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基于资源三号影像的森林蓄积量估测遥感因子选择 被引量:16
1
作者 王佳 尹华丽 +1 位作者 王晓莹 冯仲科 《中南林业科技大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期29-33,共5页
以内蒙古旺业甸林场为研究区域,以资源三号(ZY-3)卫星遥感图像为数据源,通过对影像进行处理,获取对应样地的波段光谱值、光谱组合值及地形因子信息等遥感因子。基于对各遥感因子的信息量分析、多重相关性危害分析及应用残差平方和的方... 以内蒙古旺业甸林场为研究区域,以资源三号(ZY-3)卫星遥感图像为数据源,通过对影像进行处理,获取对应样地的波段光谱值、光谱组合值及地形因子信息等遥感因子。基于对各遥感因子的信息量分析、多重相关性危害分析及应用残差平方和的方法对遥感因子进行筛选,实验结果表明:ZY-3影像提取的12个遥感因子中,单波段因子中ZY3的信息量最大,波段组合中ZY(2-3)/ZY4的信息量最大,地形因子中高程的信息量最大,ZY-3的波段、波段组合和地形因子间存在多重相关性,去掉ZY(2-3)/(2+3)和坡度因子后,多重相关性的危害大大降低,可以满足进一步建立蓄积量遥感反演模型要求。 展开更多
关键词 森林蓄积量估测 遥感因子选择 资源三号影像 波段光谱 地形因子
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红外高光谱大气探测仪(FY-3E/HIRAS-Ⅱ)在轨数据非线性校正方法
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作者 黄硕 顾明剑 +3 位作者 胡勇 杨天杭 邵春沅 张春明 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期98-105,共8页
风云三号E星(FY-3E)搭载的高光谱大气探测仪(HIRAS-Ⅱ)能够实现大气的垂直探测,具有高光谱、高灵敏度、高精度的特点。仪器在轨之后由于仪器衰减和环境变化的原因产生非线性响应,影响在轨定标精度。针对非线性响应的问题,提出了一种基... 风云三号E星(FY-3E)搭载的高光谱大气探测仪(HIRAS-Ⅱ)能够实现大气的垂直探测,具有高光谱、高灵敏度、高精度的特点。仪器在轨之后由于仪器衰减和环境变化的原因产生非线性响应,影响在轨定标精度。针对非线性响应的问题,提出了一种基于带内光谱的非线性校正方法。首先基于带外低频光谱的非线性特征求解非线性校正系数,将此系数作为初值输入到辐射定标模型中,以星上测量的黑体带内光谱与理想光谱的偏差为目标函数,通过迭代优化非线性校正系数。通过辐射定标实验得出,校正后的黑体亮温偏差明显低于未校正和基于带外光谱的校正方法。将HIRAS-Ⅱ的观测数据与IASI进行交叉比对并计算平均亮温偏差和偏差绝对值,经过带内校正法非线性校正后的亮温平均偏差为-0.13 K,优于带外校正方法。 展开更多
关键词 HIRAS-Ⅱ 非线性校正 在轨定标 带内光谱
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干涉数据中非线性的校正及其对辐射定标的影响 被引量:6
3
作者 杨敏珠 邹曜璞 +1 位作者 张磊 韩昌佩 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期266-272,共7页
对大气垂直探测仪(AVS)的探测器引入的非线性进行了分析,通过对比理想的干涉数据和带有二次项非线性的模拟干涉数据,研究了二次项非线性对光谱的影响。对实际采集的干涉数据的二次项非线性进行了校正,并将校正后的数据运用到了AVS的辐... 对大气垂直探测仪(AVS)的探测器引入的非线性进行了分析,通过对比理想的干涉数据和带有二次项非线性的模拟干涉数据,研究了二次项非线性对光谱的影响。对实际采集的干涉数据的二次项非线性进行了校正,并将校正后的数据运用到了AVS的辐射定标中。实验结果表明,校正后数据的定标曲线拟合优度大约提高了0.3%。在星上两点定标中,校正后的数据比校正前的更准确。 展开更多
关键词 遥感 非线性 校正 辐射定标 带内光谱
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关于双原子分子内部的运动情况和电子光谱
4
作者 古丽米拉 夏拉甫丁 《新疆石油学院学报》 2003年第3期79-82,共4页
通过电子相对核的运动及核与核之间的振动和转动来阐述了双原子分子内部的运动情况 。
关键词 带状谱 电子能级 振动能级 转动能级
