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全息曝光条纹锁定系统特性研究 被引量:12
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作者 钱国林 李朝明 +1 位作者 殷庆琰 吴建宏 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期648-650,654,共4页
为了研究全息光栅拍摄过程中曝光对比度与干涉条纹漂移均方根值之间的关系和提高大面积光栅拍摄质量,采用莫尔条纹原理和线阵电荷耦合器件照相机系统组成的条纹锁定系统进行了光栅拍摄实验。对莫尔条纹的漂移量进行了实时采集和分析,发... 为了研究全息光栅拍摄过程中曝光对比度与干涉条纹漂移均方根值之间的关系和提高大面积光栅拍摄质量,采用莫尔条纹原理和线阵电荷耦合器件照相机系统组成的条纹锁定系统进行了光栅拍摄实验。对莫尔条纹的漂移量进行了实时采集和分析,发现条纹漂移主要由缓慢漂移和频率为3.1Hz的振动合成。得到了条纹漂移均方根值与光栅曝光对比度之间的数值关系,为预测光栅质量是否合格提供了理论参考。结果表明,要提高光栅拍摄质量,必须保证条纹漂移均方根值小于0.05λ。该条纹锁定系统完全可以满足此要求。 展开更多
关键词 衍射与光栅 条纹锁定 压电陶瓷 CCD照相机
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全息拼接光栅的误差研究 被引量:4
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作者 钱国林 李朝明 +2 位作者 陈新荣 邹文龙 吴建宏 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期747-751,共5页
为了制作大面积拼接光栅,对全息光栅拼接误差进行了分析。利用参考光栅与光场光栅形成的莫尔条纹来控制拼接光栅位置和误差,确定了参考光栅莫尔条纹间距、倾斜度及相位与拼接光栅位置之间的关系。研究了参考光栅面和拼接光栅基片不平行... 为了制作大面积拼接光栅,对全息光栅拼接误差进行了分析。利用参考光栅与光场光栅形成的莫尔条纹来控制拼接光栅位置和误差,确定了参考光栅莫尔条纹间距、倾斜度及相位与拼接光栅位置之间的关系。研究了参考光栅面和拼接光栅基片不平行时莫尔条纹与拼接光栅条纹的相位一致性,计算了光程差漂移对拼接光栅相位对准误差的影响,分析了工作平台移动对光栅拼接误差的影响。得出光栅拼接总误差为0.15λ,该误差接近光栅拼接精度要求,通过实验验证了全息光栅拼接误差分析的正确性。结果表明,利用参考光栅进行全息光栅拼接是可行的。全息拼接光栅的误差分析为制作米量级高精度拼接光栅提供了理论支持。 展开更多
关键词 全息 光栅拼接 全息曝光 莫尔条纹 条纹锁定
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Comparison of the sensitivities for atom interferometers in two different operation methods 被引量:1
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作者 段小春 毛德凯 +4 位作者 邓小兵 周敏康 邵成刚 祝竺 胡忠坤 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第1期351-356,共6页
We investigated the sensitivities of atom interferometers in the usual fringe-scanning method (FSM) versus the fringe- locking method (FLM). The theoretical analysis shows that for typical noises in atom interfero... We investigated the sensitivities of atom interferometers in the usual fringe-scanning method (FSM) versus the fringe- locking method (FLM). The theoretical analysis shows that for typical noises in atom interferometers, the FSM will degrade the sensitivity while the FLM does not. The sensitivity-improvement factor of the FLM over the FSM depends on the type of noises, which is validated by numerical simulations. The detailed quantitative analysis on this fundamental issue is presented, and our analysis is readily extendable to other kinds of noises as well as other fringe shapes in addition to a cosine one. 展开更多
关键词 atom interferometer fringe locking fringe scanning sensitivity
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全息曝光条纹锁定研究与装置设计 被引量:4
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作者 李犇 汪啸 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1013-1018,共6页
