) 被引量:2
5
作者 林宏焘 孙博姝 +2 位作者 马辉 钟础宇 巨泽朝 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第1期147-160,共14页
信息技术的发展使得通讯波段集成光子技术在过去的几十年中被广泛重视并取得了突出进展,目前已走向商业化,这一技术的发展也激发了人们对于中红外波段(2~20μm)片上光子集成的兴趣。中红外波段在空间光通信、热成像、物质探测分析等关... 信息技术的发展使得通讯波段集成光子技术在过去的几十年中被广泛重视并取得了突出进展,目前已走向商业化,这一技术的发展也激发了人们对于中红外波段(2~20μm)片上光子集成的兴趣。中红外波段在空间光通信、热成像、物质探测分析等关乎国家发展、国防安全、民生改善等技术领域具有重要的应用前景。利用半导体工艺实现中红外光电子系统芯片小型化在尺寸、功耗以及大规模量产部署具有重大优势。因此,发展中红外片上集成光电子技术具有重大意义。文中主要针对于中红外波段片上集成的一些关键基础器件(如:调制器、探测器)的突破性进展及代表性工作进行了回顾;对各器件的种类、性能、参数及加工手段分别进行了较为全面的调研与比较;同时,也对器件的发展进程、亟待解决的问题以及对未来的展望进行了总结。 展开更多
关键词 中红外 集成光子 光学探测器
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中红外集成光子传感系统研究进展(特邀) 被引量:2
6
作者 夏利鹏 刘昱恒 +1 位作者 周培基 邹毅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期122-147,共26页
近年来,中红外(波长范围2~20μm)集成光子学因其潜在的应用场景如吸收光谱、热成像、自由空间光通信等而受到了广泛的关注。中红外波段包含了多个大气透明窗口,有着作为气体传感应用的先天优势,并且得益于近红外成熟的器件设计测试流程... 近年来,中红外(波长范围2~20μm)集成光子学因其潜在的应用场景如吸收光谱、热成像、自由空间光通信等而受到了广泛的关注。中红外波段包含了多个大气透明窗口,有着作为气体传感应用的先天优势,并且得益于近红外成熟的器件设计测试流程与微纳加工技术,一些近红外的应用也能够较快地拓展至中红外波段。此外,集成光子器件在一些传感应用中不仅可以做到媲美传统设备的灵敏度,同时还具有低功耗、低成本、结构紧凑,易于与其他设备集成的特点。因此,中红外集成光子传感器件在未来将会在工业检测、科学研究、医疗诊断、军事安防、民用生活等领域中不断发挥出重要的作用。文中对中红外传感系统的三个主要部分:传感单元、光谱仪和探测器做出了简要介绍,展示了目前中红外集成光子传感器件的研究进展,并对其未来发展做出了展望。 展开更多
关键词 集成光学器件 传感器 中红外光子学 光电子 硅基光子学 纳米光子学
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集成光路角速率传感器的误差分析和技术关键
7
作者 马新宇 张斌 +1 位作者 章燕申 汤全安 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期359-362,362,共5页
本文讨论了集成光路角速率传感器的原理、误差产生的机理、主要部件的性能要求及制造工艺,指出了集成光路角速率传感器具有良好的应用前景。
关键词 集成光路 角速率传感器 光波导
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用于爆炸辐射电磁脉冲时域测量的集成光波导电场传感器研制 被引量:1
8
作者 张家洪 王欣 陈福深 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第7期149-156,共8页