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北京地铁5号线高架线减振措施现场测试与分析 被引量:43
5
作者 李克飞 刘维宁 +2 位作者 孙晓静 王占奎 王文斌 《中国铁道科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期25-29,共5页
为了评价北京地铁5号线高架线采用减振产品的实际效果,对各减振区段进行了现场振源测试。对各测试断面上钢轨和道床的竖直振动加速度进行时域和频域内的比较,在频域内采用1/3倍频程频谱,重点考虑0-200Hz频率范围内的振动。结果表明... 为了评价北京地铁5号线高架线采用减振产品的实际效果,对各减振区段进行了现场振源测试。对各测试断面上钢轨和道床的竖直振动加速度进行时域和频域内的比较,在频域内采用1/3倍频程频谱,重点考虑0-200Hz频率范围内的振动。结果表明:普通扣件能有效地衰减钢轨和道床问的振动传递;Ⅳ型轨道减振器扣件在工作频率25Hz以上,相对普通扣件有10-20dB的减振效果;在列车加速的不利情况下,梯形轨道相对普通扣件仍可提高10-15dB的减振效果,并能较好地降低钢轨的高频振动。 展开更多
关键词 地铁高架线 减振 现场测试 1/3倍频程频谱 振动加速度
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全向激光告警系统的探测灵敏度分析 被引量:17
6
作者 应家驹 王永仲 +2 位作者 何永强 周冰 周中亮 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第6期1038-1042,共5页
阐述了全向激光告警系统的结构特点,阐明了成像型全向激光告警系统的两个限制因素:光学系统像面照度均匀性和大视场角之间的矛盾;大视场接收和窄带光谱滤波技术之间的矛盾。分析了鱼眼镜头像面照度的均匀性,以及窄带干涉滤光片对于不同... 阐述了全向激光告警系统的结构特点,阐明了成像型全向激光告警系统的两个限制因素:光学系统像面照度均匀性和大视场角之间的矛盾;大视场接收和窄带光谱滤波技术之间的矛盾。分析了鱼眼镜头像面照度的均匀性,以及窄带干涉滤光片对于不同入射角的透射率。综合鱼眼镜头、窄带滤光片和面阵探测器3个硬件之间相互关系,给出激光全向告警探测灵敏度的估算公式,并通过实验验证了其准确性。最后得出结论,为了保证像面的均匀性及系统探测灵敏度,鱼眼镜头和滤光片的参数要配合得当:在选择鱼眼镜头时,需酌情考虑其最大像方出射角;窄带光谱滤光片需满足一定的透射率要求,则要求鱼眼镜头出射光线的最大像方出射角要控制在滤光片有较高透射率的入射角范围之内。对全向激光探测告警系统的器件选择,使器件组合达到最佳的探测性能具有指导意义。 展开更多
关键词 全向激光告警 大视场 照度均匀性 窄带滤光片 探测灵敏度
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BP-ANN在荒漠草地高光谱分类研究中的应用 被引量:14
7
作者 钱育蓉 贾振红 +2 位作者 于炯 杨峰 段文亮 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2011年第12期225-228,共4页
利用高分辨率光谱仪在实地测得的光谱数据来识别新疆阜康地区的7种典型荒漠草种,对原始高光谱数据作预处理(微分和平滑),选取典型荒漠植被的光谱特征(红边、绿峰、红谷、RVI等)作为输入数据,植被类型作为输出数据,构建基于BP神... 利用高分辨率光谱仪在实地测得的光谱数据来识别新疆阜康地区的7种典型荒漠草种,对原始高光谱数据作预处理(微分和平滑),选取典型荒漠植被的光谱特征(红边、绿峰、红谷、RVI等)作为输入数据,植被类型作为输出数据,构建基于BP神经网络模型的典型荒漠草地分类器,进行了三组基于高光谱特征的草地类型分类实验,结果表明:(1)红边特征较其余吸收特征更能获得精确的分类结果;(2)波段550~790nnl间的窄波段光谱分类间隔中,20nm优于10nm的间隔;(3)草地分类器中BP网络模型的输入层、隐藏层神经元个数与BP网络训练时间、精度具有复杂的耦合关系,不可一概而论。 展开更多
关键词 高光谱特征提取 反向反馈(BP)人工神经网络 红边特征 窄波段光谱
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大理苍山东西坡植被的垂直分布格局 被引量:9
8
作者 张萍 张军 +2 位作者 李佳玉 薛宇飞 李宇宸 《浙江农林大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期68-75,共8页