全息曝光环节干涉条纹的稳定性对于潜像质量的高低有着直接的影响,进而影响掩模形貌和离子刻蚀后光栅的槽型.为了保证干涉条纹的稳定性,依据反馈控制的理论,构造闭环反馈控制回路,采用光电探测器进行误差信号(光信号)的提取,经过光-电转... 全息曝光环节干涉条纹的稳定性对于潜像质量的高低有着直接的影响,进而影响掩模形貌和离子刻蚀后光栅的槽型.为了保证干涉条纹的稳定性,依据反馈控制的理论,构造闭环反馈控制回路,采用光电探测器进行误差信号(光信号)的提取,经过光-电转换,得到电信号,由于信号极其微弱,再先后通过前置放大,差动放大,积分电路,对所得误差信号进行处理,形成补偿信号,最后利用压电陶瓷进行电压-位移转换,利用转换出的位移信号对光路实施补偿.实验结果表明:该条纹锁定系统能够实时对光路稳定性进行良好的补偿控制,消除外界干扰带来的影响. 展开更多
关键词 条纹锁定 反馈控制 压电陶瓷 光栅
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全息光栅干涉条纹三维锁定系统的设计 被引量:3
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作者 钱国林 吴建宏 +1 位作者 李朝明 成珏飞 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期57-63,共7页
全息曝光系统中干涉条纹的稳定性直接影响光栅掩模质量。研究了参考干涉条纹的特性,提出一种光栅相位、倾斜度和周期的检测方法。为提高光栅曝光系统的稳定性,设计了一套全息光栅干涉条纹三维锁定系统。利用摄像机对参考干涉条纹进行检... 全息曝光系统中干涉条纹的稳定性直接影响光栅掩模质量。研究了参考干涉条纹的特性,提出一种光栅相位、倾斜度和周期的检测方法。为提高光栅曝光系统的稳定性,设计了一套全息光栅干涉条纹三维锁定系统。利用摄像机对参考干涉条纹进行检测,利用微电机和压电陶瓷对光路进行微调,可实现对光栅相位、倾斜度和周期的有效控制。实验结果表明,三维锁定系统可有效提高干涉条纹的稳定性,缩短光栅曝光前的静台稳定时间,提高光栅曝光对比度,可为大口径全息光栅曝光质量的提高提供技术支持。 展开更多
关键词 光栅 干涉条纹 曝光对比度 条纹锁定
原文传递
Common-mode noise rejection using fringe-locking method in WEP test by simultaneous dual-species atom interferometers
6
作者 邓小兵 段小春 +3 位作者 毛德凯 周敏康 邵成刚 胡忠坤 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第4期174-178,共5页
We theoretically investigate the application of the fringe-locking method(FLM) in the dual-species quantum test of the weak equivalence principle(WEP).With the FLM,the measurement is performed invariably at the mi... We theoretically investigate the application of the fringe-locking method(FLM) in the dual-species quantum test of the weak equivalence principle(WEP).With the FLM,the measurement is performed invariably at the midfringe,and the extraction of the phase shift for atom interferometers is linearized.For the simultaneous interferometers,this linearization enables a good common-mode rejection of vibration noise,which is usually the main limit for high precision WEP tests of the dual-species kind.We note that this method also allows for an unbiased determination of the gravity accelerations difference,which meanwhile is ready to be implemented. 展开更多
关键词 weak equivalence principle dual-species atom interferometers fringe locking vibration noise rejection
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恒光强扫描干涉光刻条纹锁定系统设计 被引量:1
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作者 王磊杰 罗伟文 +1 位作者 张鸣 朱煜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期938-947,共10页