针对爆炸辐射电磁脉冲(EMP)上升沿快、脉宽窄、峰值场强高等特点,设计并研制出一种集成光波导宽带电场传感器。使用标准雷电电磁脉冲(LEMP)对研制的传感器进行时域标定得出,传感器能够不失真地测量出LEMP的时域波形,且最小和最大可测电... 针对爆炸辐射电磁脉冲(EMP)上升沿快、脉宽窄、峰值场强高等特点,设计并研制出一种集成光波导宽带电场传感器。使用标准雷电电磁脉冲(LEMP)对研制的传感器进行时域标定得出,传感器能够不失真地测量出LEMP的时域波形,且最小和最大可测电场分别约为1.4和10.8 kV/m;使用连续波电场对传感器进行频域标定得出,传感器最小可测电场为52.5 mV/m,且在9 kHz~1 GHz响应波动在±4 dB以内。最后在国内某试验基地搭建了基于研制的光波导电场传感器的爆炸辐射EMP现场测试系统,分别对距爆炸点不同距离处的辐射EMP进行时域测量。结果表明,爆炸辐射EMP的产生滞后爆炸发生约几毫秒;辐射EMP为一系列双极性脉冲组成的脉冲串,单个脉冲宽度在100μs以内,脉冲串宽度在2 ms以内,频率在17.5~35 kHz;在距离爆炸物5 m以内的爆炸辐射EMP峰值场强在5~10 kV/m。本文研制的光波导电场传感器具有全无源、宽带宽、对被测电场干扰小、体积小、强抗电磁干扰等特点,为爆炸辐射EMP的时域测量提供了一种新的技术手段。 展开更多
关键词 爆炸 电磁辐射 电磁脉冲 集成光波导 电场传感器
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基于集成氮化硅微腔的光学传感芯片研究 被引量:1
9
作者 翟珊 顾昌林 +1 位作者 冯吉军 卢红亮 《计测技术》 2018年第1期9-16,共8页
近年来随着传感器在生物探测领域的应用,提高传感器芯片的灵敏度成为研究的热点。利用氮化硅微腔灵敏度高、成本低、易于集成的优点,设计制造了1550 nm波长下二维、三维结构品质因子分别为1.6×104和4×103的悬空耦合传感器芯片... 近年来随着传感器在生物探测领域的应用,提高传感器芯片的灵敏度成为研究的热点。利用氮化硅微腔灵敏度高、成本低、易于集成的优点,设计制造了1550 nm波长下二维、三维结构品质因子分别为1.6×104和4×103的悬空耦合传感器芯片,并详细研究了集成氮化硅微腔光学传感芯片在折射率测量方面的应用。 展开更多
关键词 集成光子芯片 微环谐振腔 氮化硅 光学传感器 悬空结构
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大带宽集成光学电场传感器的频率响应特性分析 被引量:1
10
作者 陈博 尚博祥 +1 位作者 刘晨 曹永盛 《半导体光电》 CAS 北大核心 2018年第6期790-792,810,共4页
采用马赫-曾德尔光波导干涉仪与锥形天线阵列,研制了基于铌酸锂(LiNbO_3)结构、可用于电力电场测量的大带宽电场传感器,并通过实验对传感器性能进行了测试。结果表明,该传感器在10kHz~18GHz的大带宽范围内,频响特性波动小于±10dB... 采用马赫-曾德尔光波导干涉仪与锥形天线阵列,研制了基于铌酸锂(LiNbO_3)结构、可用于电力电场测量的大带宽电场传感器,并通过实验对传感器性能进行了测试。结果表明,该传感器在10kHz~18GHz的大带宽范围内,频响特性波动小于±10dB,最小可测电场强度达到0.4V/m,可测量场强达103V/m的纳秒脉冲电场。 展开更多
关键词 集成光学传感器 电场传感器 脉冲电场测量 锥形天线阵列
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集成光杨氏干涉计生化传感器的设计和制备 被引量:1
11
作者 赵书凯 陈方 祁志美 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1745-1750,共6页