【目的】分析云南省大理苍山东西坡植被的垂直分布格局变化特征,为有效保护苍山生态环境和物种多样性提供参考依据。【方法】以大理苍山为研究区域,基于高分二号(GF-2)高分辨率遥感影像,结合大理苍山完整的山地植被垂直地带性分布规律,... 【目的】分析云南省大理苍山东西坡植被的垂直分布格局变化特征,为有效保护苍山生态环境和物种多样性提供参考依据。【方法】以大理苍山为研究区域,基于高分二号(GF-2)高分辨率遥感影像,结合大理苍山完整的山地植被垂直地带性分布规律,辅以纹理特征和数字高程模型(DEM)数据,采用面向对象的多层次图像分割法,通过构建地形约束因子参与分类过程,准确选择样本,高精度提取研究区域的植被信息,并分析苍山东西坡植被的垂直分布格局。【结果】①引入辅助信息的面向对象分类法提取的苍山各植被类型连续且效果好,分类总体精度为95.3%,Kappa系数为0.9466。②苍山东西坡现状植被垂直分布格局明显,各自具有6个垂直分布带,并随着海拔高程的增大,植被分布类型趋同性增大,但东西坡垂直带谱内的优势植被类型相比也存在部分差异。【结论】相较于传统主观性强的分类方法,引入垂直带谱信息的地形约束因子进行分类,可以有效地提高山地植被分类的精度。基于面向对象的多层次分割法适用于苍山植被信息的精确提取。图5表3参20。 展开更多
关键词 苍山 垂直带谱 面向对象 多层次分割 山地植被 信息提取
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利用DEMETER卫星数据分析强震前后的电离层异常 被引量:10
9
作者 颜蕊 王兰炜 +3 位作者 胡哲 刘大鹏 张兴国 张宇 《地震学报》 CSCD 北大核心 2013年第4期498-511,1,共14页
基于法国DEMETER卫星观测的离子温度(Ti)、VLF电磁场单频点频谱数据探索了2008年5月12日汶川MS8.0、2010年1月12日海地MS7.3和2010年2月27日智利MS8.8等3次强震前后与地震有关的电离层异常现象.结果发现,汶川地震前3天(5月9日)震中北偏... 基于法国DEMETER卫星观测的离子温度(Ti)、VLF电磁场单频点频谱数据探索了2008年5月12日汶川MS8.0、2010年1月12日海地MS7.3和2010年2月27日智利MS8.8等3次强震前后与地震有关的电离层异常现象.结果发现,汶川地震前3天(5月9日)震中北偏西方向离子温度明显升高,震前4天(5月8日)VLF磁场低于200Hz的频段范围频谱在震中2°以内有明显突升;智利地震前9天(2月18日)震中北东方向离子温度有剧烈扰动,震前4天(2月23日)VLF磁场100—160Hz频段范围内出现突升;海地地震震前没有观测到明显的异常现象,但地震发生当天(震后约4—5小时)的Ti,40—160Hz频段电场频谱,以及120—480Hz磁场频谱均有明显突升,应为地震发生后能量释放所引起.分析认为,不同地震由于发震机制等各种情况的不同,其地震前后的表现也各不相同.虽然目前没有直接的证据表明本文研究的异常变化是由地震的孕育和发生引起的,但在数据处理中已尽可能排除了太阳、地磁等因素的影响,并且研究结果与前人的研究经验吻合,因此本文发现的异常可能与地震发生的关系较大. 展开更多
关键词 DEMETER卫星 离子温度(Ti) VLF频段频谱 电场磁场
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Cross-Band Spectrum Prediction Based on Deep Transfer Learning 被引量:8
10
作者 Fandi Lin Jin Chen +2 位作者 Jiachen Sun Guoru Ding Ling Yu 《China Communications》 SCIE CSCD 2020年第2期66-80,共15页
Spectrum prediction is a promising technology to infer future spectrum state by exploiting inherent patterns of historical spectrum data.In practice,for a given spectrum band of interest,when facing relatively scarce ... Spectrum prediction is a promising technology to infer future spectrum state by exploiting inherent patterns of historical spectrum data.In practice,for a given spectrum