为提高扫描干涉光刻机的加工效率和加工精度、扩大加工范围、降低维护成本,提出了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统方案,并着重介绍了最为关键的恒光强干涉条纹相位锁定系统的设计。首先,介绍... 为提高扫描干涉光刻机的加工效率和加工精度、扩大加工范围、降低维护成本,提出了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统方案,并着重介绍了最为关键的恒光强干涉条纹相位锁定系统的设计。首先,介绍了扫描干涉光刻中干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统原理方案,并设计实现了恒光强外差声光移频式干涉条纹相位锁定控制系统。然后,分析了控制系统理论模型,对系统实际模型进行辨识和高阶线性拟合,并设计了系统控制器。最后,在该控制器的基础上开展了调试和条纹锁定控制。实验结果显示,开启条纹锁定控制后,100 Hz以下的低频扰动成分受到明显抑制,干涉图形相位锁定的残余误差为0.0693 rad(3σ),即相位变化小于±0.01个干涉条纹周期;光束偏移调控误差达到100μm时,干涉条纹锁定性能仍能保持稳定。该系统不仅可实现不同干涉姿态下干涉条纹的高精度锁定,还具有较大的光束调控误差裕度,满足干涉条纹周期、方向和相位同步实时控制的扫描干涉光刻机的需求。 展开更多
关键词 扫描干涉光刻 条纹锁定 外差相位测量干涉仪
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激光干涉条纹锁定系统的设计与实现
8
作者 易迎彦 杨应平 《武汉理工大学学报(信息与管理工程版)》 CAS 2011年第5期698-701,共4页
为测量λ/4波长以下位移,研制了激光干涉条纹锁定系统。将干涉仪的工作点稳定在暗点,使其具有线性好和灵敏度高等优点。该系统由激光器及稳频装置、干涉系统、检测及控制电路、位移反馈执行机构(压电陶瓷),以及数据采集系统组成。实验... 为测量λ/4波长以下位移,研制了激光干涉条纹锁定系统。将干涉仪的工作点稳定在暗点,使其具有线性好和灵敏度高等优点。该系统由激光器及稳频装置、干涉系统、检测及控制电路、位移反馈执行机构(压电陶瓷),以及数据采集系统组成。实验结果表明,所研制的干涉条纹锁定系统在0~0.5 Hz的频带内,其干涉仪的分辨度达到λ/1 500水平;而在0~50 Hz的频带内,其干涉仪的分辨度达到λ/400水平。频谱分析表明,在0.1 Hz和5 Hz时的分辨度分别为7×10-11 m/Hz^(1/2)和1×10-11 m/Hz^(1/2)。 展开更多
关键词 激光干涉 调制检测 压电陶瓷 条纹锁定
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国外全息显示技术的新进展
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作者 熊秉衡 杨齐民 郭定昆 《云南工业大学学报》 1993年第2期16-23,共8页
本文介绍了国外全息显示技术的某些最新进展,包括:彩色反射全息,边缘照明技术,条纹锁定技术,飞行光时序相干成象,全息平视显示器,全息内窥成象以及电视全息技术等方面的最新进展。
关键词 全息显示 彩色反射全息 边缘照明 条纹锁定
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反馈式激光干涉仪条纹锁定现象分析
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作者 暴亚琼 苏寒松 《电子测量技术》 2004年第5期7-7,9,共2页
文中对反馈式激光干涉仪在测量中出现的条纹锁定现象进行探讨。在建立等效的Fabry-Porot谐振腔模型的基础上,进行理论分析和数学推导,得到干涉仪的光程差与激光器输出波长之间的关系,定性地解释条纹锁定现象。
关键词 谐振腔 锁定 条纹 激光器 反馈 激光干涉仪 波长 输出 模型 数学推导
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移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 被引量:2
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作者 宋莹 赵旭龙 +2 位作者 姜岩秀 巴音贺希格 齐向东 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期227-234,共8页
为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度,抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移,提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅实现光源激光的分光及干涉条纹的相位调整。通过叠栅条纹间接测量干涉条纹相位变化,给出了双光电探测... 为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度,抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移,提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅实现光源激光的分光及干涉条纹的相位调整。通过叠栅条纹间接测量干涉条纹相位变化,给出了双光电探测器的最佳探测位置。结合分光及相位调整功能,给出了分束光栅参数的设计方法。针对光栅曝光特点设计了控制器。从理论上对比了分束光栅与压电反射镜的相位调整性能。实验结果表明,采样频率为500Hz时,干涉条纹的低频漂移得到有效抑制,相位锁定精度达到0.13rad(3σ),即条纹漂移量低于±0.021个周期。该方法可以实时有效地锁定曝光干涉条纹,提高曝光对比度。且分束光栅偏转对条纹周期影响小,相位调整性能仅与分束光栅参数相关,便于光路设计。 展开更多
关键词 全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹
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激光干涉仪条纹锁定
12
作者 杨勇 苏寒松 暴亚琼 《电子测量技术》 2005年第5期20-21,共2页