报道一种结构新颖的集成光杨氏干涉计生化传感器。利用微光机电系统(MOEMS)加工工艺结合离子交换技术在玻璃基底上制作出成对的平行单模光波导阵列,并在每对波导中一条的中间区段淀积一层具有梯度末端的TiO2薄膜,覆膜波导用作传感,裸露... 报道一种结构新颖的集成光杨氏干涉计生化传感器。利用微光机电系统(MOEMS)加工工艺结合离子交换技术在玻璃基底上制作出成对的平行单模光波导阵列,并在每对波导中一条的中间区段淀积一层具有梯度末端的TiO2薄膜,覆膜波导用作传感,裸露波导作为参比,从而构成集成光杨氏干涉计芯片。研制结果表明,这种传感器与传统的集成光杨氏干涉计相比,不仅省去了Y型功率分配器和低折射率介质保护层,而且利用简单的狭缝探测器取代了昂贵的电荷耦合器(CCD)探测器,具有结构简单、制作容易和使用方便等优点。 展开更多
关键词 集成光波导 杨氏干涉 复合光波导 传感器
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亚纳秒前沿脉冲强电场集成光学测试技术
12
作者 杨菲 《电子测试》 2018年第15期55-55,48,共2页
亚纳秒前沿脉冲强电场具有上升沿短、脉冲宽度窄、电场强度幅值大的特点。本文设计了基于偶极子接收天线、电光调制结构、光波导结构的集成光学电场传感器。组建了传感器性能测试系统和脉冲测量系统,分析了传感器的输入输出函数、响应... 亚纳秒前沿脉冲强电场具有上升沿短、脉冲宽度窄、电场强度幅值大的特点。本文设计了基于偶极子接收天线、电光调制结构、光波导结构的集成光学电场传感器。组建了传感器性能测试系统和脉冲测量系统,分析了传感器的输入输出函数、响应时间等性能。 展开更多
关键词 脉冲强电场 偶极子天线 电光调制 集成光学电场传感器
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基于集成光学电场传感器的过电压测量技术 被引量:17
13
作者 谢施君 汪海 +3 位作者 曾嵘 李建明 庄池杰 王乃会 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期2929-2935,共7页
通过测量电场获取电力设备实际遭受的过电压对于电力系统故障分析、电力设备绝缘耐受试验标准制定具有重要的指导意义。为此,提出了一种基于集成光学电场传感器的过电压测量技术。首先,介绍了该测量技术的基本原理;其次,研制了集成光学... 通过测量电场获取电力设备实际遭受的过电压对于电力系统故障分析、电力设备绝缘耐受试验标准制定具有重要的指导意义。为此,提出了一种基于集成光学电场传感器的过电压测量技术。首先,介绍了该测量技术的基本原理;其次,研制了集成光学电场传感器,并对过电压测量系统的响应速度、频率响应等性能指标进行了测试;最后,采用所提出的测量技术对220 k V母线投入电容式电压互感器(CVT)、投入避雷器期间产生的过电压分别进行了测量。结果表明:过电压测量系统的响应速度达μs级,频率响应在5 Hz^100 MHz内比较平坦;在投入CVT和避雷器的暂态过程中,过电压上升时间约为几μs,过电压倍数可达1.73倍。测量结果反映的物理过程与理论分析一致。 展开更多
关键词 过电压测量 电场 集成光学电场传感器 频率响应 响应速度 解耦
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集成光学角速度传感器系统方案的研究 被引量:9
14
作者 丁衡高 伍晓明 +3 位作者 马新宇 胡朝阳 张斌 章燕申 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1999年第4期50-54,共5页
本文研究了谐振型和干涉型两类集成光学角速度传器(R- IORS 和I- IORS) 的系统方案,设计了两种R- IORS 的光纤仿真实验装置:反射式和透射式,并介绍了对它们的实验研究结果。文中还提出了一种再入式I- IOR... 本文研究了谐振型和干涉型两类集成光学角速度传器(R- IORS 和I- IORS) 的系统方案,设计了两种R- IORS 的光纤仿真实验装置:反射式和透射式,并介绍了对它们的实验研究结果。文中还提出了一种再入式I- IORS的系统方案,并进行了理论分析。 展开更多
关键词 集成光学角度速度传感器 Sagnac效应敏感环(SSR) 系统方案