band of interest,when facing relatively scarce historical data,spectrum prediction based on traditional learning methods does not work well.Thus,this paper proposes a cross-band spectrum prediction model based on transfer learning.Firstly,by analysing service activities and computing the distances between various frequency points based on Dynamic Time Warping,the similarity between spectrum bands has been verified.Next,the features,which mainly affect the performance of transfer learning in the crossband spectrum prediction,are explored by leveraging transfer component analysis.Then,the effectiveness of transfer learning for the cross-band spectrum prediction has been demonstrated.Further,experimental results with real-world spectrum data demonstrate that the performance of the proposed model is better than the state-of-theart models when the historical spectrum data is limited. 展开更多
关键词 cross-band spectrum prediction deep transfer learning long short-term memory dynamic time warping transfer component analysis
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利用单模光纤中的交叉相位调制产生单周期化脉冲的研究 被引量:6
11
作者 向望华 陈晓伟 +1 位作者 谈斌 张贵忠 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期137-144,共8页
描述了利用光纤中的交叉相位调制 (XPM)效应产生单周期化脉冲的基本原理 .详细分析了不同初始脉冲条件对脉冲频谱展宽的影响 ,然后针对具体事例用分步傅里叶方法对分析结果进行了验证 .最终得到了 2 0 0— 10 0 0THz的超宽带频谱 ,并给... 描述了利用光纤中的交叉相位调制 (XPM)效应产生单周期化脉冲的基本原理 .详细分析了不同初始脉冲条件对脉冲频谱展宽的影响 ,然后针对具体事例用分步傅里叶方法对分析结果进行了验证 .最终得到了 2 0 0— 10 0 0THz的超宽带频谱 ,并给出了理想压缩脉冲的时域脉宽和形状 . 展开更多
关键词 单模光纤 交叉相位调制 超宽带频谱 单周期化脉冲 频谱展宽 锁模 脉冲压缩
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基于多通道表面肌电信号带谱熵的肌肉疲劳度分析 被引量:8
12
作者 刘建 邹任玲 +2 位作者 张东衡 徐秀林 胡秀枋 《生物医学工程学杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期431-435,共5页
运动性肌肉疲劳特指运动引起肌肉产生最大随意收缩力量或者输出功率暂时性下降的生理现象,处理不当会对人体产生严重的运动性损伤。本文通过对人体下肢表面肌电信号进行多通道采集,采用肌电信号频谱分析与非线性动力学结合起来的带谱熵... 运动性肌肉疲劳特指运动引起肌肉产生最大随意收缩力量或者输出功率暂时性下降的生理现象,处理不当会对人体产生严重的运动性损伤。本文通过对人体下肢表面肌电信号进行多通道采集,采用肌电信号频谱分析与非线性动力学结合起来的带谱熵方法,对运动性肌肉疲劳度进行衡量。实验结果显示,随着肌肉疲劳程度的增加,肌电信号频谱开始向低频移动,能量越来越集中,系统复杂度下降,反映复杂度的带谱熵值也随之降低。通过对熵值变化的监测,可以度量肌肉疲劳程度,为体育训练、临床康复训练等疲劳程度的判定提供了一个指标。 展开更多