文中对基于光反馈效应下的注入电流调制式激光干涉仪在测量中出现的条纹锁定现象进行了探讨。在建立等效的Faby-perot谐振腔模型的基础上,进行理论分析和数学推导,得到干涉仪所生成条纹的相位与激光器注入电流间的关系,定性的解释条纹... 文中对基于光反馈效应下的注入电流调制式激光干涉仪在测量中出现的条纹锁定现象进行了探讨。在建立等效的Faby-perot谐振腔模型的基础上,进行理论分析和数学推导,得到干涉仪所生成条纹的相位与激光器注入电流间的关系,定性的解释条纹锁定现象。 展开更多
关键词 注入电流 光反馈 条纹锁定 激光干涉仪 条纹 锁定 FABRY-PEROT 反馈效应 数学推导 调制式
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对当前开发模压全息技术的一些看法
13
作者 熊秉衡 《光学技术》 EI CAS CSCD 1993年第1期4-7,共4页
本文介绍了模压全息的新应用,提供了制作模压全息的新技术和有关设备。
关键词 模压全息技术 全息技术 开发
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压缩态光场实验中的模式匹配与偏频锁定技术研究(英文)
14
作者 曲文艳 冯飞 +1 位作者 宋家争 张同意 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第9期2655-2660,共6页
光学参量过程是产生压缩光的关键环节,为了提高实验中光学参量振荡腔的稳定性,必须将激光与光学参量振荡腔进行模式匹配,并用锁定技术稳定光学参量振荡腔。理论分析了模式匹配效率对压缩度和偏频锁定技术精度的影响。经过模式匹配之后,... 光学参量过程是产生压缩光的关键环节,为了提高实验中光学参量振荡腔的稳定性,必须将激光与光学参量振荡腔进行模式匹配,并用锁定技术稳定光学参量振荡腔。理论分析了模式匹配效率对压缩度和偏频锁定技术精度的影响。经过模式匹配之后,在实验上实现了光学参量振荡腔的锁定,并对锁定后的光学参量振荡腔进行了稳定性测量。理论与实验结果表明:模式匹配效果越好,压缩光的压缩度和偏频技术的锁定精度越高;在较好的模式匹配条件下,光学参量振荡腔的腔长锁定精度为7.35 nm,稳定时间可达2 h以上,能够满足对压缩态光场的探测需要。 展开更多
关键词 模式匹配 偏频锁定技术 光学参量振荡腔 压缩态光场
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基于法珀标准具的激光稳频方法理论研究 被引量:13
15
作者 孙旭涛 陈卫标 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期2219-2222,共4页
介绍了使用法珀(Fabry-Perot,F-P)标准具作为频率标准的三种稳频方法,并且进行理论分析,分别得出了各种方法的鉴频曲线.通过对鉴频曲线进行比较发现边频锁定技术具有斜率大、信号强、控制范围广的优点,优于另外两种方法,是一种理想的激... 介绍了使用法珀(Fabry-Perot,F-P)标准具作为频率标准的三种稳频方法,并且进行理论分析,分别得出了各种方法的鉴频曲线.通过对鉴频曲线进行比较发现边频锁定技术具有斜率大、信号强、控制范围广的优点,优于另外两种方法,是一种理想的激光稳频技术. 展开更多
关键词 激光稳频 偏频锁定技术 导数谱稳频技术 边频锁定技术
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偏频技术锁定压缩光产生中的光学参量振荡腔 被引量:1
16
作者 曲文艳 宋家争 +2 位作者 冯飞 薛玉郎 张同意 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期87-92,共6页
为了解决机械振动、空气流动等外界因素引起的光学参量振荡腔的不稳定问题,利用偏频锁定技术稳定光学参量振荡腔.首先从理论上分析偏频锁定点的选取与压缩度的关系,得出透射峰值一半的位置为最佳锁定点.然后在实验上实现了光学参量振荡... 为了解决机械振动、空气流动等外界因素引起的光学参量振荡腔的不稳定问题,利用偏频锁定技术稳定光学参量振荡腔.首先从理论上分析偏频锁定点的选取与压缩度的关系,得出透射峰值一半的位置为最佳锁定点.然后在实验上实现了光学参量振荡腔的锁定,并对锁定后的光学参量振荡腔进行了稳定性测量.实验结果表明,光学参量振荡腔的腔长在2h以内的锁定精度为7.27nm,最长稳定时间可达3.8h,能够满足对压缩光的探测需要. 展开更多
关键词 压缩态光场 偏频锁定技术 光学参量振荡腔 积分器 误差信号
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基于光束扫描的光场匀化技术
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作者 张海冬 赵成强 +4 位作者 张益彬 曹红超 晋云霞 刘世杰 邵建达 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第16期20-29,共10页
提出一种新型的光束扫描匀光方法。扫描干涉光刻后基板处的整体光场强度可以实现均匀分布,进而光栅基板处的曝光剂量就可以实现宏观上的均匀分布。对扫描匀光方法的扫描参数进行数值分析,并开展相关实验。扫描匀光的实验结果表明,当步... 提出一种新型的光束扫描匀光方法。扫描干涉光刻后基板处的整体光场强度可以实现均匀分布,进而光栅基板处的曝光剂量就可以实现宏观上的均匀分布。对扫描匀光方法的扫描参数进行数值分析,并开展相关实验。扫描匀光的实验结果表明,当步进距离与光斑半径之比小于等于1.2时,经过光束扫描叠加后,基板处的光场均匀性优于99.00%,相较传统高斯截光的方式,均匀性至少提高5%;引入参考光进行条纹漂移锁定控制后,在?200 mm的扫描过程中,光束的相位变化小于±0.015个干涉条纹周期,实现了光束扫描过程中条纹“静止”在基板位置处的效果。 展开更多
关键词 光栅 全息光栅 曝光系统 光束扫描 光场均匀性 条纹漂移锁定
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