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冲击电场作用下屏蔽体屏蔽效能实验研究 被引量:9
15
作者 李婵虓 余占清 +3 位作者 曾嵘 罗兵 陈喜鹏 何金良 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期2849-2854,共6页
电磁屏蔽体对电力系统二次设备的冲击电场防护作用明显,其屏蔽效能的实验研究对保护小室、机箱等屏蔽体设计有指导意义。为此,搭建了一套基于光电电场传感器的冲击电场作用下屏蔽体屏蔽效能实验研究系统;比较了不同材料屏蔽体的屏蔽效能... 电磁屏蔽体对电力系统二次设备的冲击电场防护作用明显,其屏蔽效能的实验研究对保护小室、机箱等屏蔽体设计有指导意义。为此,搭建了一套基于光电电场传感器的冲击电场作用下屏蔽体屏蔽效能实验研究系统;比较了不同材料屏蔽体的屏蔽效能,研究了网格尺寸对金属网格屏蔽体屏蔽效能的影响;对比了不同频率下金属网格屏蔽体的屏蔽效能差异,研究了接地电阻对金属网屏蔽体屏蔽效能的影响。研究表明:金属材料屏蔽体的屏蔽效能较好;金属网格尺寸<10 cm的屏蔽体可获得>20 dB的屏蔽性能;操作波和雷电波作用下的屏蔽效能基本相同,前者略大于后者;减小接地电阻可有效提高金属屏蔽体的屏蔽效能。 展开更多
关键词 屏蔽体 保护小室 冲击电场 屏蔽效能 光电电场传感器 金属网格 网格尺寸 接地电阻
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光纤光栅外腔半导体激光器特性的研究 被引量:5
16
作者 胡朝阳 章燕申 +1 位作者 马新宇 张斌 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第8期677-681,共5页
对谐振式集成光学角速率传感器 IORS 的关键器件之一——大功率、窄线宽光源进行了分析与实验 .分析结果表明 ,为达到优于 1°/ h的分辨率 ,光源应选用线宽小于 1MHz的强反馈光纤光栅外腔半导体激光器 FBG- L D ;研究了 FBG- LD... 对谐振式集成光学角速率传感器 IORS 的关键器件之一——大功率、窄线宽光源进行了分析与实验 .分析结果表明 ,为达到优于 1°/ h的分辨率 ,光源应选用线宽小于 1MHz的强反馈光纤光栅外腔半导体激光器 FBG- L D ;研究了 FBG- LD的单纵模机制和线宽压窄特性 ,着重考虑了反馈端面的残留反射率对 FBG- L D输出功率的影响 ,以及耦合效率对 FBG- L D线宽的影响 ;在实验研究中采用了大功率、窄线宽、单纵模的 FBG- L D,并应用于光纤谐振腔 ,实测的谐振腔的清晰度与理论计算值是一致的 . 展开更多
关键词 光纤光栅 半导体激光器 外腔
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激光集成测量表面粗糙度和微位移的研究 被引量:1
17
作者 王世华 周肇飞 晋崇九 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1998年第1期44-47,共4页
本文研究了使表面粗糙度,微位移光电传感器实现结构和功能的集成化。对光散射法测量表面粗糙度,光学三角法测量微位移这两种不同工作原理光电传感器的集成化研究,用同一光源,同一光路、同一光敏接收器使不同工作原理和功能的光电传... 本文研究了使表面粗糙度,微位移光电传感器实现结构和功能的集成化。对光散射法测量表面粗糙度,光学三角法测量微位移这两种不同工作原理光电传感器的集成化研究,用同一光源,同一光路、同一光敏接收器使不同工作原理和功能的光电传感器实现了并非简单组合的集成,可为精密测试一机多功能化提供可能的手段。 展开更多
关键词 光散射法 光学三角法 表面粗糙度 微位移
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集成光学角速度传感器及其关键器件的研制
18