关键词 表面肌电信号 疲劳度 多通道 带谱熵
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宽光谱膜厚监控仪的研制 被引量:5
13
作者 周鹏飞 陈桂莲 张荣福 《光学仪器》 2001年第5期36-40,共5页
在介绍宽光谱膜厚监控原理和评价函数的基础上 ,重点介绍系统硬件和软件组成 ,最后给出该仪器的实验结果并对其精度进行分析。
关键词 宽光谱 镀膜 CCD 膜厚监控仪 研制
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数字T/R组件发射频谱控制技术研究
14
作者 王卫华 江元俊 郑新 《微波学报》 CSCD 北大核心 2024年第4期95-100,共6页
现代武器装备单平台集成的各频段雷达、通信等无线电设备数量越来越多,且发射信号均向高功率、超宽带等方向发展,使得雷达与其他设备之间的发射频谱交叠严重,进而导致不同设备之间存在严重的电磁干扰问题。文中针对不同无线电设备收发... 现代武器装备单平台集成的各频段雷达、通信等无线电设备数量越来越多,且发射信号均向高功率、超宽带等方向发展,使得雷达与其他设备之间的发射频谱交叠严重,进而导致不同设备之间存在严重的电磁干扰问题。文中针对不同无线电设备收发信号之间的电磁干扰问题进行了分析,重点讨论了数字T/R组件脉冲发射带外频谱分量的产生机理和改善方法,提出了针对性的频谱控制措施,并在某雷达数字T/R组件上开展了试验验证,证明了该频谱控制方法的有效性。 展开更多
关键词 带外频谱分量 频谱控制 脉冲发射 sin x/x函数 时序控制
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基于宽光谱扫描法的光学膜厚监控系统的研究 被引量:6
15
作者 王海峰 黄光周 于继荣 《真空电子技术》 2004年第6期29-31,共3页
简要介绍了光学滤光片的制造与使用状况,讨论了获得高质量的光学滤光片的条件,简单分析常用方法中光电极值法的固有缺陷,提出一种基于宽光谱扫描法的膜厚控制系统,重点介绍其监控原理、硬件系统及其控制流程,并对其性能进行分析和讨论。
关键词 滤光片 光电极值法 宽光谱扫描法
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基于分数阶微分的博斯腾湖湖滨绿洲土壤电导率高光谱估算 被引量:5
16
作者 赵慧 李新国 +2 位作者 靳万贵 麦麦提吐尔逊·艾则孜 牛芳鹏 《甘肃农业大学学报》 CAS CSCD 2021年第1期118-125,共8页
【目的】探讨分数阶微分在高光谱估算湖滨带绿洲土壤电导率的可行性,实现土壤盐分的高精度监测.【方法】以博斯腾湖湖滨绿洲为研究区,引入分数阶微分对土壤高光谱反射率进行0~2阶微分处理,利用相关性检验和连续投影算法优选特征波段,构... 【目的】探讨分数阶微分在高光谱估算湖滨带绿洲土壤电导率的可行性,实现土壤盐分的高精度监测.【方法】以博斯腾湖湖滨绿洲为研究区,引入分数阶微分对土壤高光谱反射率进行0~2阶微分处理,利用相关性检验和连续投影算法优选特征波段,构建土壤电导率的全波段和特征波段,以及利用连续投影算法优选的全波段和特征波段的4种偏最小二乘回归模型,依据决定系数、均方根误差优选土壤电导率的最佳估算模型.【结果】通过P=0.01显著性检验的特征波段,随着阶数的增加,土壤电导率的特征波段数从725增加至776再减少至498;相关系数值随着阶数的增加从0.48至0.68再减少至0.59.0~0.6阶的相关系数绝对值最大值对应的特征波段分布在581~744 nm,0.8阶~2阶相关系数绝对值最大值对应的波段分布在近红外波段.利用连续投影算法筛选土壤电导率的全波段,其1.4阶微分的波段数量最多,达到6个;利用连续投影算法筛选土壤电导率的特征波段,其2阶微分的波段数量最多,达到3个.连续投影算筛选全波段的偏最小二乘回归模型为土壤电导率的最优模型,分数阶为1.6阶,波段分布在近红外波段,R_(C)^(2)=0.64,RMSE C=3.06,R_(V)^(2)=0.83,RMSE V=2.86.【结论】基于分数阶微分的高光谱估算模型具有较好的稳定性,模型估算的预测能力较好,可以为湖滨带绿洲土壤高光谱估算土壤电导率含量提供方法支持. 展开更多
关键词 土壤电导率 分数阶微分 连续投影算法 全波段 近红外光谱反演
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不同水体提取方法的提取效果比较 被引量:5
17
作者 刘玉梅 《陕西水利》 2021年第11期104-106,共3页