作者 章燕申 胡朝阳 +2 位作者 张斌 马新宇 田芊 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2000年第1期21-26,共6页
本文介绍了清华大学研制的集成光学角速度传感器 ( IORS)系统方案及其关键器件 ,包括 :( 1 )窄线宽单模光纤 Bragg光栅外腔式二极管激光器 ( FBG- LD) ;( 2 )声体波的声光移频器 ( AOFS)及其直接数字合成 ( DDS)的控制电路 ;( 3)谐振型 ... 本文介绍了清华大学研制的集成光学角速度传感器 ( IORS)系统方案及其关键器件 ,包括 :( 1 )窄线宽单模光纤 Bragg光栅外腔式二极管激光器 ( FBG- LD) ;( 2 )声体波的声光移频器 ( AOFS)及其直接数字合成 ( DDS)的控制电路 ;( 3)谐振型 IORS( R- IORS)的实验装置 ,采用光纤仿真的光波导 Sagnac敏感环 ( SSR) ;( 4 )干涉型 IORS( I- IORS)的实验装置 ,采用光纤仿真的再入式 SSR。采用上述 AOFS研制了一种全光纤延迟的自外差测量系统 ,用于测量上述 FBG- L D。初步的实验结果表明 ,所提出的上述 R- IORS和 I- 展开更多
关键词 集成光学角速度传感器 声光移频器 FBG-LD
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多参量一体化光纤传感器及标校系统的研制与开发 被引量:3
19
作者 杨洋 赵勇 +6 位作者 吕日清 刘兵 郑洪坤 杨洋 王孟军 崔盟军 杨华丽 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第10期176-182,共7页
提出一种集温度、压力和流量多参数同时测量的新型光纤传感器,并对其原理和结构、工艺设计展开研究工作。采用靶式与悬臂梁结构相结合的机敏结构、薄壁压力应变筒结构等集成在同一传感器探头上,并利用四只光纤光栅使得温度、压力和流量... 提出一种集温度、压力和流量多参数同时测量的新型光纤传感器,并对其原理和结构、工艺设计展开研究工作。采用靶式与悬臂梁结构相结合的机敏结构、薄壁压力应变筒结构等集成在同一传感器探头上,并利用四只光纤光栅使得温度、压力和流量三个参数得以同时检测。利用光纤光栅两两之间波长移动量"相差"或"相和",使温度与流量、压力交叉敏感问题得以解决。同时开发了光纤传感器标校系统,这一系统可以较准确实现对所研发的多参量一体化传感器的测试结果进行检测和标校。 展开更多
关键词 一体化光纤传感器 交叉敏感 标校系统
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光电集成电场传感器介入测量影响研究 被引量:3
20
作者 李婵虓 曾嵘 +2 位作者 沈晓丽 牛犇 俞俊杰 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第36期6562-6567,共6页
光电集成电场传感器在电场测量领域发挥着日益重要的作用,研究其介入对待测电场的影响对提高测量结果的准确度具有重要意义。搭建了研究光电集成电场传感器介入测量的实验系统,利用该系统对高压领域的4种典型电极(板–板电极,球–板电极... 光电集成电场传感器在电场测量领域发挥着日益重要的作用,研究其介入对待测电场的影响对提高测量结果的准确度具有重要意义。搭建了研究光电集成电场传感器介入测量的实验系统,利用该系统对高压领域的4种典型电极(板–板电极,球–板电极,线–板电极和棒–板电极)进行了实验研究,并建立模型、进行仿真计算。实验仿真结果均表明:当传感器中心与待测电极表面的距离d大于3 cm时,测量值相对于计算值的误差小于±3%;随着d的减小,测量误差将迅速增加。对于此类型传感器,管壳及晶体介电常数较大是影响测量误差的主要因素。 展开更多
关键词 光电集成电场传感器 介入测量 电场畸变 测量误差 数值计算
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