随着遥感技术在水环境综合监测中的广泛应用,借助遥感影像进行水体提取的研究也越来越多。选取Landsat ETM+遥感影像作为数据源,结合多波段谱间关系法、水体指数法(NDVI、NDWI、MNDWI)、支持向量机法等方法 ,实现对某水库水体的提取,对... 随着遥感技术在水环境综合监测中的广泛应用,借助遥感影像进行水体提取的研究也越来越多。选取Landsat ETM+遥感影像作为数据源,结合多波段谱间关系法、水体指数法(NDVI、NDWI、MNDWI)、支持向量机法等方法 ,实现对某水库水体的提取,对提取结果进行精度分析。结果表明:1)谱间关系法的误提率最高,NDVI的漏提率最高,水体提取精度不高;2)NDWI、MNDWI和支持向量机法提取精度均达到99%以上,提取效果良好;3)支持向量机法提取精度最高,但受样本质量影响大,MNDWI提取精度与支持向量机相当且操作简单。 展开更多
关键词 水体提取 多波段谱间关系法 水体指数法 支持向量机法 精度分析
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基于频谱池边界检测的宽带压缩频谱感知方法 被引量:4
18
作者 李明阳 柏鹏 +2 位作者 王徐华 李浩 王峰 《重庆邮电大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2014年第1期13-17,36,共6页
频谱感知是认知无线电的一项重要内容,引入频谱池策略能够有效降低其复杂度,由于频谱池具有内在稀疏性,利用压缩感知技术能够进一步减少频谱感知的实现开支。提出一种基于频谱池边界检测的宽带压缩频谱感知方法,该方法能够利用较少的采... 频谱感知是认知无线电的一项重要内容,引入频谱池策略能够有效降低其复杂度,由于频谱池具有内在稀疏性,利用压缩感知技术能够进一步减少频谱感知的实现开支。提出一种基于频谱池边界检测的宽带压缩频谱感知方法,该方法能够利用较少的采样数据恢复出频谱池子带功率在边界发生跳变的程度并据此完成频谱感知。分析了压缩采样信号和频谱池边界的数学联系,并在此基础上建立了基于频谱池边界检测的宽带频谱感知的压缩感知模型。分析和仿真表明,该方法在不同虚警概率和压缩比下,相对基于边界检测的压缩频谱感知方法具有更优的检测性能和更低的计算复杂度。 展开更多
关键词 认知无线电 宽带频谱感知 压缩感知 频谱池边界检测
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宽带均匀频谱干扰对GPS接收机的影响分析 被引量:4
19
作者 冯永新 高瑜 潘成胜 《计算机仿真》 CSCD 2008年第1期27-30,共4页
为了开展GPS干扰技术的深入研究,通过仿真对阻塞干扰进行理论验证,针对其中的宽带均匀频谱干扰,分析了影响干扰信号带宽的因素,并推导了能达到有效干扰时的干扰功率设置方法。设计了干扰信号产生流程,仿真产生了宽带均匀频谱干扰信号,... 为了开展GPS干扰技术的深入研究,通过仿真对阻塞干扰进行理论验证,针对其中的宽带均匀频谱干扰,分析了影响干扰信号带宽的因素,并推导了能达到有效干扰时的干扰功率设置方法。设计了干扰信号产生流程,仿真产生了宽带均匀频谱干扰信号,对中频GPS信号实施干扰。以C/A码接收机为例,对比了在不同干信比条件下GPS接收机受到干扰的情况。对其捕获的效果图进行比较分析,总结出实施有效干扰的最小干信比。 展开更多
关键词 宽带均匀频谱 阻塞式干扰 全球定位系统接收机
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复合光路光学镀膜宽光谱膜厚监控系统 被引量:3
20
作者 任豪 王巧彬 +1 位作者 罗宇强 李康业 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2010年第5期135-138,F0003,共5页
介绍一种复合光路宽光谱膜厚监控系统及其软硬件开发,对系统结构组成和工作原理进行说明。通过增加中间通光孔式的分光镜的复合光路,基于LabVIEW平台开发宽光谱膜厚监控软件,实现了基于宽光谱扫描法的宽光谱膜厚监控和基于极值法的光学... 介绍一种复合光路宽光谱膜厚监控系统及其软硬件开发,对系统结构组成和工作原理进行说明。通过增加中间通光孔式的分光镜的复合光路,基于LabVIEW平台开发宽光谱膜厚监控软件,实现了基于宽光谱扫描法的宽光谱膜厚监控和基于极值法的光学膜厚监控的兼容并用,提高了光学镀膜膜厚监控的精确性和自动化,为传统光学镀膜设备的升级改造提出了一种可行性技术。 展开更多
关键词 膜厚监控 光学镀膜 复合光路 宽光谱
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